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QFR系列气浮转台
69产品
闭式气浮结构
直驱零齿槽效应
定位精度±0.5arc sec
同步跳动误差10nm
精准回零误差
高速度稳定性
最大承载100kg
解决气浮轴抱死问题
QFR系列气浮转台
QFR系列气浮转台
QFR系列气浮转台
产品描述
规格参数
实测数据
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应用领域
QFR系列气浮转台轻量化设计、有效降低高度、减小多轴系统集成情况下的阿贝误差;提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级同步跳动。产品设计满足晶圆加工及检测、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备等高端行业。
结构特点
由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和圆光栅反馈组成,最大限度的提高定位性能。闭式气浮结构设计使工作台面降到最低,减小系统误差影响。具有高轴向刚度和大承载能力。解决气浮抱死的问题,力矩电机固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射,适合在各种速度下平滑转动。
精度性能
瑞邦精控的QFR系列气浮转台同步轴向跳动误差和径向跳动误差10nm,摆角误差3μrad,最大负载100kg,电动控制和手动转动跳动误差一致,使用寿命10年以上。
闭环反馈
使用圆光栅闭环反馈,分辨率优于0.01arc sec,同时采用高性能控制系统,优化气浮结构,气浮转台能精准回到零点位置。
定制化
气浮转台可安装滑环,用于空间模拟装置,MEMS和惯性导航等应用。
规格参数
型号 单位 QFR-100 QFR-200 QFR-300
行程 degree 360
台面直径 mm 134 184 284
通孔直径 mm 16 22 40
补偿后定位精度 Plus arc sec ±0.5
标准值 ±2
双向重复定位精度 Plus arc sec ≤0.5
标准值 ≤1
轴向跳动误差 Plus nm 10
标准值 200
径向跳动误差 Plus nm 10
标准值 200
摆角误差 Plus μrad 3
标准值 6
电子分辨率 arc sec <0.01
最大速度(空载) rpm 300, (≥1000 定制)
最大负载 轴向 kg 20 45 100
径向 12 27 60
供气压力 MPa 0.5±0.05
空气消耗量 SL/min 26 35 60
自重 kg 5 10 26
材料 / 航空7075铝合金(表面氧化处理)

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息
型号 QFR -100 -PLUS -1 -3 -Y
描述 气浮转台 转动台面直径134mm PLUS高精度版 增量式光栅1Vpp反馈 线缆长度3米 有压力保护开关

 

名称 型号 描述
气浮转台 QFR 气浮转台
台面 -100 转动台面φ134mm
-200 转动台面φ184mm
-300 转动台面φ284mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精度版
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
压力保护开关 -Y 有压力保护开关(标配)
-N 无压力保护开关
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产品样本
QFR系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
QFR-100气浮转台尺寸图
2023-08-18
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QFR-200气浮转台尺寸图
2023-08-18
下载
QFR-300气浮转台尺寸图
2023-08-18
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3D模型
QFR-200气浮转台 3D模型
2023-11-14
下载
QFR-300气浮转台 3D模型
2023-11-14
下载
QFR-100气浮转台 3D模型
2024-03-11
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报价/订购
QFR-100
行程360°,台面直径134mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤1arc sec,轴向跳动误差200nm,径向跳动误差200nm
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QFR-100 PLUS
行程360°,台面直径134mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差10nm,径向跳动误差10nm
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QFR-200
行程360°,台面直径184mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤1arc sec,轴向跳动误差200nm,径向跳动误差200nm
添加至报价单
QFR-200 PLUS
行程360°,台面直径184mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差10nm,径向跳动误差10nm
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QFR-300
行程360°,台面直径284mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤1arc sec,轴向跳动误差200nm,径向跳动误差200nm
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QFR-300 PLUS
行程360°,台面直径284mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差10nm,径向跳动误差10nm
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