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QFUZ系列精密气浮Z轴
非接触闭式气浮结构
行程50~250mm可选
重复定位精度±75nm
全行程直线度0.2μm
优化线缆管理
可定制化设计
QFUZ系列精密气浮Z轴
QFUZ系列精密气浮Z轴
QFUZ系列精密气浮Z轴
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应用领域
QFUZ系列是一款侧挂在大理石横梁上的精密气浮Z轴,闭式气浮结构,刚度大,用于飞秒激光加工、测试测量、半导体及光子学等行业。
结构特点
精密气浮Z轴闭式气浮结构,气浮导轨四面均匀受力,对于一些大体积、大负载在气浮导轨上不均匀分布的应用,更能突出性能优势,行程50~250mm可选。配置无摩擦重力平衡气缸,有效地抵消电机向上持续输出力,提升精度性能,同时断使能后负载不会受重力影响而向下脱落。
精度性能
气浮导轨实现无摩擦地平滑移动,与摩擦式导轨相比,气浮的非接触式结构,使直线度、平面度、Pitch Yaw、跟随误差、定位精度和重复定位精度得到提高。
线缆管理
使用高质量带屏蔽的线缆,管线弯曲半径更小,能够防止电子信号的干扰,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮运动台的性能,以确保无故障操作。
定制化
可定制陶瓷材质气浮导轨,重复定位精度±15nm;定制最大加速度5m/s²;行程也可接受定制。
规格参数

型号 Model

单位 Units

QFUZ-50

QFUZ-100

QFUZ-150

QFUZ-200

QFUZ-250

行程 Travel

mm

50

100

150

200

250

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.15

普通版 Standard

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

双向重复定位精度 

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.05

±0.075

±0.075

±0.075

普通版 Standard

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.05

±0.1

±0.1

±0.2

普通版 Standard

±0.2

±0.2

±0.4

±0.4

±0.5

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.2

±0.2

±0.3

普通版 Standard

±0.2

±0.2

±0.4

±0.4

±0.5

俯仰、翻滚、偏摆

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.25

±0.25

±0.4

±0.4

±0.5

普通版 Standard

±0.5

±0.5

±1

±1

±1.5

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 或 5(选配)

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus

nm

≤ 5

普通版 Standard

≤ 50

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus

nm

≤ 5

普通版 Standard

≤ 50

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

50

100

300

300

300

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)

m/s²

1,(5 定制)

最大负载 Max Load

kg

20

供气压力 Operating Pressure

MPa

0.5±0.05

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息
型号 QFUZ -50 -PLUS -A -N  -T -0  -C1 -3 -Y -Y
描述 闭式气浮Z轴 行程50mm  PLUS高精版 铝合金材质气浮导轨 默认 增量式光栅TTL反馈 零点在行程中心位置 高柔排线 线缆长度3米 有大理石基座 有压力保护开关

 

名称 型号 描述
精密Z轴 QFUZ 闭式气浮Z轴
行程 -50 行程50mm 
-100 行程100mm
-150 行程150mm
-200 行程200mm
-250 行程250mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
气浮导轨类型 -A 铝合金材质气浮导轨
-M 大理石材质气浮导轨
-C 陶瓷材质气浮导轨
-S 碳化硅材质气浮导轨
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -U 零点在行程上极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-D 零点在行程下极限位置
线缆管理  -C1 高柔线缆
 -C2 无尘拖链
 -C3 坦克拖链
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
大理石基座 -Y 有大理石基座
-N 无大理石基座(标配)
压力保护开关 -Y 有压力保护开关(标配)
-N 无压力保护开关
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产品样本
QFUZ系列精密气浮Z轴产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
QFUZ系列产品尺寸图
2023-08-18
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3D模型
报价/订购
QFUZ-50
行程50mm,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm
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QFUZ-50 PLUS
行程50mm,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
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QFUZ-100
行程100mm,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm
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QFUZ-100 PLUS
行程100mm,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
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QFUZ-150
行程150mm,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.4μm
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QFUZ-150 PLUS
行程150mm,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.1μm,平面度±0.2μm
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QFUZ-200
行程200mm,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.4μm
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QFUZ-200 PLUS
行程200mm,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.1μm,平面度±0.2μm
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QFUZ-250
行程250mm,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm
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QFUZ-250 PLUS
行程250mm,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.2μm,平面度±0.3μm
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