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RBN-170-30Z-360R三轴精密运动台
行程170mm*30mm*360° (XZR)
三轴直驱结构设计
XZ轴防蠕动交叉滚柱导轨,纳米级定位抖动
R轴可微动调整1arc sec步距
结构、行程可定制
RBN-170-30Z-360R三轴精密运动台
RBN-170-30Z-360R三轴精密运动台
RBN-170-30Z-360R三轴精密运动台
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应用领域
RBN-170-30Z-360R三轴精密运动台用于晶圆测量(半径测量法,12寸wafer)。
产品简介
X轴采用直线电机质心驱动,防蠕动十字交叉滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈组成,行程170mm,结构扁平薄。安装在平面度优于3μm大理石基座上。
Z轴采用力矩电机驱动,交叉滚柱导轨导向及双光栅尺闭环反馈组成,平升结构,直接托举负载移动,行程30mm,Z轴安装到X轴上,纳米级定位抖动。
R轴采用直驱力矩电机驱动,精密轴环及圆光栅尺反馈组成,可360°旋转,可微动调整1arc sec步距。
大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠,品质有保障。大理石做模态分析,优化结构尺寸,可依据客户的要求做最终设计。此结构采用半径测量法可用于12寸晶圆检测。
规格参数

轴系

Axis

测试项目

Test Items

单位

Units

指标要求

Specification

X 轴

X AXIS

行程 Travel

mm

170

补偿后定位精度 Accuracy

μm

±0.5

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

μm

±0.1

直线度 Straightness

μm

±2

平面度 Flatness

μm

±2

俯仰 Pitch

arc sec

±7.5

偏摆 Yaw

arc sec

±7.5

工作速度 Operating Speed

mm/s

200

Z 轴

Z AXIS

行程 Travel

mm

30

补偿后定位精度 Accuracy

μm

±0.5

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

μm

±0.25

工作速度 Operating Speed

mm/s

100

C 轴

C AXIS

行程 Travel

°

360

补偿后定位精度 Accuracy

arc sec

±5

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

arc sec

±2

轴向跳动误差 Axial Error Motion

μm

5

径向跳动误差 Radial Error Motion

μm

5

工作速度 Operating Speed

°/s

40

XYZ

负载 Load

kg

10

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息

详细选型信息请联系瑞邦定制咨询~

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产品样本
RBN-170-30Z-360R三轴精密运动台产品样本
2024-06-25
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产品手册
CAD图纸
RBN-170-30Z-360R三轴精密运动台尺寸图
2024-06-29
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3D模型
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RBN-170-30Z-360R
详细参数请联系瑞邦定制~
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