菜单
退出
报价单为空
RBN-Z-CG系列精密Z轴
紧凑式直驱结构
重复定位精度±100nm
抗蠕动交叉滚柱导轨
直线度和平面度±1.25μm内
微动步距≤1nm
结构、行程可定制
RBN-Z-CG系列精密Z轴
RBN-Z-CG系列精密Z轴
RBN-Z-CG系列精密Z轴
产品描述
规格参数
实测数据
选型信息
下载
报价/订购
应用领域
RBN-Z-CG系列是一款高精度的精密Z轴,亚微米级重复定位精度,高动态性能,结构紧凑,用于晶圆加工及检测、飞秒激光加工、光学制造和检测、光纤对准和科研等领域。
结构特点
RBN-Z-CG系列精密Z轴侧挂在龙门横梁上使用,可与其它轴组成多轴系统。直驱结构,在低速时保持平稳,在高速时不产生振动。抗蠕动交叉滚柱导轨,滚柱间线接触,比滚珠接触面积大,交叉排列,多方向受力稳定,该结构可以把Z轴厚度降低,有利于行业应用。
精度性能
非接触式光栅闭环反馈,考虑热膨胀和材料等影响,这种紧凑结构设计,搭配高性能控制系统,获得高重复定位精度,重复定位精度±100nm,直线度和平面度±1.25μm内,是高精度场所的理想选择。
微动步距
对有微动步距(最小位移量)要求的应用领域,如对准应用等,微动步距≤1nm,对现场使用环境的要求,更多细节可联系瑞邦精控。
定制化设计
根据应用可定制行程、配置大理石基座、立柱、横梁和隔振台等整套系统方案。
规格参数

型号 Model

单位

Units

RBN-25Z-CG

RBN-50Z-CG

RBN-75Z-CG

RBN-100Z-CG

RBN-125Z-CG

RBN-150Z-CG

RBN-175-CG

RBN-200Z-CG

RBN-250Z-CG

RBN-300Z-CG

行程 Travel

mm

25

50

75

100

125

150

175

200

250

300

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.15

±0.15

±0.2

普通版 Standard

±0.2

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.4

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.025

±0.025

±0.05

±0.05

±0.05

±0.075

±0.075

±0.075

±0.1

±0.1

普通版 Standard

±0.05

±0.05

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.175

±0.175

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.25

±0.25

±0.35

±0.35

±0.4

±0.5

±0.5

±0.5

±0.75

±1

普通版 Standard

±1

±1

±1

±1

±1

±1.25

±1.25

±1.25

±1.5

±1.75

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.75

±0.75

±0.75

±1

±1.25

普通版 Standard

±1

±1

±1

±1

±1

±1.25

±1.25

±1.25

±1.5

±1.75

俯仰、翻滚

Pitch Roll

高精版 Plus

arc sec

±1

±1

±1

±2

±2

±2.5

±3

±3

±4

±4

普通版 Standard

±5

±5

±5

±5

±5

±5

±7

±7

±8

±8

偏摆

Yaw

高精版 Plus

arc sec

±1

±1

±1

±1

±1

±1

±2

±2

±3

±3

普通版 Standard

±2.5

±2.5

±2.5

±2.5

±2.5

±2.5

±5

±5

±6

±6

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 或 5(选配)

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus

nm

≤ 1

普通版 Standard

≤ 50

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus

nm

≤ 1

普通版 Standard

≤ 50

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

50

100

200

最大负载 Max Load

kg

15

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

* :高精度版振动等级为VC-F。

实测数据
选型信息
型号 RBN -50Z-CG -PLUS -N -1 -0 -DB -3 -N
描述 交叉滚柱精密侧挂Z轴 行程50mm PLUS高精版 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 DB接头,无线缆管理 线缆长度3米 常压环境

 

名称 型号 描述
精密Z轴 RBN 交叉滚柱侧挂Z轴
行程 -25Z-CG 行程25mm 
-50Z-CG 行程50mm
-75Z-CG 行程75mm
-100Z-CG 行程100mm
-125Z-CG 行程125mm
-150Z-CG 行程150mm
-175Z-CG 行程175mm
-200Z-CG 行程200mm
-250Z-CG 行程250mm
-300Z-CG 行程300mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -U 零点在行程上极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-D 零点在行程下极限位置
线缆管理 -DB DB接头,无线缆管理(标配)
 -C4 真空线缆
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
气压环境 -N 常压环境(标配)
-VC 真空环境
下载
产品样本
RBN-Z-CG系列精密Z轴产品样本
2023-09-08
下载
产品手册
CAD图纸
RBN-Z-CG系列产品尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
RBN-50Z-CG精密Z轴 3D模型
2023-11-14
下载
RBN-100Z-CG精密Z轴 3D模型
2024-07-03
下载
报价/订购
RBN-25Z-CG
行程25mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±1μm,平面度±1μm
添加至报价单
RBN-25Z-CG PLUS
行程25mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.25μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
RBN-50Z-CG
行程50mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±1μm,平面度±1μm
添加至报价单
RBN-50Z-CG PLUS
行程50mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.25μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
RBN-75Z-CG
行程75mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm
添加至报价单
RBN-75Z-CG PLUS
行程75mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.35μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
RBN-100Z-CG
行程100mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm
添加至报价单
RBN-100Z-CG PLUS
行程100mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.35μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
RBN-125Z-CG
行程125mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm
添加至报价单
RBN-125Z-CG PLUS
行程125mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
RBN-150Z-CG
行程150mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1.25μm,平面度±1.25μm
添加至报价单
RBN-150Z-CG PLUS
行程150mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm
添加至报价单
RBN-175Z-CG
行程175mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1.25μm,平面度±1.25μm
添加至报价单
RBN-175Z-CG PLUS
行程175mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm
添加至报价单
RBN-200Z-CG
行程200mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1.25μm,平面度±1.25μm
添加至报价单
RBN-200Z-CG PLUS
行程200mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm
添加至报价单
RBN-250Z-CG
行程250mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.175μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
添加至报价单
RBN-250Z-CG PLUS
行程250mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.75μm,平面度±1μm
添加至报价单
RBN-300Z-CG
行程300mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.175μm,直线度±1.75μm,平面度±1.75μm
添加至报价单
RBN-300Z-CG PLUS
行程300mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1.25μm
添加至报价单
询问工程师
通过电子邮件或电话从销售工程师处快速获取解答
15201018092
sales@aus-precision.com
联系我们
相关产品
温馨提示
请登录后进行下载