精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBXG-210XY-50Z-AB五轴精密运动台用于曲面飞秒激光加工、曲面精密加工等行业。

产品简介

Z轴采用伺服电机驱动，精密滑块滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈，行程50mm，大尺寸楔形平升机构，作为底轴实现精密定位，电机含断电抱闸功能。
XY轴均采用双直线电机驱动，防蠕动交叉滚柱导轨及光栅尺闭环反馈，行程210×210mm，安装Z轴上；此外，XY可定制抱闸功能。
AB轴采用力矩电机驱动，精密轴环导向及光栅尺闭环反馈，同步轴向和径向跳动误差优于1μm，安装到XY轴上，ZXYAB轴依次叠加的方式，终端负载10kg。
需要安装到大理石基座上使用，如使用光学面包板，建议在Z轴下面安装大理石基座。

规格参数

轴系 Axis	测试项目 Test Items	单位 Units	指标要求 Specification
Z 轴 Z AXIS	行程 Travel	mm	50
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±1
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.5
	微动步距 Min Incremental Motion	nm	0.8
	工作速度 Operating Speed	mm/s	5
X 轴 X AXIS	行程 Travel	mm	210
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.5
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.1
	直线度 Straightness	μm	±1.5
	平面度 Flatness	μm	±1.5
	微动步距 Min Incremental Motion	μm	0.8
	工作速度 Operating Speed	mm/s	150
Y 轴 Y AXIS	行程 Travel	mm	210
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.5
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.1
	直线度 Straightness	μm	±1.5
	平面度 Flatness	μm	±1.5
	微动步距 Min Incremental Motion	μm	0.8
	工作速度 Operating Speed	mm/s	150
A 轴 A AXIS	行程 Travel	°	±45
	补偿后定位精度 Accuracy	arc sec	±5
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	arc sec	±2
	轴向跳动误差 Axial Error Motion	μm	4
	径向跳动误差 Radial Error Motion	μm	4
	微动步距 Min Incremental Motion	arc sec	4
	工作速度 Operating Speed	°/s	30
B 轴 B AXIS	行程 Travel	°	360
	补偿后定位精度 Accuracy	arc sec	±5
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	arc sec	±2
	轴向跳动误差 Axial Error Motion	μm	4
	径向跳动误差 Radial Error Motion	μm	4
	微动步距 Min Incremental Motion	arc sec	4
	工作速度 Operating Speed	°/s	90
ZXYAB	负载 Load	kg	10