精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

QFUZ系列是一款侧挂在大理石横梁上的精密气浮Z轴，闭式气浮结构，刚度大，用于飞秒激光加工、测试测量、半导体及光子学等行业。

结构特点

精密气浮Z轴闭式气浮结构，气浮导轨四面均匀受力，对于一些大体积、大负载在气浮导轨上不均匀分布的应用，更能突出性能优势，行程50~300mm可选。配置无摩擦重力平衡气缸，有效地抵消电机向上持续输出力，提升精度性能，同时断使能后负载不会受重力影响而向下脱落。

精度性能

气浮导轨实现无摩擦地平滑移动，与摩擦式导轨相比，气浮的非接触式结构，使直线度、平面度、Pitch Yaw、跟随误差、定位精度和重复定位精度得到提高。

线缆管理

使用高质量带屏蔽的线缆，管线弯曲半径更小，能够防止电子信号的干扰，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮运动台的性能，以确保无故障操作。

定制化

可定制陶瓷材质气浮导轨，重复定位精度±15nm；定制最大加速度5m/s²；行程也可接受定制。

规格参数

型号 Model		单位 Units	QFUZ-25	QFUZ-50	QFUZ-75	QFUZ-100	QFUZ-125	QFUZ-150
行程 Travel		mm	25	50	75	100	125	150
补偿后定位精度 Accuracy	高精版 Plus	μm	±0.05	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1
补偿后定位精度 Accuracy	普通版 Standard	μm	±0.1	±0.2	±0.2	±0.2	±0.2	±0.2
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	高精版 Plus	nm	±20	±40	±40	±40	±40	±40
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	普通版 Standard	nm	±30	±75	±75	±75	±75	±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	高精版 Plus	μm	±0.025	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	普通版 Standard	μm	±0.05	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05	±0.1	±0.1
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±0.1	±0.25	±0.25	±0.25	±0.4	±0.4
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.05	±0.1	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±0.25	±0.35	±0.35	±0.4	±0.5	±0.5
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±0.25	±0.35	±0.35	±0.4	±0.4	±0.5
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	普通版 Standard	arc sec	±0.5	±1	±1	±1	±1.5	±1.5
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	≤1, ≤5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		mm/s	50		100		300
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾		m/s²	1,（5 定制）
最大负载 Max Load		kg	20
供气压力 Operating Pressure ⁽⁴⁾		MPa	0.5±0.05

型号 Model		单位 Units	QFUZ-175	QFUZ-200	QFUZ-225	QFUZ-250	QFUZ-275	QFUZ-300
行程 Travel		mm	175	200	225	250	275	300
补偿后定位精度 Accuracy	高精版 Plus	μm	±0.15	±0.15	±0.15	±0.15	±0.15	±0.15
补偿后定位精度 Accuracy	普通版 Standard	μm	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	高精版 Plus	nm	±50	±50	±50	±50	±50	±50
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	普通版 Standard	nm	±75	±75	±75	±75	±75	±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	高精版 Plus	μm	±0.075	±0.075	±0.075	±0.075	±0.075	±0.075
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	普通版 Standard	μm	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.2	±0.2	±0.2	±0.2	±0.25	±0.25
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.2	±0.2	±0.3	±0.3	±0.3	±0.4
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.75	±0.75
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±0.75	±0.75	±0.75	±0.75	±0.75	±0.75
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	普通版 Standard	arc sec	±1.5	±1.5	±1.5	±1.5	±1.5	±1.5
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	≤1, ≤5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		mm/s	300
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾		m/s²	1,（5 定制）
最大负载 Max Load		kg	20
供气压力 Operating Pressure ⁽⁴⁾		MPa	0.5±0.05

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下的指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

4. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。

5. 无特殊项目要求，出厂默认为准。

实测数据

选型信息

型号	QFUZ	-25	-N	-M	-N	-T	-0	-C2	-3
描述	闭式气浮Z轴	行程25mm	普通版	大理石材质气浮导轨	默认	增量式光栅TTL反馈	零点在行程中心位置	带屏蔽的高柔排线	线缆长度3米