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轴系 Axis |
测试项目 Test Items |
单位 Units |
指标要求 Specification |
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X 轴 （龙门轴） |
行程 Travel |
mm |
1000 |
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补偿后定位精度 Accuracy |
μm |
±1 |
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双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±0.5 |
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直线度 Straightness |
μm |
±1.5 |
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平面度 Flatness |
μm |
±1 |
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偏摆 Yaw |
arc sec |
±3.5 |
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俯仰 Pitch |
arc sec |
±3.5 |
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工作速度 Operating Speed |
mm/s |
100 |
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Y 轴 （横梁轴） |
行程 Travel |
mm |
1000 |
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补偿后定位精度 Accuracy |
μm |
±1 |
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双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±0.5 |
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直线度 Straightness |
μm |
±1.5 |
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平面度 Flatness |
μm |
±1 |
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偏摆 Yaw |
arc sec |
±3 |
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俯仰 Pitch |
arc sec |
±3 |
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工作速度 Operating Speed |
mm/s |
100 |
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Z 轴 |
行程 Travel |
mm |
100 |
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补偿后定位精度 Accuracy |
μm |
±1 |
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双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±0.5 |
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直线度 Straightness |
μm |
±1.5 |
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平面度 Flatness |
μm |
±2 |
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工作速度 Operating Speed |
mm/s |
100 |
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XY |
负载 Load |
kg |
100 |
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Z |
负载 Load |
kg |
15 |
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X-Y |
垂直度 Orthogonality |
arc sec |
3 |
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