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轴系 Axis |
测试项目 Test Items |
单位 Units |
指标要求 Specification |
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单轴 |
行程 Travel |
mm |
7 |
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补偿后定位精度 Accuracy |
μm |
±1 |
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双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±0.5 |
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微动步距 Min Incremental Motion |
μm |
0.1 |
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最大速度 Max Speed |
mm/s |
10 |
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负载 Load |
kg |
5 |
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