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半导体
Wafer缺陷检测应用
晶圆缺陷检测 (Wafer defect inspection)是半导体制造过程中不可或缺的一环。它是将一个晶圆上的所有芯片边缘和表面进行精细扫描,寻找潜在或已存在的缺陷,以便于制造商确定晶圆是否合格。
Wafer曲翘度检测应用
晶圆翘曲度影响着晶圆直接键合质量,翘曲度越小,表面越平整,克服弹性变形所做的工就越小,晶圆也就越容易键合。晶圆翘曲度的测量既有高精度要求,同时也有要保留其表面的光洁度要求。采用非接触高精密光学测量方式,不会划伤甚至破坏工件,不仅能进行更高精度测量,在整个测量过程还不会触碰到表面影响光洁度,能保留完整的晶圆片表面形貌。
LVDT检测系统应用
高精的位置传感器搭配高精密运动台,瑞邦精控RBHXG系列可满足检测需求。
Wafer热敏胶厚度检测应用
晶圆检测是半导体生产中非常关键的环节,其主要目的是确保生产出来的芯片质量合格,并提高生产效率及减少成本。
封装&贴片应用
封装,Package,是把集成电路装配为芯片最终产品的过程,简单地说,就是把铸造厂生产出来的集成电路裸片(Die)放在一块起到承载作用的基板上,把管脚引出来,然后固定包装成为一个整体。
激光直写(Laser Direct Writing)应用
激光直写(Laser Direct Writing)是一种非接触式的微细加工工艺,它利用激光束通过特殊的光学系统照射到物体表面上,在局部区域内产生高能量密度以进行加工,可在纳米尺度上进行刻蚀、打孔、修整等工艺,具有高精度、高速度、无接触、无污染的特点,而且可以在多种材料上进行加工,已成为当前先进制造领域中的一项重要技术。
激光划片应用
激光划片是利用高能激光束照射工件表面,使被照射区域局部熔化、气化,从而达到去除材料,实现将半导体晶圆分割成单个芯片的过程。瑞邦精控有成熟的产品应用案例,如下参考。欢迎咨询。
芯片键合(Die Bonding)应用
封装工艺包含背面研磨(Back Grinding)、划片(Dicing)、芯片键合(Die Bonding)、引线键合(Wire Bonding)及成型(Molding)等步骤。这些工艺的顺序可根据封装技术的变化进行调整、相互结合或合并。
晶圆测量系统解决方案
系统在以生产快速运行时,能否准确识别和测量出晶圆的种种缺陷。这要求机械装置的刚性高,精度好,能够快速响应使系统能够快速稳定下来,达到目标扫描速度识别出晶圆的种种缺陷,满足晶圆每小时生产效率的关键要求。
隐形切割应用
隐形切割:将激光聚光于工件内部,在工件内部形成改质层,通过扩展胶膜等方法将工件分割成芯片的切割方法。