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QFDHSiC-XY系列碳化硅平面式气浮运动台
SiC导轨,超高性能精度
重复定位精度±15nm
平面式气浮结构,减小系统误差影响
刚度比铝合金导轨提高了5倍
高速,快速的整定时间
可选激光尺、干涉仪位置反馈
龙门式双驱结构,承载能力强
优化后的线缆管理系统
QFDHSiC-XY系列碳化硅平面式气浮运动台
QFDHSiC-XY系列碳化硅平面式气浮运动台
QFDHSiC-XY系列碳化硅平面式气浮运动台
产品描述
规格参数
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应用领域
QFDHSiC-XY系列碳化硅版平面式气浮运动台,采用有限元分析优化碳化硅结构和优化的气浮轴承补偿设计技术,提高精度的同时,也提高动态性能,用于晶圆曝光、大尺寸飞秒激光加工、刻划光栅及无图形晶圆缺陷检测等行业。
结构优势
QFDHSiC-XY系列采用碳化硅材质,具有非常好的刚度,是铝制结构的5倍,热膨胀系数降低了约5倍,利用有限元优化碳化硅气浮导轨结构,使设备达到高速运动而没有牺牲动态跟踪几何性能和热稳定性。新型气浮轴承补偿方式,极大提高系统的刚度和稳定性。
精度性能
采用无铁芯直线电机驱动,交叉解耦控制算法提供双驱轴的运动同步性能,气浮导轨实现无摩擦、无振动地平滑移动,由于非接触式结构,伺服反馈的跟随误差有了质地提升,定位精度和重复精度得到了显著提高。
线缆管理
使用带屏蔽的高柔排线,优化管线弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能。同时适用无尘车间。
定制化
根据应用可安装转台或晶圆装卸用的夹具。可选用激光尺或激光干涉仪闭环反馈,提升精度性能。
规格参数

型号 Model

单位 Units

QFDHSiC-300-300

QFHDSiC-300-500

QFDHSiC-300-700

QFDHSiC-300-1000

轴系 Axis (1)

X

Y

X

Y

X

Y

X

Y

行程 Travel

mm

300

300

300

500

300

700

300

1000

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

nm

±50

±50

±50

±100

±50

±150

±50

±200

普通版 Standard

±75

±75

±75

±150

±75

±200

±75

±300

单向重复定位精度(2)

Uni-Repeatability

高精版 Plus

nm

±3

±3

±3

±7.5

±3

±15

±3

±40

普通版 Standard

±10

±10

±10

±20

±10

±40

±10

±75

双向重复定位精度 (2)

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

nm

±5

±5

±5

±10

±5

±20

±5

±50

普通版 Standard

±15

±15

±15

±30

±15

±60

±15

±100

直线度 (3)

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.15

±0.15

±0.15

±0.25

±0.15

±0.4

±0.15

±0.5

普通版 Standard

±0.25

±0.25

±0.25

±0.45

±0.25

±0.75

±0.25

±1

平面度 (3)

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.15

±0.15

±0.15

±0.25

±0.15

±0.4

±0.15

±0.5

普通版 Standard

±0.25

±0.25

±0.25

±0.45

±0.25

±0.75

±0.25

±1

俯仰、翻滚、偏摆 (3)

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.1

±0.1

±0.1

±0.4

±0.1

±0.75

±0.1

±0.8

普通版 Standard

±0.5

±0.5

±0.5

±1

±0.5

±1.5

±0.5

±2

正交性

Orthogonality

高精版 Plus

arc sec

±0.5

普通版 Standard

±1

电子分辨率 Electronic Resolution (4)

nm

0.1, 0.3(选配)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (5)

m/s

2

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (5)

m/s²

5,10, 20, 30 定制)

最大负载 Max Load

kg

 50

供气压力 Operating Pressure (6)

MPa

0.5±0.05

 

型号 Model

单位 Units

QFDHSiC-350-350

QFDHSiC-350-500

QFDHSiC-350-700

QFDHSiC-350-1000

轴系 Axis (1)

X

Y

X

Y

X

Y

X

Y

行程 Travel

mm

350

350

350

500

350

700

350

1000

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

nm

±50

±50

±50

±100

±50

±150

±50

±200

普通版 Standard

±75

±75

±75

±150

±75

±200

±75

±300

单向重复定位精度 (2)

Uni-Repeatability

高精版 Plus

nm

±3

±3

±3

±7.5

±3

±15

±3

±40

普通版 Standard

±10

±10

±10

±20

±10

±40

±10

±75

双向重复定位精度 (2)

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

nm

±5

±5

±5

±10

±5

±20

±5

±50

普通版 Standard

±15

±15

±15

±30

±15

±60

±15

±100

直线度 (3)

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.2

±0.2

±0.2

±0.25

±0.2

±0.4

±0.2

±0.5

普通版 Standard

±0.3

±0.3

±0.3

±0.45

±0.3

±0.75

±0.3

±1

平面度 (3)

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.2

±0.2

±0.2

±0.25

±0.2

±0.4

±0.2

±0.5

普通版 Standard

±0.3

±0.3

±0.3

±0.45

±0.3

±0.75

±0.3

±1

俯仰、翻滚、偏摆 (3)

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.2

±0.2

±0.2

±0.4

±0.2

±0.75

±0.2

±0.8

普通版 Standard

±0.5

±0.5

±0.5

±1

±0.5

±1.5

±0.5

±2

正交性

Orthogonality

高精版 Plus

arc sec

±0.5

普通版 Standard

±1

电子分辨率 Electronic Resolution (4)

nm

0.1, 0.3(选配)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (5)

m/s

2

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (5)

m/s²

5,10, 20, 30 定制)

最大负载 Max Load

kg

 50

供气压力 Operating Pressure (6)

MPa

0.5±0.05

 

型号 Model

单位 Units

QFDHSiC-400-400

QFDHSiC-400-500

QFDHSiC-400-700

QFDHSiC-400-1000

轴系 Axis (1)

X

Y

X

Y

X

Y

X

Y

行程 Travel

mm

400

400

400

500

400

700

400

1000

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

nm

±50

±50

±50

±100

±50

±150

±50

±200

普通版 Standard

±75

±75

±75

±150

±75

±200

±75

±300

单向重复定位精度 (2)

Uni-Repeatability

高精版 Plus

nm

±3

±3

±3

±7.5

±3

±15

±3

±40

普通版 Standard

±10

±10

±10

±20

±10

±40

±10

±75

双向重复定位精度 (2)

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

nm

±5

±5

±5

±10

±5

±20

±5

±50

普通版 Standard

±15

±15

±15

±30

±15

±60

±15

±100

直线度 (3)

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.25

±0.25

±0.25

±0.25

±0.25

±0.4

±0.25

±0.5

普通版 Standard

±0.35

±0.35

±0.35

±0.45

±0.35

±0.75

±0.35

±1

平面度 (3)

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.25

±0.25

±0.25

±0.25

±0.25

±0.4

±0.25

±0.5

普通版 Standard

±0.35

±0.35

±0.35

±0.45

±0.35

±0.75

±0.35

±1

俯仰、翻滚、偏摆 (3)

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.3

±0.3

±0.3

±0.4

±0.3

±0.75

±0.3

±0.8

普通版 Standard

±0.5

±0.5

±0.5

±1

±0.5

±1.5

±0.5

±2

正交性

Orthogonality

高精版 Plus

arc sec

±0.5

普通版 Standard

±1

电子分辨率 Electronic Resolution (4)

nm

0.1, 0.3(选配)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (5)

m/s

2

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (5)

m/s²

5,10, 20, 30 定制)

最大负载 Max Load

kg

 50

供气压力 Operating Pressure (6)

MPa

0.5±0.05

 

特殊项目 Special Items (7) 单位 Units 数值 Data
微动步距 Min Incremental Step nm 默认, ≤ 5, ≤ 10
定位纹波 In Position Stability nm 默认, ≤ 5, ≤ 10
跟随误差 Following Error nm 默认, ≤ 20nm@20mm/s(带载)

注:

以上为单轴精度指标,测试点在负载板上25mm处,测试环境,请咨询我们。

1. X轴为横梁轴,Y轴为双驱龙门轴,行程可根据需求定制;

2. 重复定位精度 ≤ ±10nm,需要加激光尺或双频干涉仪和长条反射镜做反馈;

3. 取决于平台安装表面的平面度;

4. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数,电子分辨率 ≤0.1nm,需要用干涉仪做反馈;

5. 空载条件下指标,最大速度和加速度取决于负载大小;

6. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的(过滤至0.25μm或更佳,ISO8573-1),无水(压力露点-20ISO8573-1级别3)及无油(ISO8573-1级别1

7. 无特殊项目要求,出厂默认为准。

选型信息
型号 QFDHSiC -300-300 -P -N -1 -0 -3 -N
描述 碳化硅平面式气浮运动台

X轴行程300mmY轴行程300mm

高精版 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 线缆长度3 无支撑钢架

 

名称

型号

描述

碳化硅平面式气浮运动台

QFDHSiC

碳化硅平面式气浮运动台

行程

-300-300

X轴行程300mm;  Y轴行程300mm

-300-500

X轴行程300mm;  Y轴行程500mm

-300-700

X轴行程300mm;  Y轴行程700mm

-300-1000

X轴行程300mm;  Y轴行程1000mm

-350-350

X轴行程350mm;  Y轴行程350mm

-350-500

X轴行程350mm;  Y轴行程500mm

-350-700

X轴行程350mm;  Y轴行程700mm

-350-1000

X轴行程350mm;  Y轴行程1000mm

-400-400

X轴行程400mm;  Y轴行程400mm

-400-500

X轴行程400mm;  Y轴行程500mm

-400-700

X轴行程400mm;  Y轴行程700mm

-400-1000

X轴行程400mm;  Y轴行程1000mm

精度等级

 

-N

Standard普通版

-P

Plus高精版

电子分辨率

-N

默认

-0.1

电子分辨率0.1nm

-0.3

电子分辨率0.3nm

反馈方式

-1

增量式光栅1Vpp反馈

-T

增量式光栅TTL反馈

-ABS

绝对式光栅反馈

-LS

激光尺反馈

-CP

双频干涉仪反馈

零点位置

-L

零点在行程左极限位置

-0

零点在行程中心位置(标配)

-R

零点在行程右极限位置

线缆长度

-3

长度3米(标配)

-5

长度5米

-DZ

定制
支撑钢架

-Y

有支撑钢架

-N

无支撑钢架(标配)
 
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QFDHSiC-XY系列碳化硅平面式气浮运动台产品样本
2024-09-14
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QFDHSiC-300-300
X轴行程300mm,Y轴行程300mm,双向重复定位精度±15nm,直线度±0.25μm,平面度±0.25μm,正交性<1arc sec
添加至报价单
QFDHSiC-300-300 PLUS
X轴行程300mm,Y轴行程300mm,双向重复定位精度±5nm,直线度±0.15μm,平面度±0.15μm,正交性<0.5arc sec
添加至报价单
QFDHSiC-300-500
X轴行程300mm,双向重复定位精度±15nm,直线度±0.25μm,平面度±0.25μm;Y轴行程500mm,双向重复定位精度±30nm,直线度±0.45μm,平面度±0.45μm,正交性<1arc sec
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QFDHSiC-300-500 PLUS
X轴行程300mm,双向重复定位精度±5nm,直线度±0.15μm,平面度±0.15μm;Y轴行程500mm,双向重复定位精度±10nm,直线度±0.25μm,平面度±0.25μm,正交性<0.5arc sec
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QFDHSiC-300-700
X轴行程300mm,双向重复定位精度±15nm,直线度±0.25μm,平面度±0.25μm;Y轴行程700mm,双向重复定位精度±60nm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm,正交性<1arc sec
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QFDHSiC-300-700 PLUS
X轴行程300mm,双向重复定位精度±5nm,直线度±0.15μm,平面度±0.15μm;Y轴行程700mm,双向重复定位精度±20nm,直线度±0.4μm,平面度±0.4μm,正交性<0.5arc sec
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QFDHSiC-300-1000
X轴行程300mm,双向重复定位精度±15nm,直线度±0.25μm,平面度±0.25μm;Y轴行程1000mm,双向重复定位精度±100nm,直线度±1μm,平面度±1μm,正交性<1arc sec
添加至报价单
QFDHSiC-300-1000 PLUS
X轴行程300mm,双向重复定位精度±5nm,直线度±0.15μm,平面度±0.15μm;Y轴行程1000mm,双向重复定位精度±50nm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm,正交性<0.5arc sec
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QFDHSiC-350-350
X轴行程350mm,Y轴行程350mm,双向重复定位精度±15nm,直线度±0.3μm,平面度±0.3μm,正交性<1arc sec
添加至报价单
QFDHSiC-350-350 PLUS
X轴行程350mm,Y轴行程350mm,双向重复定位精度±5nm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm,正交性<0.5arc sec
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QFDHSiC-350-500
X轴行程350mm,双向重复定位精度±15nm,直线度±0.3μm,平面度±0.3μm;Y轴行程500mm,双向重复定位精度±30nm,直线度±0.45μm,平面度±0.45μm,正交性<1arc sec
添加至报价单
QFDHSiC-350-500 PLUS
X轴行程350mm,双向重复定位精度±5nm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm;Y轴行程500mm,双向重复定位精度±10nm,直线度±0.25μm,平面度±0.25μm,正交性<0.5arc sec
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QFDHSiC-350-700
X轴行程350mm,双向重复定位精度±15nm,直线度±0.3μm,平面度±0.3μm;Y轴行程700mm,双向重复定位精度±60nm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm,正交性<1arc sec
添加至报价单
QFDHSiC-350-700 PLUS
X轴行程350mm,双向重复定位精度±5nm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm;Y轴行程700mm,双向重复定位精度±20nm,直线度±0.4μm,平面度±0.4μm,正交性<0.5arc sec
添加至报价单
QFDHSiC-350-1000
X轴行程350mm,双向重复定位精度±15nm,直线度±0.3μm,平面度±0.3μm;Y轴行程1000mm,双向重复定位精度±100nm,直线度±1μm,平面度±1μm,正交性<1arc sec
添加至报价单
QFDHSiC-350-1000 PLUS
X轴行程350mm,双向重复定位精度±5nm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm;Y轴行程1000mm,双向重复定位精度±50nm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm,正交性<0.5arc sec
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QFDHSiC-400-400
X轴行程400mm,Y轴行程400mm,双向重复定位精度±15nm,直线度±0.35μm,平面度±0.35μm,正交性<1arc sec
添加至报价单
QFDHSiC-400-400 PLUS
X轴行程400mm,Y轴行程400mm,双向重复定位精度±5nm,直线度±0.25μm,平面度±0.25μm,正交性<0.5arc sec
添加至报价单
QFDHSiC-400-500
X轴行程400mm,双向重复定位精度±15nm,直线度±0.35μm,平面度±0.35μm;Y轴行程500mm,双向重复定位精度±30nm,直线度±0.45μm,平面度±0.45μm,正交性<1arc sec
添加至报价单
QFDHSiC-400-500 PLUS
X轴行程400mm,双向重复定位精度±5nm,直线度±0.25μm,平面度±0.25μm;Y轴行程500mm,双向重复定位精度±10nm,直线度±0.25μm,平面度±0.25μm,正交性<0.5arc sec
添加至报价单
QFDHSiC-400-700
X轴行程400mm,双向重复定位精度±15nm,直线度±0.35μm,平面度±0.35μm;Y轴行程700mm,双向重复定位精度±60nm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm,正交性<1arc sec
添加至报价单
QFDHSiC-400-700 PLUS
X轴行程400mm,双向重复定位精度±5nm,直线度±0.25μm,平面度±0.25μm;Y轴行程700mm,双向重复定位精度±20nm,直线度±0.4μm,平面度±0.4μm,正交性<0.5arc sec
添加至报价单
QFDHSiC-400-1000
X轴行程400mm,双向重复定位精度±15nm,直线度±0.35μm,平面度±0.35μm;Y轴行程1000mm,双向重复定位精度±100nm,直线度±1μm,平面度±1μm,正交性<1arc sec
添加至报价单
QFDHSiC-400-1000 PLUS
X轴行程400mm,双向重复定位精度±5nm,直线度±0.25μm,平面度±0.25μm;Y轴行程1000mm,双向重复定位精度±50nm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm,正交性<0.5arc sec
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