精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

QFDHSiC-XY系列碳化硅版平面式气浮运动台，采用有限元分析优化碳化硅结构和优化的气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提高动态性能，用于晶圆曝光、大尺寸飞秒激光加工、刻划光栅及无图形晶圆缺陷检测等行业。

结构优势

QFDHSiC-XY系列采用碳化硅材质，具有非常好的刚度，是铝制结构的5倍，热膨胀系数降低了约5倍，利用有限元优化碳化硅气浮导轨结构，使设备达到高速运动而没有牺牲动态跟踪几何性能和热稳定性。新型气浮轴承补偿方式，极大提高系统的刚度和稳定性。

精度性能

采用无铁芯直线电机驱动，交叉解耦控制算法提供双驱轴的运动同步性能，气浮导轨实现无摩擦、无振动地平滑移动，由于非接触式结构，伺服反馈的跟随误差有了质地提升，定位精度和重复精度得到了显著提高。

线缆管理

使用带屏蔽的高柔排线，优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能。同时适用无尘车间。

定制化

根据应用可安装转台或晶圆装卸用的夹具。可选用激光尺或激光干涉仪闭环反馈，提升精度性能。

规格参数

型号 Model		单位 Units	QFDHSiC-300-300		QFHDSiC-300-500		QFDHSiC-300-700		QFDHSiC-300-1000
轴系 Axis ⁽¹⁾		—	X	Y	X	Y	X	Y	X	Y
行程 Travel		mm	300	300	300	500	300	700	300	1000
补偿后定位精度 Accuracy	高精版 Plus	nm	±50	±50	±50	±100	±50	±150	±50	±200
补偿后定位精度 Accuracy	普通版 Standard	nm	±75	±75	±75	±150	±75	±200	±75	±300
单向重复定位精度^（2） Uni-Repeatability	高精版 Plus	nm	±3	±3	±3	±7.5	±3	±15	±3	±40
单向重复定位精度^（2） Uni-Repeatability	普通版 Standard	nm	±10	±10	±10	±20	±10	±40	±10	±75
双向重复定位精度 ⁽²⁾ Bi-Dir Repeatability	高精版 Plus	nm	±5	±5	±5	±10	±5	±20	±5	±50
双向重复定位精度 ⁽²⁾ Bi-Dir Repeatability	普通版 Standard	nm	±15	±15	±15	±30	±15	±60	±15	±100
直线度 ⁽³⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.15	±0.15	±0.15	±0.25	±0.15	±0.4	±0.15	±0.5
直线度 ⁽³⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±0.25	±0.25	±0.25	±0.45	±0.25	±0.75	±0.25	±1
平面度 ⁽³⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.15	±0.15	±0.15	±0.25	±0.15	±0.4	±0.15	±0.5
平面度 ⁽³⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±0.25	±0.25	±0.25	±0.45	±0.25	±0.75	±0.25	±1
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽³⁾ Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±0.1	±0.1	±0.1	±0.4	±0.1	±0.75	±0.1	±0.8
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽³⁾ Pitch Roll Yaw	普通版 Standard	arc sec	±0.5	±0.5	±0.5	±1	±0.5	±1.5	±0.5	±2
正交性 Orthogonality	高精版 Plus	arc sec	±0.5
正交性 Orthogonality	普通版 Standard	arc sec	±1
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽⁴⁾		nm	0.1, 0.3（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽⁵⁾		m/s	2
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽⁵⁾		m/s²	5,（10, 20, 30 定制）
最大负载 Max Load		kg	50
供气压力 Operating Pressure ⁽⁶⁾		MPa	0.5±0.05

型号 Model		单位 Units	QFDHSiC-350-350		QFDHSiC-350-500		QFDHSiC-350-700		QFDHSiC-350-1000
轴系 Axis ⁽¹⁾		—	X	Y	X	Y	X	Y	X	Y
行程 Travel		mm	350	350	350	500	350	700	350	1000
补偿后定位精度 Accuracy	高精版 Plus	nm	±50	±50	±50	±100	±50	±150	±50	±200
补偿后定位精度 Accuracy	普通版 Standard	nm	±75	±75	±75	±150	±75	±200	±75	±300
单向重复定位精度 ⁽²⁾ Uni-Repeatability	高精版 Plus	nm	±3	±3	±3	±7.5	±3	±15	±3	±40
单向重复定位精度 ⁽²⁾ Uni-Repeatability	普通版 Standard	nm	±10	±10	±10	±20	±10	±40	±10	±75
双向重复定位精度 ⁽²⁾ Bi-Dir Repeatability	高精版 Plus	nm	±5	±5	±5	±10	±5	±20	±5	±50
双向重复定位精度 ⁽²⁾ Bi-Dir Repeatability	普通版 Standard	nm	±15	±15	±15	±30	±15	±60	±15	±100
直线度 ⁽³⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.2	±0.2	±0.2	±0.25	±0.2	±0.4	±0.2	±0.5
直线度 ⁽³⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±0.3	±0.3	±0.3	±0.45	±0.3	±0.75	±0.3	±1
平面度 ⁽³⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.2	±0.2	±0.2	±0.25	±0.2	±0.4	±0.2	±0.5
平面度 ⁽³⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±0.3	±0.3	±0.3	±0.45	±0.3	±0.75	±0.3	±1
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽³⁾ Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±0.2	±0.2	±0.2	±0.4	±0.2	±0.75	±0.2	±0.8
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽³⁾ Pitch Roll Yaw	普通版 Standard	arc sec	±0.5	±0.5	±0.5	±1	±0.5	±1.5	±0.5	±2
正交性 Orthogonality	高精版 Plus	arc sec	±0.5
正交性 Orthogonality	普通版 Standard	arc sec	±1
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽⁴⁾		nm	0.1, 0.3（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽⁵⁾		m/s	2
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽⁵⁾		m/s²	5,（10, 20, 30 定制）
最大负载 Max Load		kg	50
供气压力 Operating Pressure ⁽⁶⁾		MPa	0.5±0.05

型号 Model		单位 Units	QFDHSiC-400-400		QFDHSiC-400-500		QFDHSiC-400-700		QFDHSiC-400-1000
轴系 Axis ⁽¹⁾		—	X	Y	X	Y	X	Y	X	Y
行程 Travel		mm	400	400	400	500	400	700	400	1000
补偿后定位精度 Accuracy	高精版 Plus	nm	±50	±50	±50	±100	±50	±150	±50	±200
补偿后定位精度 Accuracy	普通版 Standard	nm	±75	±75	±75	±150	±75	±200	±75	±300
单向重复定位精度⁽²⁾ Uni-Repeatability	高精版 Plus	nm	±3	±3	±3	±7.5	±3	±15	±3	±40
单向重复定位精度⁽²⁾ Uni-Repeatability	普通版 Standard	nm	±10	±10	±10	±20	±10	±40	±10	±75
双向重复定位精度 ⁽²⁾ Bi-Dir Repeatability	高精版 Plus	nm	±5	±5	±5	±10	±5	±20	±5	±50
双向重复定位精度 ⁽²⁾ Bi-Dir Repeatability	普通版 Standard	nm	±15	±15	±15	±30	±15	±60	±15	±100
直线度 ⁽³⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.25	±0.25	±0.25	±0.25	±0.25	±0.4	±0.25	±0.5
直线度 ⁽³⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±0.35	±0.35	±0.35	±0.45	±0.35	±0.75	±0.35	±1
平面度 ⁽³⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.25	±0.25	±0.25	±0.25	±0.25	±0.4	±0.25	±0.5
平面度 ⁽³⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±0.35	±0.35	±0.35	±0.45	±0.35	±0.75	±0.35	±1
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽³⁾ Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±0.3	±0.3	±0.3	±0.4	±0.3	±0.75	±0.3	±0.8
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽³⁾ Pitch Roll Yaw	普通版 Standard	arc sec	±0.5	±0.5	±0.5	±1	±0.5	±1.5	±0.5	±2
正交性 Orthogonality	高精版 Plus	arc sec	±0.5
正交性 Orthogonality	普通版 Standard	arc sec	±1
电子分辨率 Electronic Resolution⁽⁴⁾		nm	0.1, 0.3（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽⁵⁾		m/s	2
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽⁵⁾		m/s²	5,（10, 20, 30 定制）
最大负载 Max Load		kg	50
供气压力 Operating Pressure ⁽⁶⁾		MPa	0.5±0.05

特殊项目 Special Items ⁽⁷⁾	单位 Units	数值 Data
微动步距 Min Incremental Step	nm	默认, ≤ 5, ≤ 10
定位纹波 In Position Stability	nm	默认, ≤ 5, ≤ 10
跟随误差 Following Error	nm	默认, ≤ 20nm@20mm/s（带载）

注：

以上为单轴精度指标，测试点在负载板上25mm处，测试环境，请咨询我们。

1. X轴为横梁轴，Y轴为双驱龙门轴，行程可根据需求定制；

2. 重复定位精度 ≤ ±10nm，需要加激光尺或双频干涉仪和长条反射镜做反馈；

3. 取决于平台安装表面的平面度；

4. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数，电子分辨率 ≤0.1nm，需要用干涉仪做反馈；

5. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小；

6. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）

7. 无特殊项目要求，出厂默认为准。

实测数据

QFDHSiC-350-700定位精度和重复定位精度实测报告.pdf

选型信息

型号	QFDHSiC	-300-300	-P	-N	-1	-0	-3	-N
描述	碳化硅平面式气浮运动台	X轴行程300mm；Y轴行程300mm	高精版	默认	增量式光栅1Vpp反馈	零点在行程中心位置	线缆长度3米	无支撑钢架

名称	型号	描述
碳化硅平面式气浮运动台	QFDHSiC	碳化硅平面式气浮运动台
行程	-300-300	X轴行程300mm； Y轴行程300mm
	-300-500	X轴行程300mm； Y轴行程500mm
	-300-700	X轴行程300mm； Y轴行程700mm
	-300-1000	X轴行程300mm； Y轴行程1000mm
	-350-350	X轴行程350mm； Y轴行程350mm
	-350-500	X轴行程350mm； Y轴行程500mm
	-350-700	X轴行程350mm； Y轴行程700mm
	-350-1000	X轴行程350mm； Y轴行程1000mm
	-400-400	X轴行程400mm； Y轴行程400mm
	-400-500	X轴行程400mm； Y轴行程500mm
	-400-700	X轴行程400mm； Y轴行程700mm
	-400-1000	X轴行程400mm； Y轴行程1000mm
精度等级	-N	Standard普通版
精度等级	-P	Plus高精版
电子分辨率	-N	默认
	-0.1	电子分辨率0.1nm
	-0.3	电子分辨率0.3nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
	-LS	激光尺反馈
	-CP	双频干涉仪反馈
零点位置	-L	零点在行程左极限位置
	-0	零点在行程中心位置（标配）
	-R	零点在行程右极限位置
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
支撑钢架	-Y	有支撑钢架
支撑钢架	-N	无支撑钢架（标配）

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QFDHSiC-XY系列碳化硅平面式气浮运动台产品样本

2024-09-14

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QFDHSiC-300-300

X轴行程300mm，Y轴行程300mm，双向重复定位精度±15nm，直线度±0.25μm，平面度±0.25μm，正交性＜1arc sec

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QFDHSiC-300-300 PLUS

X轴行程300mm，Y轴行程300mm，双向重复定位精度±5nm，直线度±0.15μm，平面度±0.15μm，正交性＜0.5arc sec

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QFDHSiC-300-500

X轴行程300mm，双向重复定位精度±15nm，直线度±0.25μm，平面度±0.25μm；Y轴行程500mm，双向重复定位精度±30nm，直线度±0.45μm，平面度±0.45μm，正交性＜1arc sec

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QFDHSiC-300-500 PLUS

X轴行程300mm，双向重复定位精度±5nm，直线度±0.15μm，平面度±0.15μm；Y轴行程500mm，双向重复定位精度±10nm，直线度±0.25μm，平面度±0.25μm，正交性＜0.5arc sec

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QFDHSiC-300-700

X轴行程300mm，双向重复定位精度±15nm，直线度±0.25μm，平面度±0.25μm；Y轴行程700mm，双向重复定位精度±60nm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm，正交性＜1arc sec

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QFDHSiC-300-700 PLUS

X轴行程300mm，双向重复定位精度±5nm，直线度±0.15μm，平面度±0.15μm；Y轴行程700mm，双向重复定位精度±20nm，直线度±0.4μm，平面度±0.4μm，正交性＜0.5arc sec

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QFDHSiC-300-1000

X轴行程300mm，双向重复定位精度±15nm，直线度±0.25μm，平面度±0.25μm；Y轴行程1000mm，双向重复定位精度±100nm，直线度±1μm，平面度±1μm，正交性＜1arc sec

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QFDHSiC-300-1000 PLUS

X轴行程300mm，双向重复定位精度±5nm，直线度±0.15μm，平面度±0.15μm；Y轴行程1000mm，双向重复定位精度±50nm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm，正交性＜0.5arc sec

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QFDHSiC-350-350

X轴行程350mm，Y轴行程350mm，双向重复定位精度±15nm，直线度±0.3μm，平面度±0.3μm，正交性＜1arc sec

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QFDHSiC-350-350 PLUS

X轴行程350mm，Y轴行程350mm，双向重复定位精度±5nm，直线度±0.2μm，平面度±0.2μm，正交性＜0.5arc sec

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QFDHSiC-350-500

X轴行程350mm，双向重复定位精度±15nm，直线度±0.3μm，平面度±0.3μm；Y轴行程500mm，双向重复定位精度±30nm，直线度±0.45μm，平面度±0.45μm，正交性＜1arc sec

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QFDHSiC-350-500 PLUS

X轴行程350mm，双向重复定位精度±5nm，直线度±0.2μm，平面度±0.2μm；Y轴行程500mm，双向重复定位精度±10nm，直线度±0.25μm，平面度±0.25μm，正交性＜0.5arc sec

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QFDHSiC-350-700

X轴行程350mm，双向重复定位精度±15nm，直线度±0.3μm，平面度±0.3μm；Y轴行程700mm，双向重复定位精度±60nm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm，正交性＜1arc sec

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QFDHSiC-350-700 PLUS

X轴行程350mm，双向重复定位精度±5nm，直线度±0.2μm，平面度±0.2μm；Y轴行程700mm，双向重复定位精度±20nm，直线度±0.4μm，平面度±0.4μm，正交性＜0.5arc sec

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QFDHSiC-350-1000

X轴行程350mm，双向重复定位精度±15nm，直线度±0.3μm，平面度±0.3μm；Y轴行程1000mm，双向重复定位精度±100nm，直线度±1μm，平面度±1μm，正交性＜1arc sec

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QFDHSiC-350-1000 PLUS

X轴行程350mm，双向重复定位精度±5nm，直线度±0.2μm，平面度±0.2μm；Y轴行程1000mm，双向重复定位精度±50nm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm，正交性＜0.5arc sec

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QFDHSiC-400-400

X轴行程400mm，Y轴行程400mm，双向重复定位精度±15nm，直线度±0.35μm，平面度±0.35μm，正交性＜1arc sec

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QFDHSiC-400-400 PLUS

X轴行程400mm，Y轴行程400mm，双向重复定位精度±5nm，直线度±0.25μm，平面度±0.25μm，正交性＜0.5arc sec

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QFDHSiC-400-500

X轴行程400mm，双向重复定位精度±15nm，直线度±0.35μm，平面度±0.35μm；Y轴行程500mm，双向重复定位精度±30nm，直线度±0.45μm，平面度±0.45μm，正交性＜1arc sec

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QFDHSiC-400-500 PLUS

X轴行程400mm，双向重复定位精度±5nm，直线度±0.25μm，平面度±0.25μm；Y轴行程500mm，双向重复定位精度±10nm，直线度±0.25μm，平面度±0.25μm，正交性＜0.5arc sec

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QFDHSiC-400-700

X轴行程400mm，双向重复定位精度±15nm，直线度±0.35μm，平面度±0.35μm；Y轴行程700mm，双向重复定位精度±60nm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm，正交性＜1arc sec

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QFDHSiC-400-700 PLUS

X轴行程400mm，双向重复定位精度±5nm，直线度±0.25μm，平面度±0.25μm；Y轴行程700mm，双向重复定位精度±20nm，直线度±0.4μm，平面度±0.4μm，正交性＜0.5arc sec

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QFDHSiC-400-1000

X轴行程400mm，双向重复定位精度±15nm，直线度±0.35μm，平面度±0.35μm；Y轴行程1000mm，双向重复定位精度±100nm，直线度±1μm，平面度±1μm，正交性＜1arc sec

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QFDHSiC-400-1000 PLUS

X轴行程400mm，双向重复定位精度±5nm，直线度±0.25μm，平面度±0.25μm；Y轴行程1000mm，双向重复定位精度±50nm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm，正交性＜0.5arc sec

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