| 轴系 | 测试项目 | 单位 | 指标要求 | 实测指标 |
| X轴 | 行程 | mm | 750 | 750 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±1.5 | ±0.6 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.45 | |
| 直线度 | μm | ±4.5 | ±0.55 | |
| 平面度 | μm | ±4.5 | ±1.75 | |
| 工作速度 | mm/s | 300 | 300 | |
| Y轴 | 行程 | mm | 800 | 800 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±2.5 | ±0.5 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.1 | |
| 直线度 | μm | ±6 | ±2.6 | |
| 平面度 | μm | ±6 | ±1.3 | |
| 工作速度 | mm/s | 300 | 300 | |
| 负载 | X | kg | 15 | 15 |
| Y | kg | 60 | 60 | |
| 正交性 | X-Y | arc sec | ±2 | ±1.5 |
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