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Axis |
测试项目 Test Items |
单位 Units |
指标要求 Specification |
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X 底轴 X Bottom AXIS |
行程 Travel |
mm |
300 |
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补偿后定位精度 Accuracy |
μm |
±0.75 |
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双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±0.5 |
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直线度 Straightness |
μm |
7 |
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工作速度 Operating Speed |
mm/s |
200 |
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加速度 Acceleration |
m/s² |
10 |
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微动步距 Min Incremental Motion |
nm |
30 |
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Y 上轴 Y Top AXIS |
行程 Travel |
mm |
300 |
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补偿后定位精度 Accuracy |
μm |
±1 |
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双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±0.5 |
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直线度 Straightness |
μm |
7 |
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工作速度 Operating Speed |
mm/s |
200 |
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加速度 Acceleration |
m/s² |
10 |
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微动步距 Min Incremental Motion |
nm |
30 |
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Z 轴 Z AXIS |
行程 Travel |
mm |
150 |
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补偿后定位精度 Accuracy |
μm |
±0.75 |
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双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±0.5 |
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工作速度 Operating Speed |
mm/s |
200 |
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加速度 Acceleration |
m/s² |
10 |
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XY |
负载 Load |
kg |
50 |
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Z |
负载 Load |
kg |
70 |
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