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RBN-XY系列双轴精密运动台
紧凑式直驱结构
重复定位精度±50nm
抗蠕动交叉滚柱导轨
直线度和平面度±0.5μm
微动步距<1nm
可定制真空版本
RBN-XY系列双轴精密运动台
RBN-XY系列双轴精密运动台
RBN-XY系列双轴精密运动台
产品描述
规格参数
实测数据
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应用领域
RBN-XY系列是一款高精度的双轴精密运动台,具有纳米级微动步距,亚微米级重复定位精度,高动态性能,结构紧凑,用于飞秒激光加工、光学制造及检测、测试测量、半导体、光纤对准和科研等领域。
结构特点
三片式叠层结构设计,有效的降低工作点的高度,减小阿贝误差对系统精度的影响。直线电机驱动,具有零齿槽、高动态性能及电流噪声小等特点。运动台在低速运动时保持平稳,在高速状态不会产生振动。抗蠕动交叉滚柱直线导轨,滚柱间线线接触,运动平稳,交叉排列,多方向受力稳定。
精度性能
非接触式光栅尺闭环反馈,通过结构设计、材料选择、加工工艺、装配方法等综合把控,获得高精度指标,定位精度±0.1μm,双向重复定位精度±50nm,直线度和平面度±0.5μm,是高精度场所的理想选择。
微动步距
对有微动步距(最小位移量)要求的应用领域,如最小步距运动、对准应用等,微动步距<1nm,对现场使用环境的要求,更多细节可联系瑞邦精控。
定制化
可定制高真空环境下的版本,真空度10^-7Torr;定制最大加速度,多轴结构等;根据应用可配置大理石基座、支撑钢架、隔振台等整套运动控制方案。
规格参数

型号 Model

单位 Units

RBN-60XY

RBN-110XY

RBN-160XY

行程 Travel

mm

60 x 60

110 x 110

160 x 160

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.1

普通版 Standard

±0.25

±0.3

±0.3

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.025

±0.05

±0.05

普通版 Standard

±0.1

±0.1

±0.1

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.25

±0.5

±0.5

普通版 Standard

±1

±1

±1.5

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.5

±0.5

±0.5

普通版 Standard

±1

±1

±1.5

俯仰、翻滚

Pitch Roll

高精版 Plus

arc sec

±2.5

±3

±3

普通版 Standard

±5

±5

±5

偏摆

Yaw

高精版 Plus

arc sec

±1

±1

±1

普通版 Standard

±2.5

±2.5

±2.5

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 或 5(选配)

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus*

nm

<1

普通版 Standard

≤30

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus*

nm

<1

普通版 Standard

≤30

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

200

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)

m/s²

1,(5 定制)

最大负载 Max Load

kg

20

 

注:以上为单轴精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

*:高精度版振动等级VC-F;振动等级VC-G,微动步距<0.2nm。

实测数据
选型信息
型号 RBN -110XY -PLUS -N -T -0 -DB -3 -Y -N -N
描述 交叉滚柱运动台 行程110mm x 110mm PLUS高精版 默认 增量式光栅TTL反馈 零点在行程中心位置 DB接头,无线缆管理 线缆长度3米 有线缆固定柱 常压环境 无大理石基座

 

名称 型号 描述
多轴线轨运动台 RBN 交叉滚柱运动台
行程 -60XY X 轴行程60mm;Y轴行程60mm 
-110XY X 轴行程110mm;Y轴行程110mm
-160XY X轴行程160mm;Y轴行程160mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -0 零点在行程中心位置
线缆管理 -DB DB接头,无线缆管理
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
线缆固定柱 -Y 有线缆固定柱
-N 无线缆固定柱(标配)
气压环境 -N 常压环境(标配)
-VC 真空环境
大理石基座 (1) -Y 有大理石基座
-N 无大理石基座(标配)

注:1. 选真空环境下(-VC)使用,禁止选大理石基座(-Y)项。

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产品样本
RBN-XY系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
RBN-XY系列产品尺寸图
2023-08-18
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3D模型
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RBN-60XY
XY轴行程60mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,三片式叠层结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm
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RBN-60XY PLUS
XY轴行程60mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,三片式叠层结构,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.25μm,平面度±0.5μm
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RBN-110XY
XY轴行程110mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,三片式叠层结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm
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RBN-110XY PLUS
XY轴行程110mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,三片式叠层结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm
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RBN-160XY
XY轴行程160mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,三片式叠层结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
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RBN-160XY PLUS
XY轴行程160mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,三片式叠层结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm
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