型号 Model |
单位 Units |
QFDHSiC-300-300 |
QFHDSiC-300-500 |
QFDHSiC-300-700 |
QFDHSiC-300-1000 |
|||||
轴系 Axis (1) |
— |
X |
Y |
X |
Y |
X |
Y |
X |
Y |
|
行程 Travel |
mm |
300 |
300 |
300 |
500 |
300 |
700 |
300 |
1000 |
|
补偿后定位精度 Accuracy |
高精版 Plus |
nm |
±50 |
±50 |
±50 |
±100 |
±50 |
±150 |
±50 |
±200 |
普通版 Standard |
±75 |
±75 |
±75 |
±150 |
±75 |
±200 |
±75 |
±300 |
||
单向重复定位精度(2) Uni-Repeatability |
高精版 Plus |
nm |
±3 |
±3 |
±3 |
±7.5 |
±3 |
±15 |
±3 |
±40 |
普通版 Standard |
±10 |
±10 |
±10 |
±20 |
±10 |
±40 |
±10 |
±75 |
||
双向重复定位精度 (2) Bi-Dir Repeatability |
高精版 Plus |
nm |
±5 |
±5 |
±5 |
±10 |
±5 |
±20 |
±5 |
±50 |
普通版 Standard |
±15 |
±15 |
±15 |
±30 |
±15 |
±60 |
±15 |
±100 |
||
直线度 (3) Straightness |
高精版 Plus |
μm |
±0.15 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.25 |
±0.15 |
±0.4 |
±0.15 |
±0.5 |
普通版 Standard |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.45 |
±0.25 |
±0.75 |
±0.25 |
±1 |
||
平面度 (3) Flatness |
高精版 Plus |
μm |
±0.15 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.25 |
±0.15 |
±0.4 |
±0.15 |
±0.5 |
普通版 Standard |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.45 |
±0.25 |
±0.75 |
±0.25 |
±1 |
||
俯仰、翻滚、偏摆 (3) Pitch Roll Yaw |
高精版 Plus |
arc sec |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.4 |
±0.1 |
±0.75 |
±0.1 |
±0.8 |
普通版 Standard |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±1 |
±0.5 |
±1.5 |
±0.5 |
±2 |
||
正交性 Orthogonality |
高精版 Plus |
arc sec |
±0.5 |
|||||||
普通版 Standard |
±1 |
|||||||||
电子分辨率 Electronic Resolution (4) |
nm |
0.1, 0.3(选配) |
||||||||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (5) |
m/s |
2 |
||||||||
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (5) |
m/s² |
5,(10, 20, 30 定制) |
||||||||
最大负载 Max Load |
kg |
50 |
||||||||
供气压力 Operating Pressure (6) |
MPa |
0.5±0.05 |
型号 Model |
单位 Units |
QFDHSiC-350-350 |
QFDHSiC-350-500 |
QFDHSiC-350-700 |
QFDHSiC-350-1000 |
|||||
轴系 Axis (1) |
— |
X |
Y |
X |
Y |
X |
Y |
X |
Y |
|
行程 Travel |
mm |
350 |
350 |
350 |
500 |
350 |
700 |
350 |
1000 |
|
补偿后定位精度 Accuracy |
高精版 Plus |
nm |
±50 |
±50 |
±50 |
±100 |
±50 |
±150 |
±50 |
±200 |
普通版 Standard |
±75 |
±75 |
±75 |
±150 |
±75 |
±200 |
±75 |
±300 |
||
单向重复定位精度 (2) Uni-Repeatability |
高精版 Plus |
nm |
±3 |
±3 |
±3 |
±7.5 |
±3 |
±15 |
±3 |
±40 |
普通版 Standard |
±10 |
±10 |
±10 |
±20 |
±10 |
±40 |
±10 |
±75 |
||
双向重复定位精度 (2) Bi-Dir Repeatability |
高精版 Plus |
nm |
±5 |
±5 |
±5 |
±10 |
±5 |
±20 |
±5 |
±50 |
普通版 Standard |
±15 |
±15 |
±15 |
±30 |
±15 |
±60 |
±15 |
±100 |
||
直线度 (3) Straightness |
高精版 Plus |
μm |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.25 |
±0.2 |
±0.4 |
±0.2 |
±0.5 |
普通版 Standard |
±0.3 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.45 |
±0.3 |
±0.75 |
±0.3 |
±1 |
||
平面度 (3) Flatness |
高精版 Plus |
μm |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.25 |
±0.2 |
±0.4 |
±0.2 |
±0.5 |
普通版 Standard |
±0.3 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.45 |
±0.3 |
±0.75 |
±0.3 |
±1 |
||
俯仰、翻滚、偏摆 (3) Pitch Roll Yaw |
高精版 Plus |
arc sec |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.4 |
±0.2 |
±0.75 |
±0.2 |
±0.8 |
普通版 Standard |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±1 |
±0.5 |
±1.5 |
±0.5 |
±2 |
||
正交性 Orthogonality |
高精版 Plus |
arc sec |
±0.5 |
|||||||
普通版 Standard |
±1 |
|||||||||
电子分辨率 Electronic Resolution (4) |
nm |
0.1, 0.3(选配) |
||||||||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (5) |
m/s |
2 |
||||||||
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (5) |
m/s² |
5,(10, 20, 30 定制) |
||||||||
最大负载 Max Load |
kg |
50 |
||||||||
供气压力 Operating Pressure (6) |
MPa |
0.5±0.05 |
型号 Model |
单位 Units |
QFDHSiC-400-400 |
QFDHSiC-400-500 |
QFDHSiC-400-700 |
QFDHSiC-400-1000 |
|||||
轴系 Axis (1) |
— |
X |
Y |
X |
Y |
X |
Y |
X |
Y |
|
行程 Travel |
mm |
400 |
400 |
400 |
500 |
400 |
700 |
400 |
1000 |
|
补偿后定位精度 Accuracy |
高精版 Plus |
nm |
±50 |
±50 |
±50 |
±100 |
±50 |
±150 |
±50 |
±200 |
普通版 Standard |
±75 |
±75 |
±75 |
±150 |
±75 |
±200 |
±75 |
±300 |
||
单向重复定位精度 (2) Uni-Repeatability |
高精版 Plus |
nm |
±3 |
±3 |
±3 |
±7.5 |
±3 |
±15 |
±3 |
±40 |
普通版 Standard |
±10 |
±10 |
±10 |
±20 |
±10 |
±40 |
±10 |
±75 |
||
双向重复定位精度 (2) Bi-Dir Repeatability |
高精版 Plus |
nm |
±5 |
±5 |
±5 |
±10 |
±5 |
±20 |
±5 |
±50 |
普通版 Standard |
±15 |
±15 |
±15 |
±30 |
±15 |
±60 |
±15 |
±100 |
||
直线度 (3) Straightness |
高精版 Plus |
μm |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.4 |
±0.25 |
±0.5 |
普通版 Standard |
±0.35 |
±0.35 |
±0.35 |
±0.45 |
±0.35 |
±0.75 |
±0.35 |
±1 |
||
平面度 (3) Flatness |
高精版 Plus |
μm |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.4 |
±0.25 |
±0.5 |
普通版 Standard |
±0.35 |
±0.35 |
±0.35 |
±0.45 |
±0.35 |
±0.75 |
±0.35 |
±1 |
||
俯仰、翻滚、偏摆 (3) Pitch Roll Yaw |
高精版 Plus |
arc sec |
±0.3 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.4 |
±0.3 |
±0.75 |
±0.3 |
±0.8 |
普通版 Standard |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±1 |
±0.5 |
±1.5 |
±0.5 |
±2 |
||
正交性 Orthogonality |
高精版 Plus |
arc sec |
±0.5 |
|||||||
普通版 Standard |
±1 |
|||||||||
电子分辨率 Electronic Resolution (4) |
nm |
0.1, 0.3(选配) |
||||||||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (5) |
m/s |
2 |
||||||||
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (5) |
m/s² |
5,(10, 20, 30 定制) |
||||||||
最大负载 Max Load |
kg |
50 |
||||||||
供气压力 Operating Pressure (6) |
MPa |
0.5±0.05 |
特殊项目 Special Items (7) | 单位 Units | 数值 Data |
微动步距 Min Incremental Step | nm | 默认, ≤ 5, ≤ 10 |
定位纹波 In Position Stability | nm | 默认, ≤ 5, ≤ 10 |
跟随误差 Following Error | nm | 默认, ≤ 20nm@20mm/s(带载) |
注:
以上为单轴精度指标,测试点在负载板上25mm处,测试环境,请咨询我们。
1. X轴为横梁轴,Y轴为双驱龙门轴,行程可根据需求定制;
2. 重复定位精度 ≤ ±10nm,需要加激光尺或双频干涉仪和长条反射镜做反馈;
3. 取决于平台安装表面的平面度;
4. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数,电子分辨率 ≤0.1nm,需要用干涉仪做反馈;
5. 空载条件下指标,最大速度和加速度取决于负载大小;
6. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的(过滤至0.25μm或更佳,ISO8573-1),无水(压力露点-20℃,ISO8573-1级别3)及无油(ISO8573-1级别1)
7. 无特殊项目要求,出厂默认为准。
型号 | QFDHSiC | -300-300 | -P | -N | -1 | -0 | -3 | -N |
描述 | 碳化硅平面式气浮运动台 |
X轴行程300mm;Y轴行程300mm |
高精版 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | 线缆长度3米 | 无支撑钢架 |
名称 |
型号 |
描述 |
碳化硅平面式气浮运动台 |
QFDHSiC |
碳化硅平面式气浮运动台 |
行程 |
-300-300 |
X轴行程300mm; Y轴行程300mm |
-300-500 |
X轴行程300mm; Y轴行程500mm |
|
-300-700 |
X轴行程300mm; Y轴行程700mm |
|
-300-1000 |
X轴行程300mm; Y轴行程1000mm |
|
-350-350 |
X轴行程350mm; Y轴行程350mm |
|
-350-500 |
X轴行程350mm; Y轴行程500mm |
|
-350-700 |
X轴行程350mm; Y轴行程700mm |
|
-350-1000 |
X轴行程350mm; Y轴行程1000mm |
|
-400-400 |
X轴行程400mm; Y轴行程400mm |
|
-400-500 |
X轴行程400mm; Y轴行程500mm |
|
-400-700 |
X轴行程400mm; Y轴行程700mm |
|
-400-1000 |
X轴行程400mm; Y轴行程1000mm |
|
精度等级
|
-N |
Standard普通版 |
-P |
Plus高精版 |
|
电子分辨率 |
-N |
默认 |
-0.1 |
电子分辨率0.1nm |
|
-0.3 |
电子分辨率0.3nm |
|
反馈方式 |
-1 |
增量式光栅1Vpp反馈 |
-T |
增量式光栅TTL反馈 |
|
-ABS |
绝对式光栅反馈 |
|
-LS |
激光尺反馈 |
|
-CP |
双频干涉仪反馈 |
|
零点位置 |
-L |
零点在行程左极限位置 |
-0 |
零点在行程中心位置(标配) |
|
-R |
零点在行程右极限位置 | |
线缆长度 |
-3 |
长度3米(标配) |
-5 |
长度5米 | |
-DZ |
定制 | |
支撑钢架 |
-Y |
有支撑钢架 |
-N |
无支撑钢架(标配) |