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RBN-VC-L双轴真空运动台
非接触式直驱结构
真空交叉滚柱导轨
适用高真空10^-7 Torr
亚微米定位精度
零部件兼容真空度
结构可接受定制
RBN-VC-L双轴真空运动台
RBN-VC-L双轴真空运动台
RBN-VC-L双轴真空运动台
产品描述
规格参数
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应用领域
RBN-VC-L系列是研发出的一款高精度的双轴真空运动台,具有纳米级微动步距,亚微米级定位精度,适用于高真空10^-7 Torr环境下应用。
直驱结构设计
X轴行程380mm,Y轴行程200mm,高真空直线电机驱动,在低速运行时保持平稳,在高速状态不产生振动。
真空交叉滚柱直线导轨导向,滚柱是线接触,比滚珠接触面积大,运动平稳,交叉排列,多方向受力稳定。十字叠层结构,使整体结构更紧凑。真空润滑脂涂抹在真空导轨上,不易挥发。
尽可能的消除盲孔,在盲孔和螺栓处有通孔,保证安装孔开放式结构。结构件选用航空铝合金件,清洗加工表面,高低温热处理消除加工应力,确保使用的长期稳定性。
使用聚四氟乙烯材质的垫圈;螺钉中心带通孔,结构件消除盲孔,方便通风排气;轴侧面无防尘设计,方便通风排气;线缆外表为特氟龙材质,适用真空环境;提供真空腔外的配套连接法兰及线缆。
规格参数
轴系 Axis 测试项目 Test Items 单位 Units 指标要求 Specification
X 轴
X AXIS
行程 Travel mm 380
补偿后定位精度 Accuracy μm ±0.75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability μm ±0.2
直线度 Straightness μm ±3
偏摆 Yaw arc sec ±15
俯仰 Pitch arc sec ±15
工作速度 Operating Speed mm/s 100
加速度 Acceleration g 0.1
微动步距 Min Incremental Motion nm 10
Y 轴
Y AXIS
行程 Travel mm 200
补偿后定位精度 Accuracy μm ±0.75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability μm ±0.1
直线度 Straightness μm ±1.5
偏摆 Yaw arc sec ±7
俯仰 Pitch arc sec ±7
工作速度 Operating Speed mm/s 100
加速度 Acceleration g 0.1
微动步距 Min Incremental Motion nm 10
XY 负载Load kg 15
实测数据
选型信息

详细选型信息请联系瑞邦定制咨询~

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RBN-VC-L双轴真空运动台产品样本
2023-09-08
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