|
型号 Model |
单位 Units |
QFL-25-25-5XX |
QFL-50-50-5XX |
QFL-75-75-5XX |
QFL-100-100-5XX |
QFL-125-125-5XX |
QFL-150-150-5XX |
|||||||||||||
|
轴系 Axis |
— |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
|
|
行程 Travel |
mm |
25 |
25 |
5 |
50 |
50 |
5 |
75 |
75 |
5 |
100 |
100 |
5 |
125 |
125 |
5 |
150 |
150 |
5 |
|
|
补偿后定位精度 Accuracy |
超精版 Ultra |
μm |
±0.02 |
— |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
||||||
|
高精版 Plus |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||||||||
|
普通版 Standard |
±0.1 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
||||||||
|
单向重复定位精度 Uni-Repeatability |
超精版 Ultra |
nm |
±5 |
— |
±7.5 |
— |
±7.5 |
— |
±7.5 |
— |
±7.5 |
— |
±7.5 |
— |
||||||
|
高精版 Plus |
±20 |
±30 |
±40 |
±30 |
±40 |
±30 |
±40 |
±30 |
±40 |
±30 |
±40 |
±30 |
||||||||
|
普通版 Standard |
±30 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
||||||||
|
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版 Ultra |
μm |
±0.01 |
— |
±0.01 |
— |
±0.01 |
— |
±0.01 |
— |
±0.01 |
— |
±0.01 |
— |
||||||
|
高精版 Plus |
±0.025 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
||||||||
|
普通版 Standard |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||||||||
|
直线度 (1) Straightness |
高精版 Plus |
μm |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
±0.1 |
— |
±0.1 |
— |
||||||
|
普通版 Standard |
±0.1 |
±1.5 |
±0.25 |
±1.5 |
±0.25 |
±1.5 |
±0.25 |
±1.5 |
±0.4 |
±1.5 |
±0.4 |
±1.5 |
||||||||
|
平面度 (1) Flatness |
高精版 Plus |
μm |
±0.05 |
— |
±0.1 |
— |
±0.1 |
— |
±0.1 |
— |
±0.15 |
— |
±0.15 |
— |
||||||
|
普通版 Standard |
±0.25 |
— |
±0.35 |
— |
±0.35 |
— |
±0.4 |
— |
±0.5 |
— |
±0.5 |
— |
||||||||
|
偏摆 (1) Yaw |
高精版 Plus |
arc sec |
±0.25 |
±3 |
±0.35 |
±3 |
±0.35 |
±3 |
±0.4 |
±3 |
±0.45 |
±3 |
±0.5 |
±3 |
||||||
|
普通版 Standard |
±0.5 |
±7.5 |
±1 |
±7.5 |
±1 |
±7.5 |
±1.5 |
±7.5 |
±1.5 |
±7.5 |
±1.5 |
±7.5 |
||||||||
|
俯仰、翻滚 (1) Pitch Roll |
高精版 Plus |
arc sec |
±0.25 |
±1.5 |
±0.35 |
±1.5 |
±0.35 |
±1.5 |
±0.4 |
±1.5 |
±0.45 |
±1.5 |
±0.5 |
±1.5 |
||||||
|
普通版 Standard |
±0.5 |
±5 |
±1 |
±5 |
±1 |
±5 |
±1 |
±5 |
±1.5 |
±5 |
±1.5 |
±5 |
||||||||
|
电子分辨率 Electronic Resolution (2) |
nm |
0.3 或 5（选配） |
0.3 或 5（选配） |
|||||||||||||||||
|
微动步距 Min Incremental Step |
高精版 Plus |
nm |
≤ 10 |
≤ 1 |
≤ 10 |
≤ 1 |
≤ 10 |
≤ 1 |
≤ 10 |
≤ 1 |
≤ 10 |
≤ 1 |
≤ 10 |
≤ 1 |
||||||
|
普通版 Standard |
≤ 50 |
≤ 20 |
≤ 50 |
≤ 20 |
≤ 50 |
≤ 20 |
≤ 50 |
≤ 20 |
≤ 50 |
≤ 20 |
≤ 50 |
≤ 20 |
||||||||
|
定位纹波 In Position Stability |
高精版 Plus |
nm |
≤10 |
≤ 1 |
≤10 |
≤ 1 |
≤10 |
≤ 1 |
≤10 |
≤ 1 |
≤10 |
≤ 1 |
≤10 |
≤ 1 |
||||||
|
普通版 Standard |
≤ 50 |
≤ 20 |
≤ 50 |
≤ 20 |
≤ 50 |
≤ 20 |
≤ 50 |
≤ 20 |
≤ 50 |
≤ 20 |
≤ 50 |
≤ 20 |
||||||||
|
速度稳定性 (3) Speed Stability |
1mm/s |
% |
≤ 4 |
— |
≤ 4 |
— |
≤ 4 |
— |
≤ 4 |
— |
≤ 4 |
— |
≤ 4 |
— |
||||||
|
10mm/s |
≤ 0.2 |
— |
≤ 0.2 |
— |
≤ 0.2 |
— |
≤ 0.2 |
— |
≤ 0.2 |
— |
≤ 0.2 |
— |
||||||||
|
跟随误差 Following Error |
高精版 Plus |
nm |
≤ 20 (10mm/s) |
— |
≤ 20 (10mm/s) |
— |
≤ 20 (10mm/s) |
— |
≤ 20 (10mm/s) |
— |
≤ 20 (10mm/s) |
— |
≤ 20 (10mm/s) |
— |
||||||
|
普通版 Standard |
≤ 100 (10mm/s) |
— |
≤ 100 (10mm/s) |
— |
≤ 100 (10mm/s) |
— |
≤ 100 (10mm/s) |
— |
≤ 100 (10mm/s) |
— |
≤ 100 (10mm/s) |
— |
||||||||
|
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (4) |
mm/s |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
200 |
50 |
200 |
50 |
200 |
50 |
|||||||
|
最大负载 Max Load |
kg |
3 |
3 |
3 |
3 |
3 |
3 |
|||||||||||||
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. 取决于平台安装表面的平面度。
2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
3. 速度稳定性为高精版。
4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
| 型号 | QFL | -50-50-5XX | -P | -N | -1 | -0 | -C1 | -3 | -Y |
| 描述 | 开式气浮运动台 | X轴行程50mm；Y轴行程50mm；Z轴行程5mm | 高精版 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | 高柔排线 | 线缆长度3米 | 有大理石基座 |
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 多轴气浮运动台 | QFL | 开式气浮运动台 |
| 行程 | -25-25-5XX | XY轴行程25mm x 25mm，Z轴行程5mm |
| -50-50-5XX | XY轴行程50mm x 50mm，Z轴行程5mm | |
| -75-75-5XX | XY轴行程75mm x 75mm，Z轴行程5mm | |
| -100-100-5XX | XY轴行程100mm x 100mm，Z轴行程5mm | |
| -125-125-5XX | XY轴行程125mm x 125mm，Z轴行程5mm | |
| -150-150-5XX | XY轴行程150mm x 150mm，Z轴行程5mm | |
| 精度等级 | -N | Standard普通版 |
| -P | Plus高精版 | |
| -U | Ultra超精版 | |
| 电子分辨率 | -N | 默认 |
| -0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
| -5 | 电子分辨率5nm | |
| 反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
| -T | 增量式光栅TTL反馈 | |
| -ABS | 绝对式光栅反馈 | |
| 零点位置 | -0 | 零点在行程中心位置 |
| 线缆管理 | -C1 | 高柔排线 |
| 线缆长度 | -3 | 长度3米（标配） |
| -5 | 长度5米 | |
| -10 | 定制 | |
| 大理石基座 | -Y | 有大理石基座 |
| -N | 无大理石基座（标配） |
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