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RBN-XY-Z(DLM)三轴精密运动台
紧凑式直驱结构
重复定位精度±50nm
抗蠕动交叉滚柱导轨
直线度和平面度±0.5μm
微动步距≤20nm
Z轴平衡气缸结构
RBN-XY-Z(DLM)三轴精密运动台
RBN-XY-Z(DLM)三轴精密运动台
RBN-XY-Z(DLM)三轴精密运动台
产品描述
规格参数
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应用领域
RBN-XY-Z(DLM)系列是一款高精度的三轴精密运动台,XY轴安装到大理石基座上,Z轴安装到大理石横梁上,用于晶圆加工及检测、飞秒激光加工、光学制造和科研等领域。
结构特点
XY轴三片式叠层结构,有效降低工作点高度,减小阿贝误差对系统精度的影响。Z轴采用无摩擦重力平衡气缸,有效地抵消电机向上持续输出力,提升精度性能,同时断使能后负载不会受重力影响而向下脱落。三轴直驱结构,在低速运动时保持平稳,在高速状态不会产生振动。抗蠕动交叉滚柱直线导轨,滚柱间线线接触,运动时平稳;交叉排列,多方向受力比较稳定。
精度性能
非接触式光栅闭环反馈,考虑热膨胀等影响,紧凑结构设计,搭配高性能控制器,获得重复定位精度±50nm,直线度和平面度±0.5μm,是高精度场所的理想选择。
微动步距
对有微动步距(最小位移量)要求的应用领域,如对准应用,微动步距≤20nm,对现场使用环境的要求,更多细节可联系瑞邦精控。
大理石机体
大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠,品质有保障。大理石做模态分析,优化结构尺寸,可依据客户的要求做最终设计。
规格参数

型号 Model

单位 Units

RBN-50XY-50Z(DLM)

RBN-100XY-100Z(DLM)

RBN-150XY-150Z(DLM)

轴系 Axis

X

Y

Z

X

Y

Z

X

Y

Z

行程 Travel

mm

50 x 50

50

100 x 100

100

150 x 150

150

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

普通版 Standard

±0.25

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.025

±0.025

±0.05

±0.05

±0.075

±0.075

普通版 Standard

±0.1

±0.05

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.75

±0.75

普通版 Standard

±1

±1

±1

±1

±1.5

±1.5

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.75

±0.75

普通版 Standard

±1

±1

±1

±1

±1.5

±1.5

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 5(选配)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

200

100

200

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)

m/s²

1,5 定制)

最大负载 Max Load

kg

15

15

15

15

15

15

 

注:以上为单轴精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息
型号 RBN -50XY-50Z(DLM) -PLUS -N -1 -0 -DB -3 -Y -N
描述 交叉滚柱运动台 X轴行程50mm;Z轴行程50mm;Y轴行程50mm PLUS高精版 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 DB头,无线缆管理 线缆长度3米 有线缆固定架 无支撑钢架

 

名称 型号 描述
龙门系统 RBN 交叉滚柱运动台
行程 -50XY-50Z(DLM) X轴行程50mm;Z轴行程50mm;Y轴行程50mm
-100XY-100Z(DLM) X轴行程100mm;Z轴行程100mm;Y轴行程100mm
-150XY-150Z(DLM) X轴行程150mm;Z轴行程150mm;Y轴行程150mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -0 零点在行程中心位置
线缆管理 -DB DB头,无线缆管理
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
线缆固定柱 -Y 有线缆固定架
-N 无线缆固定架(标配)
支撑钢架 -Y 有支撑钢架
-N 无支撑钢架(标配)
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产品样本
RBN-XY-Z(DLM)系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
RBN-XY-Z(DLM)系列产品尺寸图
2023-08-18
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3D模型
报价/订购
RBN-50XY-50Z(DLM)
XY轴行程50mm,三片式叠层结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm;Z轴行程50mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±1μm,平面度±1μm
添加至报价单
RBN-50XY-50Z(DLM) PLUS
XY轴行程50mm,三片式叠层结构,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm;Z轴行程50mm,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm
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RBN-100XY-100Z(DLM)
XY轴行程100mm,三片式叠层结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm;Z轴行程100mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm
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RBN-100XY-100Z(DLM) PLUS
XY轴行程100mm,三片式叠层结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm;Z轴行程100mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm
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RBN-150XY-150Z(DLM)
XY轴行程150mm,三片式叠层结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm;Z轴行程150mm,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
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RBN-150XY-150Z(DLM) PLUS
XY轴行程150mm,三片式叠层结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm;Z轴行程150mm,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm
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