精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

QFR系列气浮转台轻量化设计、有效降低高度、减小多轴系统集成情况下的阿贝误差；提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级同步跳动。产品设计满足晶圆加工及检测、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备等高端行业。

结构特点

由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和圆光栅反馈组成，最大限度的提高定位性能。闭式气浮结构设计使工作台面降到最低，减小系统误差影响。具有高轴向刚度和大承载能力。解决气浮抱死的问题，力矩电机固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，适合在各种速度下平滑转动。

精度性能

瑞邦精控的QFR系列气浮转台同步轴向跳动误差和径向跳动误差10nm，摆角误差3μrad，最大负载100kg，电动控制和手动转动跳动误差一致，使用寿命10年以上。

闭环反馈

使用圆光栅闭环反馈，分辨率优于0.01arc sec，同时采用高性能控制系统，优化气浮结构，气浮转台能精准回到零点位置。

定制化

气浮转台可安装滑环，用于空间模拟装置，MEMS和惯性导航等应用。

规格参数

型号 Model		单位 Units	QFR-100	QFR-200		QFR-300
行程 Travel		°	360
台面直径 Tabletop Diameter		mm	134	184		284
通孔直径 Aperture Diameter		mm	16	22		40
补偿后定位精度 Accuracy	高精版 Plus	arc sec	±0.5
	普通版 Standard		±2
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	高精版 Plus	arc sec	≤0.5
	普通版 Standard		≤1
轴向跳动误差 Axial Error Motion	高精版 Plus	nm	10
	普通版 Standard		200
径向跳动误差 Radial Error Motion	高精版 Plus	nm	10
	普通版 Standard		200
摆角误差 Tilt Error Motion	高精版 Plus	μrad	3
	普通版 Standard		6
电子分辨率 Electronic Resolution		arc sec	＜0.01
定位纹波 In Position Stability	高精版 Plus	arc sec	定制
	普通版 Standard		0.02
跟随误差 Following Error	高精版 Plus	arc sec	定制
	普通版 Standard		0.04
最大速度 (空载) Max Speed (No Load)		rpm	300,（≥1000 定制）
最大负载 Max Load	轴向 Axial Dir	kg	20	45		100
	径向 Radia Dir		12	27		60
供气压力 Operating Pressure		MPa	0.5±0.05
空气消耗量 Air Consumption		SL/min	26	35	60
自重 Total Mass		kg	5	10	26
材料 Material		/	航空7075铝合金（表面氧化处理）

注：以上精度指标，测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据

选型信息

型号	QFR	-100	-P	-1	-3
描述	气浮转台	转动台面直径134mm	高精版	增量式光栅1Vpp反馈	线缆长度3米