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RBN-XY-SG系列三轴精密运动台
三轴直驱结构设计
Z轴直驱平升结构
抗蠕动交叉滚柱导轨
高精度指标
微动步距≤30nm
根据需求可定制
RBN-XY-SG系列三轴精密运动台
RBN-XY-SG系列三轴精密运动台
RBN-XY-SG系列三轴精密运动台
产品描述
规格参数
实测数据
选型信息
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应用领域
RBN-XY-SG系列是一款高精度三轴精密运动台,三轴叠层紧凑式结构,亚微米级精度用于飞秒激光加工、光学制造及检测、基因测序和科研等领域。
结构特点
三轴直驱结构,电机具有零齿槽、高动态性能及电流噪声小等特点,防蠕动交叉滚柱直线导轨导向,滚柱为线线接触,运动平稳,滚柱间交叉排列,多方向受力稳定。XY轴叠层结构,行程60~210mm可选,Z轴直驱平升结构,直接移动负载升降,行程20~35mm,可选配抱闸功能,防止断电掉落。
精度性能
非接触式光栅闭环反馈,紧凑结构,获得XY轴重复定位精度±75nm,直线度和平面度±0.75μm;Z轴重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm,是高精度场所的理想选择。
微动步距
对有微动步距(最小位移量)要求的应用领域,如最小步距运动、对准应用等,微动步距≤30nm,对现场使用环境的要求,更多细节可联系瑞邦精控。
定制化
根据应用可配置大理石基座、隔振器等整套运动控制方案。
规格参数

型号 Model

单位 Units

RBN-60-60-20SG

RBN-110-110-20SG

RBN-160-160-35SG

RBN-210-210-35SG

行程 Travel

mm

60 x 60

20

110 x 110

20

160 x 160

35

210 x 210

35

补偿后定位精度 

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.15

普通版 Standard

±0.3

±1

±0.3

±1

±0.3

±1

±0.3

±1

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.025

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.075

±0.075

±0.075

普通版 Standard

±0.05

±0.5

±0.1

±0.5

±0.1

±0.5

±0.15

±0.5

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

普通版 Standard

±1

±3

±1

±3

±1

±4

±1.5

±4

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.5

±0.5

±0.5

±0.75

普通版 Standard

±1

±1

±1

±1.5

俯仰、翻滚

Pitch Roll

高精版 Plus

arc sec

±2.5

±2.5

±3

±2.5

±3

±2.5

±3

±2.5

普通版 Standard

±5

±5

±5

±5

±5

±5

±7

±5

偏摆

Yaw

高精版 Plus

arc sec

±1

±2

±1

±2

±1

±2

±2

±2

普通版 Standard

±2.5

±5

±2.5

±5

±2.5

±5

±5

±5

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 或 5(选配)

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus*

nm

≤ 1

≤ 1

≤ 1

≤ 1

≤ 1

≤ 5

≤ 1

≤ 5

普通版 Standard

≤ 30

≤ 30

≤ 30

≤ 30

≤ 30

≤ 50

≤ 30

≤ 50

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus*

nm

≤ 1

≤ 1

≤ 1

≤ 1

≤ 1

≤ 5

≤ 1

≤ 5

普通版 Standard

≤ 30

≤ 30

≤ 30

≤ 30

≤ 30

≤ 50

≤ 30

≤ 50

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

100

10

200

10

200

10

200

10

最大负载 Max Load

kg

10

 

注:以上为单轴精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

 *:高精度版振动等级VC-F;振动等级VC-G,XY轴微动步距<0.2nm。

实测数据
选型信息
型号 RBN  -50-50-20 -PLUS -N -1 -0  -C3 -3 -N -N
描述 交叉滚柱运动台 X轴行程50mm;Y轴行程50mm;Z轴行程20mm PLUS高精版 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 坦克拖链 线缆长度3米 常压环境 无大理石基座

 

名称 型号 描述
多轴线轨运动台 RBN 交叉滚柱运动台
行程  -60-60-20 X轴行程60mm;Y轴行程60mm;Z轴行程20mm
 -110-110-35 X轴行程110mm;Y轴行程110mm;Z轴行程35mm
 -160-160-35 X轴行程160mm;Y轴行程160mm;Z轴行程35mm
 -210-210-35 X轴行程210mm;Y轴行程210mm;Z轴行程35mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -0 零点在行程中心位置
线缆管理 -DB DB接头,无线缆管理
 -C2 无尘拖链
 -C3 坦克拖链
 -C4 真空线缆
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
气压环境 -N 常压环境(标配)
-VC 真空环境
大理石基座 (1) -Y 有大理石基座
-N 无大理石基座(标配)

注:1. 选真空环境下(-VC)使用,禁止选大理石基座(-Y)项。

下载
产品样本
RBN-XY-SG系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
RBN-XY-SG系列产品尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
报价/订购
RBN-60-60-20SG
XY轴行程60mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±1μm,平面度±1μm;Z轴行程20mm,Z轴为直驱平升结构,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±3μm
添加至报价单
RBN-60-60-20SG PLUS
XY轴行程60mm,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm;Z轴行程20mm,Z轴为直驱平升结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.5μm
添加至报价单
RBN-110-110-20SG
XY轴行程110mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm;Z轴行程20mm,Z轴为直驱平升结构,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±3μm
添加至报价单
RBN-110-110-20SG PLUS
XY轴行程110mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm;Z轴行程20mm,Z轴为直驱平升结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.5μm
添加至报价单
RBN-160-160-35SG
XY轴行程160mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm;Z轴行程35mm,Z轴为直驱平升结构,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±4μm
添加至报价单
RBN-160-160-35SG PLUS
XY轴行程160mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm;Z轴行程35mm,Z轴为直驱平升结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm
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RBN-210-210-35SG
XY轴行程210mm,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm;Z轴行程35mm,Z轴为直驱平升结构,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±4μm
添加至报价单
RBN-210-210-35SG PLUS
XY轴行程210mm,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm;Z轴行程35mm,Z轴为直驱平升结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm
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