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轴系 Axis |
测试项目 Test Items |
单位 Units |
指标要求 Specification |
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Z 轴 Z AXIS |
行程 Travel |
mm |
170 |
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补偿后定位精度 Accuracy |
μm |
±0.3 |
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双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±0.1 |
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直线度 Straightness |
μm |
1 |
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平面度 Flatness |
μm |
1 |
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最大速度 (空载) Max Speed (No Load) |
mm/s |
100 |
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C 轴 C AXIS |
行程 Travel |
° |
360 |
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补偿后定位精度 Accuracy |
arc sec |
±2 |
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双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
arc sec |
±1 |
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轴向跳动误差 Axial Error Motion |
nm |
200 |
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径向跳动误差 Radial Error Motion |
nm |
200 |
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最大转速 Max Speed |
rpm |
100 |
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微动步距 Min Incremental Motion |
arc sec |
30 |
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ZC |
负载 Load |
kg |
5 |
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