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RBLM-XYZ系列三轴精密运动台
非接触式直驱结构
结构高刚度设计
精密滚柱直线导轨
多种行程可定制
光栅尺闭环反馈
大理石定龙门机体
RBLM-XYZ系列三轴精密运动台
RBLM-XYZ系列三轴精密运动台
RBLM-XYZ系列三轴精密运动台
产品描述
规格参数
实测数据
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应用领域
RBLM-XYZ系列是一款直驱三轴精密运动台,定龙门结构,XY轴安装到大理石基座上,Z轴安装到大理石横梁上,用于激光加工、晶圆切割、测试测量、电子元件组装和检测、扫描及自动化装配等领域。
结构特点
采用无铁芯直线电机,具有高动态性能、零齿槽效应和电子噪声小等特点。配置自润滑的精密滚柱导轨,承重大、精度高、刚性好等特点,XY轴十字叠层结构安装到大理石基座上,X轴宽度是Y轴长度的2/3,保证负载在极限位置时,不会出现悬空,Z轴安装到大理石横梁上。
精度性能
采用光栅尺闭环反馈,对材料选择、加工工艺、装配工艺及科学检测方法等进行综合设计,搭配高性能控制器,在有限的空间内具有鲁棒性和准确度,获得重复定位精度±0.3μm,控制器有定位补偿功能。
大理石机体
大理石作为机体,大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠,品质有保障。大理石做模态分析,优化结构尺寸,可依据客户的要求做最终设计。
防尘管理
RBLM-XYZ系列三轴精密运动台的防尘设计,有效防止碎片、灰尘和颗粒等异物进入直线台,影响使用寿命,同时不受防尘罩扰动力的影响。
规格参数

型号 Model

单位 Units

RBLM-XYZ-100-100-50

RBLM-XYZ-200-200-100

RBLM-XYZ-300-300-150

轴系 Axis

X

Y

Z

X

Y

Z

X

Y

Z

行程 Travel

mm

100 x 100

50

200 x 200

100

300 x 300

150

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

普通版 Standard

±1

±1

±1

±1

±1

±1

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

普通版 Standard

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.75

±0.75

±1

±0.75

±1.25

±1.25

普通版 Standard

±1.5

±1.5

±2.5

±1.5

±3.5

±2.5

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.75

±0.75

±1.25

±0.75

±1.5

±1.5

普通版 Standard

±1.5

±1.5

±2.5

±1.5

±3.5

±2.5

俯仰、翻滚、偏摆

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±1.5

±1.5

±2

±1.5

±2.5

±2

普通版 Standard

±3

±3

±4

±3

±5

±4

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 5(选配)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

300

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)

m/s²

5,10, 20 定制)

最大负载 Max Load

kg

30

15

30

15

30

15

 

注:以上为单轴精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息
型号 RBLM  -300-300-150 -PLUS -N -1 -0  -C3 -3 -N
描述 精密运动台 X轴行程300mm;Y轴行程300mm;Z轴行程150mm PLUS高精版 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 坦克拖链 线缆长度3米 无支撑钢架

 

名称 型号 描述
龙门系统 RBLM 精密运动台
行程  -100-100-50 X轴行程100mm;Y轴行程100mm;Z轴行程50mm
 -200-200-100 X轴行程200mm;Y轴行程200mm;Z轴行程100mm
 -300-300-150 X轴行程300mm;Y轴行程300mm;Z轴行程150mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -L 零点在行程左极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-R 零点在行程右极限位置
线缆管理  -C2 无尘拖链
 -C3 坦克拖链
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
大理石支撑钢架 -Y 有支撑钢架
-N 无支撑钢架(标配)
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产品样本
RBLM-XYZ系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
RBLM-XYZ系列产品尺寸图
2023-08-18
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3D模型
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RBLM-XYZ-100-100-50
XY轴行程100mm,精密滚柱直线导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm;Z轴行程50mm,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
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RBLM-XYZ-100-100-50 PLUS
XY轴行程100mm,精密滚柱直线导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm;Z轴行程50mm,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm
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RBLM-XYZ-200-200-100
XY轴行程200mm,精密滚柱直线导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±2.5μm,平面度±2.5μm;Z轴行程100mm,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
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RBLM-XYZ-200-200-100 PLUS
XY轴行程200mm,精密滚柱直线导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1μm,平面度±1.25μm;Z轴行程100mm,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm
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RBLM-XYZ-300-300-150
XY轴行程300mm,精密滚柱直线导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±3.5μm,平面度±3.5μm;Z轴行程150mm,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±2.5μm,平面度±2.5μm
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RBLM-XYZ-300-300-150 PLUS
XY轴行程300mm,精密滚柱直线导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1.25μm,平面度±1.5μm;Z轴行程150mm,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1.25μm,平面度±1.5μm
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