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QFL-XY-5XX三轴精密运动台
三轴直驱式结构
紧凑、亚微米级精度
XY轴气浮结构
Z轴楔形平升结构
根据需求可定制
高柔线缆管理系统
QFL-XY-5XX三轴精密运动台
QFL-XY-5XX三轴精密运动台
QFL-XY-5XX三轴精密运动台
产品描述
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应用领域
三轴精密运动台中的XY轴为气浮结构,Z轴为楔形平升结构,外观结构紧凑,用于飞秒激光加工,基因测序,光学检测和微光刻技术等行业。
结构特点
XY轴为开式气浮,永磁预载结构,十字叠层具有体积小,精度高等特点,能有效降低系统引起的阿贝误差。X轴比Y轴宽,作为底轴,整体性能更稳定。Z轴直驱楔形平升结构,无丝杆、联轴器等中间传动装置,提高了结构模态和整定性能,三轴结构使工作点降低,优化系统刚度。
精度性能
XY轴气浮运动台的定位精度±0.1μm,双向重复定位精度±50nm,直线度±0.1μm,平面度±0.1μm,Pitch ±1arc sec,Roll Yaw ±0.4arc sec,平升Z轴的定位精度±0.1μm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±1.5μm。
线缆管理
使用高质量的高柔排线和气管,线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计,运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。
定制化
XY轴可定制陶瓷材质气浮导轨,重复定位精度±15nm。行程也可接受定制。
规格参数

型号 Model

单位 Units

QFL-50-50-5XX

QFL-75-75-5XX

QFL-100-100-5XX

QFL-125-125-5XX

QFL-150-150-5XX

轴系 Axis

X

Y

Z

X

Y

Z

X

Y

Z

X

Y

Z

X

Y

Z

行程 Travel

mm

50

50

5

75

75

5

100

100

5

125

125

5

150

150

5

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

普通版 Standard

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

普通版 Standard

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.05

±0.05

±0.1

±0.1

普通版 Standard

±0.25

±1.5

±0.25

±1.5

±0.25

±1.5

±0.4

±1.5

±0.4

±1.5

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

普通版 Standard

±0.35

±0.35

±0.4

±0.5

±0.5

俯仰

Pitch

高精版 Plus

arc sec

±0.35

±3

±0.35

±3

±0.4

±3

±0.45

±3

±0.5

±3

普通版 Standard

±1

±7.5

±1

±7.5

±1

±7.5

±1.5

±7.5

±1.5

±7.5

翻滚、偏摆

Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.35

±1.5

±0.35

±1.5

±0.4

±1.5

±0.45

±1.5

±0.5

±1.5

普通版 Standard

±1

±5

±1

±5

±1

±5

±1.5

±5

±1.5

±5

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 或 5(选配)

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus

nm

≤ 10

≤ 1

≤ 10

≤ 1

≤ 10

≤ 1

≤ 10

≤ 1

≤ 10

≤ 1

普通版 Standard

≤ 50

≤ 20

≤ 50

≤ 20

≤ 50

≤ 20

≤ 50

≤ 20

≤ 50

≤ 20

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus

nm

≤10

≤ 1

≤10

≤ 1

≤10

≤ 1

≤10

≤ 1

≤10

≤ 1

普通版 Standard

≤ 50

≤ 20

≤ 50

≤ 20

≤ 50

≤ 20

≤ 50

≤ 20

≤ 50

≤ 20

速度稳定性*

Speed Stability

1mm/s

%

≤ 4

≤ 4

≤ 4

≤ 4

≤ 4

10mm/s

≤ 0.2

≤ 0.2

≤ 0.2

≤ 0.2

≤ 0.2

跟随误差

Following Error

高精版 Plus

nm

≤ 20 (10mm/s)

≤ 20 (10mm/s)

≤ 20 (10mm/s)

≤ 20 (10mm/s)

≤ 20 (10mm/s)

普通版 Standard

≤ 100 (10mm/s)

≤ 100 (10mm/s)

≤ 100 (10mm/s)

≤ 100 (10mm/s)

≤ 100 (10mm/s)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

100

50

100

50

200

50

200

50

200

50

最大负载 Max Load

kg

3

3

3

3

3

 

注:以上为单轴精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

*:速度稳定性为高精度版

实测数据
选型信息
型号 QFL -50-50-5XX -PLUS -N -1 -0  -C1 -3 -Y -Y
描述 开式气浮运动台 X轴行程50mm;Y轴行程50mm;Z轴行程5mm PLUS高精版 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 高柔排线 线缆长度3米 有大理石基座 有压力保护开关

 

名称 型号 描述
多轴气浮运动台 QFL 开式气浮运动台
行程 -50-50-5XX XY轴行程50mm x 50mm,Z轴行程5mm
-75-75-5XX XY轴行程75mm x 75mm,Z轴行程5mm
-100-100-5XX XY轴行程100mm x 100mm,Z轴行程5mm
-125-125-5XX XY轴行程125mm x 125mm,Z轴行程5mm
-150-150-5XX XY轴行程150mm x 150mm,Z轴行程5mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -0 零点在行程中心位置
线缆管理  -C1 高柔排线
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-10 定制
大理石基座 -Y 有大理石基座
-N 无大理石基座(标配)
压力保护开关 -Y 有压力保护开关(标配)
-N 无压力保护开关
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产品样本
QFL-XY-5XX系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
QFL-XY-5XX产品尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
报价/订购
QFL-50-50-5XX
XY轴为开式气浮,永磁预载结构,行程50mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.35μm;Z轴为楔形平升结构,行程5mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1.5μm
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QFL-50-50-5XX PLUS
XY轴为开式气浮,永磁预载结构,行程50mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm;Z轴为楔形平升结构,行程5mm,双向重复定位精度±0.05μm
添加至报价单
QFL-75-75-5XX
XY轴为开式气浮,永磁预载结构,行程75mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.35μm;Z轴为楔形平升结构,行程5mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1.5μm
添加至报价单
QFL-75-75-5XX PLUS
XY轴为开式气浮,永磁预载结构,行程75mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm;Z轴为楔形平升结构,行程5mm,双向重复定位精度±0.05μm 添加至报价单 询问定制设计 前往报价单
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QFL-100-100-5XX
XY轴为开式气浮,永磁预载结构,行程100mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.4μm;Z轴为楔形平升结构,行程5mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1.5μm
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QFL-100-100-5XX PLUS
XY轴为开式气浮,永磁预载结构,行程100mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm;Z轴为楔形平升结构,行程5mm,双向重复定位精度±0.05μm
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QFL-125-125-5XX
XY轴为开式气浮,永磁预载结构,行程125mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm;Z轴为楔形平升结构,行程5mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1.5μm
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QFL-125-125-5XX PLUS
XY轴为开式气浮,永磁预载结构,行程125mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.1μm,平面度±0.15μm;Z轴为楔形平升结构,行程5mm,双向重复定位精度±0.05μm
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QFL-150-150-5XX
XY轴为开式气浮,永磁预载结构,行程150mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm;Z轴为楔形平升结构,行程5mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1.5μm
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QFL-150-150-5XX PLUS
XY轴为开式气浮,永磁预载结构,行程100mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.1μm,平面度±0.15μm;Z轴为楔形平升结构,行程5mm,双向重复定位精度±0.05μm
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