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QFR系列气浮转台
69产品
闭式气浮结构
直驱零齿槽效应
定位精度±0.5arc sec
同步跳动误差10nm
精准回零误差
高速度稳定性
最大承载100kg
解决气浮轴抱死问题
QFR系列气浮转台
QFR系列气浮转台
QFR系列气浮转台
产品描述
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应用领域
QFR系列气浮转台轻量化设计、有效降低高度、减小多轴系统集成情况下的阿贝误差;提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级同步跳动。产品设计满足晶圆加工及检测、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备等高端行业。
结构特点
由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和圆光栅反馈组成,最大限度的提高定位性能。闭式气浮结构设计使工作台面降到最低,减小系统误差影响。具有高轴向刚度和大承载能力。解决气浮抱死的问题,力矩电机固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射,适合在各种速度下平滑转动。
精度性能
瑞邦精控的QFR系列气浮转台同步轴向跳动误差和径向跳动误差10nm,摆角误差3μrad,最大负载100kg,电动控制和手动转动跳动误差一致,使用寿命10年以上。
闭环反馈
使用圆光栅闭环反馈,分辨率优于0.01arc sec,同时采用高性能控制系统,优化气浮结构,气浮转台能精准回到零点位置。
定制化
气浮转台可安装滑环,用于空间模拟装置,MEMS和惯性导航等应用。
规格参数

型号 Model

单位 Units

QFR-100

QFR-200

QFR-300

行程 Travel

°

360

台面直径 Tabletop Diameter

mm

134

184

284

通孔直径 Aperture Diameter

mm

16

22

40

补偿后定位精度 

Accuracy

高精版 Plus

arc sec

±0.5

普通版 Standard

±2

双向重复定位精度 

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

arc sec

≤0.5

普通版 Standard

≤1

轴向跳动误差

Axial Error Motion

高精版 Plus

nm

10

普通版 Standard

200

径向跳动误差

Radial Error Motion

高精版 Plus

nm

10

普通版 Standard

200

摆角误差

Tilt Error Motion

高精版 Plus

μrad

3

普通版 Standard

6

电子分辨率 Electronic Resolution

arc sec

<0.01

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus

arc sec

定制

普通版 Standard

0.02

跟随误差

Following Error

高精版 Plus

arc sec

定制

普通版 Standard

0.04

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

rpm

300,(≥1000 定制)

最大负载

Max Load

轴向 Axial Dir

kg

20

45

100

径向 Radia Dir

12

27

60

供气压力 Operating Pressure

MPa

0.5±0.05

空气消耗量 Air Consumption

SL/min

26

35

60

自重 Total Mass

kg

5

10

26

材料 Material

/

航空7075铝合金(表面氧化处理)

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息
型号 QFR -100 -PLUS -1 -3 -Y
描述 气浮转台 转动台面直径134mm PLUS高精版 增量式光栅1Vpp反馈 线缆长度3米 有压力保护开关

 

名称 型号 描述
气浮转台 QFR 气浮转台
台面 -100 转动台面φ134mm
-200 转动台面φ184mm
-300 转动台面φ284mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
压力保护开关 -Y 有压力保护开关(标配)
-N 无压力保护开关
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产品样本
QFR系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
QFR-100气浮转台尺寸图
2023-08-18
下载
QFR-200气浮转台尺寸图
2023-08-18
下载
QFR-300气浮转台尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
QFR-200气浮转台 3D模型
2023-11-14
下载
QFR-300气浮转台 3D模型
2023-11-14
下载
QFR-100气浮转台 3D模型
2024-03-11
下载
报价/订购
QFR-100
行程360°,台面直径134mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤1arc sec,轴向跳动误差200nm,径向跳动误差200nm
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QFR-100 PLUS
行程360°,台面直径134mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差10nm,径向跳动误差10nm
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QFR-200
行程360°,台面直径184mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤1arc sec,轴向跳动误差200nm,径向跳动误差200nm
添加至报价单
QFR-200 PLUS
行程360°,台面直径184mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差10nm,径向跳动误差10nm
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QFR-300
行程360°,台面直径284mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤1arc sec,轴向跳动误差200nm,径向跳动误差200nm
添加至报价单
QFR-300 PLUS
行程360°,台面直径284mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差10nm,径向跳动误差10nm
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