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RBLM-Z-CG系列精密Z轴
紧凑式直驱结构
双向重复定位精度±0.15μm
精密滚柱导轨
直线度和平面度±1.5μm
微动步距 ≤1nm
结构、行程可定制
RBLM-Z-CG系列精密Z轴
RBLM-Z-CG系列精密Z轴
RBLM-Z-CG系列精密Z轴
产品描述
规格参数
实测数据
选型信息
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应用领域
RBLM-Z-CG系列是一款精密Z轴,双向重复定位精度±0.15μm内,高动态性能,结构紧凑,用于晶圆切割、激光加工、精密磨削,增材制造、光学制造及科研等领域。
结构特点
RBLM-Z-CG系列精密Z轴侧挂在龙门横梁或横梁扫描轴上使用,可与其它轴组成多轴系统。直驱结构,在低速时保持平稳,在高速时不产生振动,采用无铁芯直线电机驱动,配备自润滑的精密滚柱导轨,承重大、精度高、刚性好等特点。配置的重力平衡气缸可有效抵消电机向上持续输出力,提升精度性能。
精度性能
非接触式光栅闭环反馈,考虑热膨胀和材料等影响,这种紧凑结构设计,搭配高性能控制系统,获得高重复定位精度,重复定位精度±0.15μm,直线度和平面度±1.5μm内,是高精度场所的理想选择。
微动步距
对有微动步距要求的应用领域,如调整最小移动距离,微动步距≤1nm,对现场使用环境的要求,更多细节可联系我们。
定制化
根据应用可配置大理石基座、立柱、横梁和隔振台等整套系统方案。
 
规格参数

型号 Model

单位 Units

RBLM-25Z-CG

RBLM-50Z-CG

RBLM-75Z-CG

RBLM-100Z-CG

RBLM-125Z-CG

行程 Travel

mm

25

50

75

100

125

补偿后定位精度

Accuracy

超精版 Ultra

μm

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

±0.3

高精版 Plus

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

普通版 Standard

±1

±1

±1

±1

±1

单向重复定位精度

Uni-Repeatability

超精版 Ultra

μm

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

高精版 Plus

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

普通版 Standard

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

超精版 Ultra

μm

±0.15

±0.15

±0.15

±0.15

±0.15

高精版 Plus

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

普通版 Standard

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

直线度 (1)

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.75

±0.75

±0.75

±0.75

±1

普通版 Standard

±1.5

±1.5

±1.5

±1.5

±2.5

平面度 (1)

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.75

±0.75

±0.75

±0.75

±1.25

普通版 Standard

±1.5

±1.5

±1.5

±1.5

±2.5

俯仰、翻滚偏摆 (1)

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±1.5

±1.5

±1.5

±1.5

±2

普通版 Standard

±3

±3

±3

±3

±4

电子分辨率 Electronic Resolution (2)

nm

≤ 1, ≤ 5(选配)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3)

mm/s

50

100

200

最大负载 Max Load

kg

30

 

型号 Model

单位 Units

RBLM-150Z-CG

RBLM-175Z-CG

RBLM-200Z-CG

RBLM-250Z-CG

RBLM-300Z-CG

行程 Travel

mm

150

175

200

250

300

补偿后定位精度

Accuracy

超精版 Ultra

μm

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

高精版 Plus

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

普通版 Standard

±1

±1

±1

±1

±1

单向重复定位精度

Uni-Repeatability

超精版 Ultra

μm

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

高精版 Plus

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

普通版 Standard

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

超精版 Ultra

μm

±0.15

±0.15

±0.15

±0.15

±0.15

高精版 Plus

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

普通版 Standard

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

直线度 (1)

Straightness

高精版 Plus

μm

±1

±1

±1

±1.25

±1.25

普通版 Standard

±2.5

±2.5

±2.5

±3.5

±3.5

平面度 (1)

Flatness

高精版 Plus

μm

±1.25

±1.25

±1.25

±1.5

±1.5

普通版 Standard

±2.5

±2.5

±2.5

±3.5

±3.5

俯仰、翻滚偏摆 (1)

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±2

±2

±2

±2.5

±2.5

普通版 Standard

±4

±4

±4

±5

±5

电子分辨率 Electronic Resolution (2)

nm

≤ 1, ≤ 5(选配)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3)

mm/s

200

最大负载 Max Load

kg

30

 

特殊项目 Special Items (4) 单位 Units 数值 Data
微动步距 Min Incremental Step nm 默认, ≤ 1, ≤ 50
定位纹波 In Position Stability nm 默认, ≤ 1, ≤ 50

注:

以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20±1,湿度40%~60%RH,振动等级VC-D,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/sRenishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下指标,最大速度和加速度取决于负载大小。

4. 无特殊项目要求,出厂默认为准。

实测数据
选型信息
型号 RBLM -25Z-CG -N -N -1 0 -DB -3
描述 滑块侧挂Z 行程25mm 普通版 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 DB接头,无线缆管理 线缆长度3

 

名称 型号 描述
精密Z RBLM 滑块侧挂Z
行程 -25Z-CG 行程25mm
-50Z-CG 行程50mm
-75Z-CG 行程75mm
-100Z-CG 行程100mm
-125Z-CG 行程125mm
-150Z-CG 行程150mm
-175Z-CG 行程175mm
-200Z-CG 行程200mm
-250Z-CG 行程250mm
-300Z-CG 行程300mm
精度等级 -N Standard普通版
-P Plus高精版
-U Ultra超精版
电子分辨率 -N 默认
-1 电子分辨率 ≤1nm
-5 电子分辨率 ≤5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -U 零点在行程上极限位置
0 零点在行程中心位置(标配)
-D 零点在行程下极限位置
线缆管理 -DB DB接头,无线缆管理(标配)
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5
-DZ 定制
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产品样本
RBLM-Z-CG系列精密Z轴产品样本
2024-12-21
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CAD图纸
3D模型
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RBLM-25Z-CG Ultra
行程25mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm
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RBN-25Z-CG Plus
行程25mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm
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RBLM-25Z-CG Standard
行程25mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
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RBLM-50Z-CG Ultra
行程50mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm
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RBLM-50Z-CG Plus
行程50mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm
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RBLM-50Z-CG Standard
行程50mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
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RBLM-75Z-CG Ultra
行程75mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm
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RBLM-75Z-CG plus
行程75mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm
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RBLM-75Z-CG Standard
行程75mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
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RBLM-100Z-CG Ultra
行程100mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm
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RBLM-100Z-CG plus
行程100mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm
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RBLM-100Z-CG Standard
行程100mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
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RBLM-125Z-CG Ultra
行程125mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1μm,平面度±1.25μm
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RBLM-125Z-CG plus
行程125mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1μm,平面度±1.25μm
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RBLM-125Z-CG Standard
行程125mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±2.5μm,平面度±2.5μm
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RBLM-150Z-CG Ultra
行程150mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1μm,平面度±1.25μm
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RBLM-150Z-CG plus
行程150mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1μm,平面度±1.25μm
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RBLM-150Z-CG Standard
行程150mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±2.5μm,平面度±2.5μm
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RBLM-175Z-CG Ultra
行程175mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1μm,平面度±1.25μm
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RBLM-175Z-CG plus
行程175mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1μm,平面度±1.25μm
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RBLM-175Z-CG Standard
行程175mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±2.5μm,平面度±2.5μm
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RBLM-200Z-CG Ultra
行程200mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1μm,平面度±1.25μm
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RBLM-200Z-CG plus
行程200mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1μm,平面度±1.25μm
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RBLM-200Z-CG Standard
行程200mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±2.5μm,平面度±2.5μm
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RBLM-250Z-CG Ultra
行程250mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1.25μm,平面度±1.5μm
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RBLM-250Z-CG plus
行程250mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1.25μm,平面度±1.5μm
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RBLM-250Z-CG Standard
行程250mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±3.5μm,平面度±3.5μm
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RBLM-300Z-CG Ultra
行程300mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1.25μm,平面度±1.5μm
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RBLM-300Z-CG plus
行程300mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1.25μm,平面度±1.5μm
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RBLM-300Z-CG Standard
行程300mm,滑块滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±3.5μm,平面度±3.5μm
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