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QFU-200-200-150Z-30SG四轴精密运动台
XYZ1轴非接触式闭式气浮结构
Z2轴平升结构(XY轴上),直接托举负载
亚微米级重复定位精度
XY轴直线度平面度1μm
优化线缆管理
QFU-200-200-150Z-30SG四轴精密运动台
QFU-200-200-150Z-30SG四轴精密运动台
QFU-200-200-150Z-30SG四轴精密运动台
产品描述
规格参数
实测数据
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应用领域
QFU-200-200-150Z-30SG四轴气浮运动台用于飞秒激光加工中。
产品简介
XY轴采用闭式气浮导轨,直线电机驱动及光栅尺闭环反馈组成,行程200*200mm,十字叠层结构,底轴为三气浮导轨结构,上轴的运动行程尺寸在底轴宽度范围内,防止上轴出现悬空下塌,改善叠层后上轴的精度性能。
Z1轴闭式气浮结构,气浮导轨四面均匀受力,对于一些大体积、大负载在气浮导轨上不均匀分布的应用,更能突出性能优势。置无摩擦重力平衡气缸,有效地抵消电机向上持续输出力,提升精度性能,同时断使能后负载不会受重力影响而向下脱落。
Z2轴力矩电机作为直驱方式,没有皮带、齿轮、蜗轮蜗杆和弹性联轴器中间传动环节。直接托举负载运动,相对侧升结构Z轴,无需转接板,负载重心布置在Z轴中心,有利于运行过程减小俯仰和偏摆的影响。
大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠,品质有保障。大理石做模态分析,优化结构尺寸,可依据客户的要求做最终设计。
规格参数

轴系 Axis

测试项目 Test Items

单位 Units

指标 Specification

X 底轴

X Bottom AXIS

行程 Travel

mm

200

补偿后定位精度 Accuracy

μm

±0.2

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

μm

±0.1

直线度 Straightness

μm

±0.4

平面度 Flatness

μm

±0.4

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

200

Y 上轴

Y Top AXIS

行程 Travel

mm

200

补偿后定位精度 Accuracy

μm

±0.2

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

μm

±0.1

直线度 Straightness

μm

±0.5

平面度 Flatness

μm

±0.5

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

200

Z2 轴

Z2 AXIS

行程 Travel

mm

30

补偿后定位精度 Accuracy

μm

±0.2

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

μm

±0.15

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

5

Z1 轴

Z1 AXIS

行程 Travel

mm

150

补偿后定位精度 Accuracy

μm

±0.2

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

μm

±0.1

直线度 Straightness

μm

±0.3

平面度 Flatness

μm

±0.5

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

100

XYZ2

负载 Load

kg

15

Z1

负载 Load

kg

15

实测数据
选型信息

详细选型信息请联系瑞邦定制咨询~

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产品样本
QFU-200-200-150Z-30SG四轴精密运动台产品样本
2024-06-25
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产品手册
CAD图纸
QFU-200-200-150Z-30SG四轴精密运动台尺寸图
2024-06-28
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3D模型
报价/订购
QFU-200-200-150Z-30SG
详细参数请联系瑞邦定制~
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