菜单
退出
报价单为空
QFHDS-1000XY-100Z三轴精密运动台
XY轴为平面式气浮结构,减小系统误差影响
横梁轴为陶瓷材质气浮导轨,超高性能精度
龙门式双驱结构,承载能力强
Z轴纳米级定位抖动
QFHDS-1000XY-100Z三轴精密运动台
QFHDS-1000XY-100Z三轴精密运动台
QFHDS-1000XY-100Z三轴精密运动台
产品描述
规格参数
实测数据
选型信息
下载
报价/订购
应用领域
QFHDS-1000XY-100Z三轴精密运动台用于飞秒激光加工。
产品简介
XY轴采用平面式气浮结构,直线电机驱动及光栅尺闭环反馈,行程1000mm,直线度±1.5μm,平面度±1μm。XY轴运动结构共面,两轴的反馈机构在同一个水平面,相当于单轴运动,减小因叠层引起的阿贝误差。开发的气浮轴承补偿方法,提高刚性和负载能力,XY轴负载可达100kg。
Z轴采用防蠕动交叉滚柱导轨导向,直线电机驱动及光栅尺闭环反馈,行程100mm,定位纹波优于20nm,Z轴垂直安装到大理石龙门横梁上。
大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠,品质有保障。大理石做模态分析,优化结构尺寸,可依据客户的要求做最终设计。
规格参数

轴系

Axis

测试项目

Test Items

单位

Units

指标要求

Specification

X

(龙门轴)

行程 Travel

mm

1000

补偿后定位精度 Accuracy

μm

±1

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

μm

±0.5

直线度 Straightness

μm

±1.5

平面度 Flatness

μm

±1

偏摆 Yaw

arc sec

±3.5

俯仰 Pitch

arc sec

±3.5

工作速度 Operating Speed

mm/s

100

Y

(横梁轴)

行程 Travel

mm

1000

补偿后定位精度 Accuracy

μm

±1

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

μm

±0.5

直线度 Straightness

μm

±1.5

平面度 Flatness

μm

±1

偏摆 Yaw

arc sec

±3

俯仰 Pitch

arc sec

±3

工作速度 Operating Speed

mm/s

100

Z

行程 Travel

mm

100

补偿后定位精度 Accuracy

μm

±1

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

μm

±0.5

直线度 Straightness

μm

±1.5

平面度 Flatness

μm

±2

工作速度 Operating Speed

mm/s

100

XY

负载 Load

kg

100

Z

负载 Load

kg

15

X-Y

垂直度 Orthogonality

arc sec

3

实测数据
选型信息

详细选型信息请联系瑞邦定制咨询~

下载
产品样本
QFHDS-1000XY-100Z三轴精密运动台产品样本
2024-05-25
下载
产品手册
CAD图纸
QFHDS-1000XY-100Z三轴精密运动台产品尺寸图
2024-06-30
下载
3D模型
报价/订购
QFHDS-1000XY-100Z
详细参数请联系瑞邦定制~
添加至报价单
询问工程师
通过电子邮件或电话从销售工程师处快速获取解答
15201018092
sales@aus-precision.com
联系我们
相关产品
温馨提示
请登录后进行下载