精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBN-SG系列是一款伺服电机驱动的精密运动台，带断电抱闸功能，用于光学检测、激光加工、轮廓测量、传感器或CCD垂直定位、光学聚焦等高精度领域。

结构特点

RBN-SG由防蠕动交叉滚柱导轨、精密研磨的细螺距丝杆、高性能伺服电机及航空铝合金件作为机体组成，具有出色的几何性能、最小的角误差运动。与同类相比，同时具有纳米级微动步距和位置稳定性。可选配断电抱闸功能，断电瞬间位置漂移20nm内。

闭环反馈

可选闭环反馈，在运动台内安装线性光栅尺，由于外形结构扁平薄，使得光栅尺反馈接近工作点位置，同时可消除丝杆的反向间隙，提升精度性能。可选增量式（1Vpp或TTL）或绝对式光栅尺。

定制化

可定制适用真空度10^-7Torr真空环境下的版本。根据应用可配置大理石基座、立柱和横梁，支撑钢架等整套运动控制方案。

规格参数

型号 Model		单位 Units	RBN-25SG	RBN-50SG	RBN-75SG	RBN-100SG	RBN-125SG	RBN-150SG
行程 Travel		mm	25	50	75	100	125	150
补偿后定位精度 Accuracy	高精版 Plus	μm	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5
补偿后定位精度 Accuracy	普通版 Standard	μm	±0.75	±0.75	±0.75	±1	±1	±1
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	高精版 Plus	μm	±0.15	±0.15	±0.15	±0.2	±0.2	±0.2
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	普通版 Standard	μm	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5
直线度⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.75	±1	±1.25	±1.25	±1.5	±1.5
直线度⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±1	±1.25	±1.5	±1.5	±1.75	±1.75
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.75	±1	±1.25	±1.25	±1.5	±1.5
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±1	±1.25	±1.5	±1.5	±1.75	±1.75
俯仰 ⁽¹⁾ Pitch	高精版 Plus	arc sec	±2.5	±3	±3.5	±4	±4	±4
俯仰 ⁽¹⁾ Pitch	普通版 Standard	arc sec	±4	±6	±6.5	±7	±7	±7
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	高精版 Plus	arc sec	±1.5	±2.5	±3	±3	±3	±3
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	普通版 Standard	arc sec	±2.5	±4	±4.5	±5	±5	±5
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽²⁾		mm/s	20				50
最大负载 Max Load	水平 Level	kg	20
最大负载 Max Load	垂直 Vertical	kg	15

型号 Model		单位 Units	RBN-175SG	RBN-200SG	RBN-225SG	RBN-250SG	RBN-275SG	RBN-300SG
行程 Travel		mm	175	200	225	250	275	300
补偿后定位精度 Accuracy	高精版 Plus	μm	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5
补偿后定位精度 Accuracy	普通版 Standard	μm	±1	±1	±1	±1	±1	±1
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	高精版 Plus	μm	±0.2	±0.2	±0.2	±0.25	±0.25	±0.25
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	普通版 Standard	μm	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±1.5	±1.75	±1.75	±1.75	±2	±2
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±1.75	±2	±2	±2	±2.25	±2.25
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±1.5	±1.75	±1.75	±1.75	±2	±2
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±1.75	±2	±2	±2	±2.25	±2.25
俯仰 ⁽¹⁾ Pitch	高精版 Plus	arc sec	±4.5	±4.5	±4.5	±5	±5	±5
俯仰 ⁽¹⁾ Pitch	普通版 Standard	arc sec	±7.5	±7.5	±7.5	±8	±8	±8
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	高精版 Plus	arc sec	±3.5	±3.5	±3.5	±4	±4	±4
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	普通版 Standard	arc sec	±5.5	±5.5	±5.5	±6	±6	±6
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽²⁾		mm/s	50
最大负载 Max Load	水平 Level	kg	20
最大负载 Max Load	垂直 Vertical	kg	15

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-D，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 空载条件下的指标，最大速度取决于负载大小。

实测数据

RBN-150SG 测试报告.pdf

选型信息

型号	RBN	-50SG	-N	-N	-0	-DB	-3	-N	-N
描述	单轴精密运动台	行程50mm	普通版	无，半闭环反馈	零点在行程中心位置	DB接头，无线缆管理	线缆长度3米	常压环境	无大理石基座

名称	型号	描述
单轴精密运动台	RBN	单轴精密运动台
行程	-25SG	行程25mm
	-50SG	行程50mm
	-75SG	行程75mm
	-100SG	行程100mm
	-125SG	行程125mm
	-150SG	行程150mm
	-175SG	行程175mm
	-200SG	行程200mm
	-225SG	行程225mm
	-250SG	行程250mm
	-275SG	行程275mm
	-300SG	行程300mm
精度等级	-N	Standard普通版
精度等级	-P	Plus高精版
反馈方式	-N	无，半闭环反馈
	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	-L	零点在行程左极限位置
	0	零点在行程中心位置（标配）
	-R	零点在行程右极限位置
线缆管理	-DB	DB接头，无线缆管理
线缆管理	0	真空线缆
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
气压环境	-N	常压环境（标配）
气压环境	-VC	真空环境
大理石基座 ⁽¹⁾	-Y	有大理石基座
大理石基座 ⁽¹⁾	-N	无大理石基座（标配）

注：1. 选真空环境下（-VC）使用，禁止选大理石材质机体（-M）项。

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RBN-SG系列产品样本

2024-12-21

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RBN-25SG

行程25mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±1μm，平面度±1μm

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RBN-25SG PLUS

行程25mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm

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RBN-50SG

行程50mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±1.25μm，平面度±1.25μm

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RBN-50SG PLUS

行程50mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1μm，平面度±1μm

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RBN-75SG

行程75mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

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RBN-75SG PLUS

行程75mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.35μm，平面度±0.5μm

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RBN-100SG

行程100mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

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RBN-100SG PLUS

行程100mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.2μm，直线度±1.25μm，平面度±1.25μm

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RBN-125SG

行程125mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±1.75μm，平面度±1.75μm

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RBN-125SG PLUS

行程125mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.2μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

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RBN-150SG

行程150mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.2μm，直线度±1.75μm，平面度±1.75μm

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RBN-150SG PLUS

行程150mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.2μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

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RBN-175SG

行程175mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.2μm，直线度±1.75μm，平面度±1.75μm

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RBN-175SG PLUS

行程175mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.2μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

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RBN-200SG

行程200mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±2μm，平面度±2μm

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RBN-200SG PLUS

行程200mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.2μm，直线度±1.75μm，平面度±1.75μm

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RBN-225SG

行程225mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±2μm，平面度±2μm

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RBN-225SG PLUS

行程225mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.2μm，直线度±1.75μm，平面度±1.75μm

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RBN-250SG

行程225mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±2μm，平面度±2μm

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RBN-250SG PLUS

行程250mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.25μm，直线度±1.75μm，平面度±1.75μm

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RBN-275SG

行程275mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±2.25μm，平面度±2.25μm

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RBN-275SG PLUS

行程275mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.25μm，直线度±2μm，平面度±2μm

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RBN-300SG

行程300mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±2.25μm，平面度±2.25μm

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RBN-300SG PLUS

行程300mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.25μm，直线度±2μm，平面度±2μm

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