精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBLM-XZ-Y系列是一款直驱三轴精密运动台，定龙门结构，XZ轴安装到大理石横梁上，Y轴安装到大理石基座上，用于激光加工、晶圆切割、测试测量、电子元件组装和检测、扫描及自动化装配等领域。

结构特点

采用无铁芯直线电机，具有高动态性能、零齿槽效应和电子噪声小等特点。配置自润滑的精密滚柱导轨，承重大、精度高、刚性好等特点，Y轴安装到大理石基座上，XZ轴安装到大理石横梁上，定龙门结构形式，更方便测头、激光头等扫描应用。

精度性能

采用光栅闭环反馈，对材料选择、加工工艺、装配工艺及科学检测方法等进行综合设计，搭配高性能控制器，在有限的空间内具有鲁棒性和准确度，获得重复定位精度±0.3μm。

大理石机体

大理石作为机体，大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质最有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客户的要求做最终设计。

防尘管理

RBLM-XZ-Y系列三轴精密运动台的防尘设计，有效防止碎片、灰尘和颗粒等异物进入运动台，影响使用寿命，同时不受防尘罩扰动力的影响。

规格参数

型号 Model		单位 Units	RBLM-100X-50Z-100Y			RBLM-200X-100Z-200Y			RBLM-300X-150Z-300Y
轴系 Axis		—	X	Z	Y	X	Z	Y	X	Z	Y
行程 Travel		mm	100	50	100	200	100	200	300	150	300
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.2	±0.2	±0.2	±0.3	±0.2	±0.3	±0.3	±0.2	±0.3
	高精版 Plus		±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5
	普通版 Standard		±1	±1	±1	±1	±1	±1	±1	±1	±1
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1
	高精版 Plus		±0.2	±0.2	±0.2	±0.2	±0.2	±0.2	±0.2	±0.2	±0.2
	普通版 Standard		±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.15	±0.15	±0.15	±0.15	±0.15	±0.15	±0.15	±0.15	±0.15
	高精版 Plus		±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3
	普通版 Standard		±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5
直线度⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.75	±0.75	±0.75	±1.25	±0.75	±1.25	±1.25	±1.25	±1.25
直线度⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±1.5	±1.5	±1.5	±2.5	±1.5	±2.5	±3.5	±2.5	±3.5
平面度⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.75	±0.75	±0.75	±1.25	±0.75	±1.25	±1.5	±1.25	±1.5
平面度⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±1.5	±1.5	±1.5	±2.5	±1.5	±2.5	±3.5	±2.5	±3.5
俯仰、翻滚、偏摆⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±1.5	±1.5	±1.5	±2	±1.5	±2	±2.5	±2	±2.5
俯仰、翻滚、偏摆⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	普通版 Standard	arc sec	±3	±3	±3	±4	±3	±4	±5	±4	±5
电子分辨率 Electronic Resolution⁽²⁾		nm	0.3 或 5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load)⁽³⁾		mm/s	300
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾		m/s²	5,（10, 20 定制）
最大负载 Max Load		kg	15		30	15		30	15		30

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

实测数据

选型信息

型号	RBLM	-100X-50Z-100Y	-N	-N	-1	-0	-C3	-3	-N
描述	三轴精密运动台	X轴行程100mm；Z轴行程50mm；Y轴行程100mm	标准值	默认	增量式光栅1Vpp反馈	零点在行程中心位置	坦克拖链	线缆长度3米	无支撑钢架

名称	型号	描述
龙门系统	RBLM	三轴精密运动台
行程	-100-50-100	X轴行程100mm；Z轴行程50mm；Y轴行程100mm
	-200-100-200	X轴行程200mm；Z轴行程100mm；Y轴行程200mm
	-300-150-300	X轴行程300mm；Z轴行程150mm；Y轴行程300mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
电子分辨率	-N	默认
	-0.3	电子分辨率0.3nm
	-5	电子分辨率5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	-L	零点在行程左极限位置
	-0	零点在行程中心位置（标配）
	-R	零点在行程右极限位置
线缆管理	-C2	无尘拖链
线缆管理	-C3	坦克拖链
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
支撑钢架	-Y	有支撑钢架
支撑钢架	-N	无支撑钢架（标配）

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产品样本

RBLM-XZ-Y系列产品样本

2023-09-08

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产品手册

CAD图纸

RBLM-XZ-Y系列产品尺寸图

2023-08-18

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RBLM-100X-50Z-100Y

XZ轴安装到大理石横梁上，Y轴安装到大理石基座上，XY轴行程100mm，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm；Z轴行程50mm，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

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RBLM-100X-50Z-100Y PLUS

XZ轴安装到大理石横梁上，Y轴安装到大理石基座上，XY轴行程100mm，双向重复定位精度±0.3μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm；Z轴行程50mm，双向重复定位精度±0.3μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm

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RBLM-100X-50Z-100Y Ultra

XZ轴安装到大理石横梁上，Y轴安装到大理石基座上，XY轴行程100mm，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm；Z轴行程50mm，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm

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RBLM-200X-100Z-200Y

XZ轴安装到大理石横梁上，Y轴安装到大理石基座上，XY轴行程200mm，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±2.5μm，平面度±2.5μm；Z轴行程100mm，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

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RBLM-200X-100Z-200Y PLUS

XZ轴安装到大理石横梁上，Y轴安装到大理石基座上，XY轴行程200mm，双向重复定位精度±0.3μm，直线度±1.25μm，平面度±1.25μm；Z轴行程100mm，双向重复定位精度±0.3μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm

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RBLM-200X-100Z-200Y Ultra

XZ轴安装到大理石横梁上，Y轴安装到大理石基座上，XY轴行程200mm，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.25μm，平面度±1.25μm；Z轴行程100mm，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm

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RBLM-300X-150Z-300Y

XZ轴安装到大理石横梁上，Y轴安装到大理石基座上，XY轴行程300mm，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±3.5μm，平面度±3.5μm；Z轴行程150mm，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±2.5μm，平面度±2.5μm

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RBLM-300X-150Z-300Y PLUS

XZ轴安装到大理石横梁上，Y轴安装到大理石基座上，XY轴行程300mm，双向重复定位精度±0.3μm，直线度±1.25μm，平面度±1.5μm；Z轴行程150mm，双向重复定位精度±0.3μm，直线度±1.25μm，平面度±1.25μm

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RBLM-300X-150Z-300Y Ultra

XZ轴安装到大理石横梁上，Y轴安装到大理石基座上，XY轴行程300mm，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.25μm，平面度±1.5μm；Z轴行程150mm，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.25μm，平面度±1.25μm

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