精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBN-Z-CG系列是一款高精度的精密Z轴，亚微米级重复定位精度，高动态性能，结构紧凑，用于晶圆加工及检测、飞秒激光加工、光学制造和检测、光纤对准和科研等领域。

结构特点

RBN-Z-CG系列精密Z轴侧挂在龙门横梁上使用，可与其它轴组成多轴系统。直驱结构，在低速时保持平稳，在高速时不产生振动。抗蠕动交叉滚柱导轨，滚柱间线接触，比滚珠接触面积大，交叉排列，多方向受力稳定，该结构可以把Z轴厚度降低，有利于行业应用。

精度性能

非接触式光栅闭环反馈，考虑热膨胀和材料等影响，这种紧凑结构设计，搭配高性能控制系统，获得高重复定位精度，重复定位精度±20nm，直线度和平面度±1.25μm内，是高精度场所的理想选择。

微动步距

对有微动步距（最小位移量）要求的应用领域，如对准应用等，微动步距≤1nm，对现场使用环境的要求，更多细节可联系瑞邦精控。

定制化设计

根据应用可定制行程、配置大理石基座、立柱、横梁和隔振台等整套系统方案。

规格参数

型号 Model		单位 Units	RBN-25Z-CG	RBN-50Z-CG	RBN-75Z-CG	RBN-100Z-CG	RBN-125Z-CG
行程 Travel		mm	25	50	75	100	125
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05
	高精版 Plus		±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1
	普通版 Standard		±0.2	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±7.5	±7.5	±7.5	±7.5	±7.5
	高精版 Plus		±20	±20	±40	±40	±40
	普通版 Standard		±30	±30	±75	±75	±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.01	±0.01	±0.01	±0.01	±0.01
	高精版 Plus		±0.025	±0.025	±0.05	±0.05	±0.05
	普通版 Standard		±0.05	±0.05	±0.1	±0.1	±0.1
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.25	±0.25	±0.35	±0.35	±0.4
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±1	±1	±1	±1	±1
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±1	±1	±1	±1	±1
俯仰、翻滚 ⁽¹⁾ Pitch Roll	高精版 Plus	arc sec	±1	±1	±1	±2	±2
俯仰、翻滚 ⁽¹⁾ Pitch Roll	普通版 Standard	arc sec	±5	±5	±5	±5	±5
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	高精版 Plus	arc sec	±1	±1	±1	±1	±1
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	普通版 Standard	arc sec	±2.5	±2.5	±2.5	±2.5	±2.5
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	≤ 1, ≤ 5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		mm/s	50	100		200
最大负载 Max Load		kg	15

型号 Model		单位 Units	RBN-150Z-CG	RBN-175-CG	RBN-200Z-CG	RBN-250Z-CG	RBN-300Z-CG
行程 Travel		mm	150	175	200	250	300
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.05	±0.05	±0.05	±0.1	±0.1
	高精版 Plus		±0.15	±0.15	±0.15	±0.15	±0.2
	普通版 Standard		±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.4
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±7.5	±10	±10	±15	±15
	高精版 Plus		±40	±50	±50	±50	±50
	普通版 Standard		±75	±75	±75	±75	±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.01	±0.015	±0.015	±0.02	±0.02
	高精版 Plus		±0.075	±0.075	±0.075	±0.1	±0.1
	普通版 Standard		±0.1	±0.1	±0.15	±0.175	±0.175
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.5	±0.5	±0.5	±0.75	±1
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±1.5	±1.5	±1.5	±1.5	±1.75
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.75	±0.75	±0.75	±1	±1.25
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±1.5	±1.5	±1.5	±1.5	±1.75
俯仰、翻滚 ⁽¹⁾ Pitch Roll	高精版 Plus	arc sec	±2.5	±3	±3	±4	±4
俯仰、翻滚 ⁽¹⁾ Pitch Roll	普通版 Standard	arc sec	±5	±7	±7	±8	±8
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	高精版 Plus	arc sec	±1	±2	±2	±3	±3
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	普通版 Standard	arc sec	±2.5	±5	±5	±6	±6
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	≤ 1, ≤ 5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		mm/s	200
最大负载 Max Load		kg	15

特殊项目 Special Items ⁽⁴⁾	单位 Units	数值 Data
微动步距 Min Incremental Step	nm	默认, ≤ 1, ≤ 50
定位纹波 In Position Stability	nm	默认, ≤ 1, ≤ 50

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，普通版振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

4. 无特殊项目要求，出厂默认为准。

实测数据

RBN-50Z-CG 定位精度和重复定位精度.pdf

RBN-110Z-CG 定位精度和重复定位精度.pdf

RBN-150Z-CG 定位精度和重复定位精度.pdf

RBN-175Z-CG 定位精度和重复定位精度.pdf

RBN-200Z-CG 定位精度和重复定位精度.pdf

选型信息

型号	RBN	-25Z-CG	-N	-N	-1	-0	-DB	-3
描述	交叉滚柱精密侧挂Z轴	行程25mm	普通版	默认	增量式光栅1Vpp反馈	零点在行程中心位置	DB接头，无线缆管理	线缆长度3米

名称	型号	描述
精密Z轴	RBN	交叉滚柱精密侧挂Z轴
行程	-25Z-CG	行程25mm
	-50Z-CG	行程50mm
	-75Z-CG	行程75mm
	-100Z-CG	行程100mm
	-125Z-CG	行程125mm
	-150Z-CG	行程150mm
	-175Z-CG	行程175mm
	-200Z-CG	行程200mm
	-250Z-CG	行程250mm
	-300Z-CG	行程300mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
电子分辨率	-N	默认
	-1	电子分辨率 ≤1nm
	-5	电子分辨率 ≤5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	-U	零点在行程上极限位置
	-0	零点在行程中心位置（标配）
	-D	零点在行程下极限位置
线缆管理	-DB	DB接头，无线缆管理（标配）
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制

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产品样本

RBN-Z-CG系列精密Z轴产品样本

2023-09-08

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产品手册

CAD图纸

RBN-Z-CG系列产品尺寸图

2023-08-18

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3D模型

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RBN-25Z-CG

行程25mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±1μm，平面度±1μm

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RBN-25Z-CG PLUS

行程25mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.25μm，平面度±0.5μm

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RBN-25Z-CG Ultra

行程25mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.25μm，平面度±0.5μm

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RBN-50Z-CG

行程50mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±1μm，平面度±1μm

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RBN-50Z-CG PLUS

行程50mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.25μm，平面度±0.5μm

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RBN-50Z-CG Ultra

行程50mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.25μm，平面度±0.5μm

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RBN-75Z-CG

行程75mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1μm

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RBN-75Z-CG PLUS

行程75mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.35μm，平面度±0.5μm

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RBN-75Z-CG Ultra

行程75mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.35μm，平面度±0.5μm

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RBN-100Z-CG

行程100mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1μm

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RBN-100Z-CG PLUS

行程100mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.35μm，平面度±0.5μm

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RBN-100Z-CG Ultra

行程100mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.35μm，平面度±0.5μm

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RBN-125Z-CG

行程125mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1μm

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RBN-125Z-CG PLUS

行程125mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm

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RBN-125Z-CG Ultra

行程125mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm

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RBN-150Z-CG

行程150mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

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RBN-150Z-CG PLUS

行程150mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

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RBN-150Z-CG Ultra

行程150mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

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RBN-175Z-CG

行程175mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

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RBN-175Z-CG PLUS

行程175mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

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RBN-175Z-CG Ultra

行程175mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.015μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

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RBN-200Z-CG

行程200mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

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RBN-200Z-CG PLUS

行程200mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

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RBN-200Z-CG Ultra

行程200mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.015μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

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RBN-250Z-CG

行程250mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.175μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

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RBN-250Z-CG PLUS

行程250mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.75μm，平面度±1μm

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RBN-250Z-CG Ultra

行程250mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.02μm，直线度±0.75μm，平面度±1μm

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RBN-300Z-CG

行程300mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.175μm，直线度±1.75μm，平面度±1.75μm

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RBN-300Z-CG PLUS

行程300mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1.25μm

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RBN-300Z-CG Ultra

行程300mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.02μm，直线度±1μm，平面度±1.25μm

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