|
型号 Model |
单位 Units |
RBN-60-60-20SG |
RBN-110-110-20SG |
RBN-160-160-35SG |
RBN-210-210-35SG |
|||||
|
行程 Travel |
mm |
60 x 60 |
20 |
110 x 110 |
20 |
160 x 160 |
35 |
210 x 210 |
35 |
|
|
补偿后定位精度 Accuracy |
超精版 Ultra |
μm |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
|
高精版 Plus |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.15 |
||
|
普通版 Standard |
±0.25 |
±1 |
±0.3 |
±1 |
±0.3 |
±1 |
±0.3 |
±1 |
||
|
单向重复定位精度 Uni-Repeatability |
超精版 Ultra |
nm |
±7.5 |
— |
±7.5 |
— |
±10 |
— |
±10 |
— |
|
高精版 Plus |
±20 |
— |
±40 |
— |
±50 |
— |
±50 |
— |
||
|
普通版 Standard |
±30 |
— |
±75 |
— |
±75 |
— |
±75 |
— |
||
|
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版 Ultra |
μm |
±0.01 |
— |
±0.01 |
— |
±0.015 |
— |
±0.015 |
— |
|
高精版 Plus |
±0.025 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.075 |
±0.075 |
±0.075 |
||
|
普通版 Standard |
±0.05 |
±0.5 |
±0.1 |
±0.5 |
±0.1 |
±0.5 |
±0.15 |
±0.5 |
||
|
直线度 (1) Straightness |
高精版 Plus |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
|
普通版 Standard |
±1 |
±3 |
±1 |
±3 |
±1 |
±4 |
±1.5 |
±4 |
||
|
平面度 (1) Flatness |
高精版 Plus |
μm |
±0.5 |
— |
±0.5 |
— |
±0.5 |
— |
±0.75 |
— |
|
普通版 Standard |
±1 |
— |
±1 |
— |
±1 |
— |
±1.5 |
— |
||
|
俯仰、翻滚 (1) Pitch Roll |
高精版 Plus |
arc sec |
±2.5 |
±2.5 |
±3 |
±2.5 |
±3 |
±2.5 |
±3 |
±2.5 |
|
普通版 Standard |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±7 |
±5 |
||
|
偏摆 (1) Yaw |
高精版 Plus |
arc sec |
±1 |
±2 |
±1 |
±2 |
±1 |
±2 |
±2 |
±2 |
|
普通版 Standard |
±2.5 |
±5 |
±2.5 |
±5 |
±2.5 |
±5 |
±5 |
±5 |
||
|
电子分辨率 Electronic Resolution (2) |
nm |
0.3 或 5（选配） |
||||||||
|
微动步距 Min Incremental Step |
高精版 Plus (3) |
nm |
≤ 1 |
≤ 1 |
≤ 1 |
≤ 1 |
≤ 1 |
≤ 1 |
≤ 1 |
≤ 5 |
|
普通版 Standard |
≤ 30 |
≤ 30 |
≤ 30 |
≤ 30 |
≤ 30 |
≤ 30 |
≤ 30 |
≤ 50 |
||
|
定位纹波 In Position Stability |
高精版 Plus (3) |
nm |
≤ 1 |
≤ 1 |
≤ 1 |
≤ 1 |
≤ 1 |
≤ 1 |
≤ 1 |
≤ 5 |
|
普通版 Standard |
≤ 30 |
≤ 30 |
≤ 30 |
≤ 30 |
≤ 30 |
≤ 30 |
≤ 30 |
≤ 50 |
||
|
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (4) |
mm/s |
100 |
10 |
200 |
10 |
200 |
10 |
200 |
10 |
|
|
最大负载 Max Load |
kg |
10 |
||||||||
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，普通版振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. 取决于平台安装表面的平面度。
2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
3. 高精度版振动等级VC-F；振动等级VC-G，XY轴微动步距＜0.2nm。
4. 空载条件下的精度指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
| 型号 | RBN | -60-60-20 | -P | -N | -1 | -0 | -C3 | -3 | -N | -N |
| 描述 | 交叉滚柱运动台 | X轴行程60mm；Y轴行程60mm；Z轴行程20mm | 高精版 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | 坦克拖链 | 线缆长度3米 | 常压环境 | 无大理石基座 |
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 多轴线轨运动台 | RBN | 交叉滚柱运动台 |
| 行程 | -60-60-20 | X轴行程60mm；Y轴行程60mm；Z轴行程20mm |
| -110-110-35 | X轴行程110mm；Y轴行程110mm；Z轴行程35mm | |
| -160-160-35 | X轴行程160mm；Y轴行程160mm；Z轴行程35mm | |
| -210-210-35 | X轴行程210mm；Y轴行程210mm；Z轴行程35mm | |
| 精度等级 | -N | Standard普通版 |
| -P | Plus高精版 | |
| -U | Ultra超精版 | |
| 电子分辨率 | -N | 默认 |
| -0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
| -5 | 电子分辨率5nm | |
| 反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
| -T | 增量式光栅TTL反馈 | |
| -ABS | 绝对式光栅反馈 | |
| 零点位置 | -0 | 零点在行程中心位置 |
| 线缆管理 | -DB | DB接头，无线缆管理 |
| -C2 | 无尘拖链 | |
| -C3 | 坦克拖链 | |
| -C4 | 真空线缆 | |
| 线缆长度 | -3 | 长度3米（标配） |
| -5 | 长度5米 | |
| -DZ | 定制 | |
| 气压环境 | -N | 常压环境（标配） |
| -VC | 真空环境 | |
| 大理石基座 (1) | -Y | 有大理石基座 |
| -N | 无大理石基座（标配） |
注：1. 选真空环境下（-VC）使用，禁止选大理石基座（-Y）项。
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