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轴系 Axis |
测试项目 Test Items |
单位 Units |
指标要求 Specification |
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X 底轴 X Bottom AXIS |
行程 Travel |
mm |
200 |
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补偿后定位精度 Accuracy |
μm |
±1 |
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双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±0.5 |
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直线度 Straightness |
μm |
±2 |
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平面度 Flatness |
μm |
±2 |
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最大速度 (空载) Max Speed (No Load) |
mm/s |
200 |
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Y 上轴 Y Top AXIS |
行程 Travel |
mm |
200 |
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补偿后定位精度 Accuracy |
μm |
±1 |
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双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±0.5 |
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直线度 Straightness |
μm |
±2 |
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平面度 Flatness |
μm |
±2 |
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最大速度 (空载) Max Speed (No Load) |
mm/s |
200 |
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Z 轴 Z AXIS |
行程 Travel |
mm |
150 |
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补偿后定位精度 Accuracy |
μm |
±3 |
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双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±1 |
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最大速度 (空载) Max Speed (No Load) |
mm/s |
10 |
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XY |
负载Load |
kg |
20 |
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Z |
负载Load |
kg |
15 |
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