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QFR系列气浮转台
闭式气浮结构
直驱零齿槽效应
定位精度±0.5arc sec
同步跳动误差10nm
精准回零误差
高速度稳定性
最大承载1T
解决气浮轴抱死问题
QFR系列气浮转台
QFR系列气浮转台
QFR系列气浮转台
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应用领域
QFR系列气浮转台轻量化设计、有效降低高度、减小多轴系统集成情况下的阿贝误差;提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级同步跳动。产品设计满足晶圆加工及检测、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备等高端行业。
结构特点
由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和圆光栅反馈组成,最大限度的提高定位性能。闭式气浮结构设计使工作台面降到最低,减小系统误差影响。具有高轴向刚度和大承载能力。解决气浮轴抱死的问题,力矩电机固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射,适合在各种速度下平滑转动。
精度性能
瑞邦精控的QFR系列气浮转台同步轴向跳动误差和径向跳动误差10nm,摆角误差3μrad,最大负载1T,电动控制和手动转动跳动误差一致,使用寿命10年以上。
闭环反馈
使用圆光栅闭环反馈,分辨率优于0.01arc sec,同时采用高性能控制系统,优化气浮结构,气浮转台能精准回到零点位置。
定制化
气浮转台可安装滑环,用于空间模拟装置,MEMS和惯性导航等应用。
规格参数

型号 Model

单位 Units

QFR-100

QFR-150

QFR-200

QFR-250

QFR-300

QFR-400

QFR-500

QFR-750

QFR-1000

行程 Travel

°

360

台面直径 Tabletop Diameter

mm

84

134

184

234

284

384

484

734

984

通孔直径 Aperture Diameter

mm

10

16

22

30

40

50

60

80

100

补偿后定位精度 

Accuracy

高精版 Plus

arc sec

±0.5

普通版 Standard

±2

双向重复定位精度 

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

arc sec

≤0.5

普通版 Standard

≤1

同步轴向跳动误差

Synchronous Axial Error Motion

高精版 Plus

nm

10

100

普通版 Standard

200

500

同步径向跳动误差

Synchronous Radial Error Motion

高精版 Plus

nm

10

150

普通版 Standard

200

500

同步摆角误差

Synchronous Tilt Error Motion

高精版 Plus

μrad

3

普通版 Standard

6

异步轴向跳动误差

Asynchronous Axial Error Motion

高精版 Plus

nm

≤ 2.5

≤ 25

普通版 Standard

≤ 30

≤ 50

异步径向跳动误差

Asynchronous Radial Error Motion

高精版 Plus

nm

≤ 2.5

≤ 25

普通版 Standard

≤ 30

≤ 50

异步摆角误差

Asynchronous Tilt Error Motion

高精版 Plus

μrad

≤ 0.2

普通版 Standard

≤ 0.5

电子分辨率 Electronic Resolution(1)

arc sec

<0.01

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)(2)

rpm

300,(≥1000 定制)

最大负载

Max Load

轴向 Axial Dir

kg

10

20

45

75

100

350

650

850

1000

径向 Radia Dir

5

12

20

36

45

供气压力 Operating Pressure(3)

MPa

0.5 ± 0.05

材料 Material

/

航空7075铝合金(表面氧化处理)

 

特殊项目 Special Items (4) 单位 Units 数值 Data
定位纹波 In Position Stability arc sec 默认, ≤ 0.02, 定制
跟随误差 Following Error arc sec 默认, ≤ 0.04, 定制

注:

以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±0.5℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-F,测试点在转动台面上25mm处,测试速度2-10deg/s,Renishaw激光干涉仪及自带分析方法测量,精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如需非标准测试,请咨询我们。

1. 电子分辨率取决编码器线数及控制器的细分倍数。

2. 最大转速取决于负载大小,可定制更高转速。

3. 为保护气浮轴承建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的(过滤至0.25μm或更佳,ISO8573-1),无水(压力露点-20℃,ISO8573-1级别3)及无油(ISO8573-1级别1)。

4. 无特殊项目要求,出厂默认为准。

选型信息
型号 QFR -150 -P -1 -3
描述 气浮转台 转动台面直径134mm 高精版 增量式光栅1Vpp反馈 线缆长度3米
 
名称 型号 描述
气浮转台 QFR 气浮转台
台面 -100 转动台面φ84mm
-150 转动台面φ134mm
-200 转动台面φ184mm
-250 转动台面φ234mm
-300 转动台面φ284mm
-350 转动台面φ334mm
-400 转动台面φ384mm
-500 转动台面φ484mm
-750 转动台面φ734mm
-1000 转动台面φ984mm
精度等级 -N Standard普通版
-P Plus高精版
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
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产品样本
QFR系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
QFR-100气浮转台尺寸图
2023-08-18
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QFR-200气浮转台尺寸图
2023-08-18
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QFR-300气浮转台尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
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QFR-100
行程360°,台面直径84mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤1arc sec,轴向跳动误差200nm,径向跳动误差200nm
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QFR-100 PLUS
行程360°,台面直径84mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差10nm,径向跳动误差10nm
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QFR-150
行程360°,台面直径134mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤1arc sec,轴向跳动误差200nm,径向跳动误差200nm
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QFR-150 PLUS
行程360°,台面直径134mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差10nm,径向跳动误差10nm
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QFR-200
行程360°,台面直径184mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤1arc sec,轴向跳动误差200nm,径向跳动误差200nm
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QFR-200 PLUS
行程360°,台面直径184mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差10nm,径向跳动误差10nm
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QFR-250
行程360°,台面直径234mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤1arc sec,轴向跳动误差200nm,径向跳动误差200nm
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QFR-250 PLUS
行程360°,台面直径234mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差10nm,径向跳动误差10nm
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QFR-300
行程360°,台面直径284mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤1arc sec,轴向跳动误差200nm,径向跳动误差200nm
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QFR-300 PLUS
行程360°,台面直径284mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差10nm,径向跳动误差10nm
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QFR-350
行程360°,台面直径334mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差500nm,径向跳动误差500nm
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QFR-350 PLUS
行程360°,台面直径344mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差100nm,径向跳动误差150nm
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QFR-400
行程360°,台面直径384mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差500nm,径向跳动误差500nm
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QFR-400 PLUS
行程360°,台面直径384mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差100nm,径向跳动误差150nm
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QFR-500
行程360°,台面直径484mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差500nm,径向跳动误差500nm
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QFR-500 PLUS
行程360°,台面直径484mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差100nm,径向跳动误差150nm
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QFR-750
行程360°,台面直径734mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差100nm,径向跳动误差150nm
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QFR-750 PLUS
行程360°,台面直径734mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差100nm,径向跳动误差150nm
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QFR-1000
行程360°,台面直径984mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差500nm,径向跳动误差500nm
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QFR-1000 PLUS
行程360°,台面直径984mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差100nm,径向跳动误差150nm
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