型号 Model |
单位 Units |
RBN-60-60-10SG |
RBN-110-110-20SG |
RBN-160-160-25SG |
RBN-210-210-35SG |
|||||
行程 Travel |
mm |
60 x 60 |
10 |
110 x 110 |
20 |
160 x 160 |
25 |
210 x 210 |
35 |
|
补偿后定位精度 Accuracy |
超精版 Ultra |
μm |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
高精版 Plus |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.15 |
||
普通版 Standard |
±0.3 |
±1 |
±0.3 |
±1 |
±0.3 |
±1 |
±0.3 |
±1 |
||
单向重复定位精度 Uni-Repeatability |
超精版 Ultra |
nm |
±7.5 |
— |
±7.5 |
— |
±7.5 |
— |
±10 |
— |
高精版 Plus |
±20 |
— |
±40 |
— |
±40 |
— |
±50 |
— |
||
普通版 Standard |
±30 |
— |
±75 |
— |
±75 |
— |
±75 |
— |
||
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版 Ultra |
μm |
±0.01 |
— |
±0.01 |
— |
±0.01 |
— |
±0.015 |
— |
高精版 Plus |
±0.025 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.075 |
±0.075 |
±0.075 |
±0.075 |
||
普通版 Standard |
±0.1 |
±0.5 |
±0.1 |
±0.5 |
±0.1 |
±0.5 |
±0.15 |
±0.5 |
||
直线度 (1) Straightness |
高精版 Plus |
μm |
±0.25 |
±0.5 |
±0.35 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
普通版 Standard |
±1 |
±3 |
±1 |
±3 |
±1.5 |
±4 |
±1.5 |
±4 |
||
平面度 (1) Flatness |
高精版 Plus |
μm |
±0.5 |
— |
±0.5 |
— |
±0.75 |
— |
±0.75 |
— |
普通版 Standard |
±1 |
— |
±1 |
— |
±1.5 |
— |
±1.5 |
— |
||
俯仰、翻滚 (1) Pitch Roll |
高精版 Plus |
arc sec |
±2.5 |
±2.5 |
±3 |
±2.5 |
±3 |
±2.5 |
±3 |
±2.5 |
普通版 Standard |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±7 |
±5 |
||
偏摆 (1) Yaw |
高精版 Plus |
arc sec |
±1 |
±2 |
±1 |
±2 |
±1 |
±2 |
±2 |
±2 |
普通版 Standard |
±2.5 |
±5 |
±2.5 |
±5 |
±2.5 |
±5 |
±5 |
±5 |
||
电子分辨率 Electronic Resolution (2) |
nm |
≤1, ≤5(选配) |
||||||||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3) |
mm/s |
100 |
10 |
200 |
10 |
200 |
10 |
200 |
10 |
|
最大负载 Max Load |
kg |
10 |
特殊项目 Special Items (4) | 单位 Units | 数值 Data |
微动步距 Min Incremental Step | nm | 默认, XY ≤ 1 Z ≤ 5, XY ≤ 30 Z ≤ 50 |
定位纹波 In Position Stability | nm | 默认, XY ≤ 1 Z ≤ 5, XY ≤ 30 Z ≤ 50 |
注:
以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±1℃(重复定位精度优于±50nm,测量时温度20℃±0.01℃),湿度40%~60%RH,普通版振动等级VC-E,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。
1. 取决于平台安装表面的平面度。
2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
3. 空载条件下的精度指标,最大速度和加速度取决于负载大小。
4. 无特殊项目要求,出厂默认为准。振动等级VC-G,XY轴微动步距<0.2nm。
型号 | RBN | -60-60-10SG | -N | -N | -1 | 0 | -DB | -3 | -N | -N | -N |
描述 | 交叉滚柱运动台 | X轴行程60mm;Y轴行程60mm;Z轴行程10mm | 普通版 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | DB接头,无线缆管理 | 线缆长度3米 | 无线缆固定柱(标配) | 常压环境 | 无大理石基座 |
名称 | 型号 | 描述 |
多轴线轨运动台 | RBN | 交叉滚柱运动台 |
行程 | -60-60-10SG | X轴行程60mm;Y轴行程60mm;Z轴行程10mm |
-110-110-20SG | X轴行程110mm;Y轴行程110mm;Z轴行程20mm | |
-160-160-25SG | X轴行程160mm;Y轴行程160mm;Z轴行程25mm | |
-210-210-35SG | X轴行程210mm;Y轴行程210mm;Z轴行程35mm | |
精度等级 | -N | Standard普通版 |
-P | Plus高精版 | |
-U | Ultra超精版 | |
电子分辨率 | -N | 默认 |
-1 | 电子分辨率 ≤1nm | |
-5 | 电子分辨率 ≤5nm | |
反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
-T | 增量式光栅TTL反馈 | |
-ABS | 绝对式光栅反馈 | |
零点位置 | -0 | 零点在行程中心位置(标配) |
线缆管理 | -DB | DB接头,无线缆管理(标配) |
-C5 | 真空线缆 | |
线缆长度 | -3 | 长度3米(标配) |
-5 | 长度5米 | |
-DZ | 定制 | |
线缆固定柱 | -Y | 有线缆固定柱 |
-N | 无线缆固定柱(标配) | |
气压环境 | -N | 常压环境(标配) |
-VC | 真空环境 | |
大理石基座 (1) | -Y | 有大理石基座 |
-N | 无大理石基座(标配) |
注:1. 选真空环境下(-VC)使用,禁止选大理石基座(-Y)项。