型号 Model |
单位 Units |
QFU-KB-50 |
QFU-KB-100 |
QFU-KB-150 |
QFU-KB-200 |
QFU-KB-250 |
QFU-KB-300 |
QFU-KB-350 |
QFU-KB-400 |
QFU-KB-450 |
|
行程 Travel |
mm |
50 |
100 |
150 |
200 |
250 |
300 |
350 |
400 |
450 |
|
补偿后定位精度 Accuracy |
超精版 Ultra |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
高精版 Plus |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
||
普通版 Standard |
±0.2 |
±0.2 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.4 |
±0.4 |
±0.4 |
||
单向重复定位精度 Uni-Repeatability |
超精版 Ultra |
nm |
±7.5 |
±7.5 |
±10 |
±10 |
±15 |
±15 |
±20 |
±20 |
±20 |
高精版 Plus |
±30 |
±30 |
±50 |
±50 |
±50 |
±50 |
±50 |
±50 |
±50 |
||
普通版 Standard |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
||
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版 Ultra |
μm |
±0.01 |
±0.01 |
±0.015 |
±0.015 |
±0.02 |
±0.02 |
±0.025 |
±0.025 |
±0.025 |
高精版 Plus |
±0.05 |
±0.05 |
±0.075 |
±0.075 |
±0.075 |
±0.075 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||
普通版 Standard |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.15 |
||
直线度 (1) Straightness |
高精版 Plus |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.4 |
±0.4 |
±0.4 |
普通版 Standard |
±0.25 |
±0.25 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.75 |
±0.75 |
±1 |
||
平面度 (1) Flatness |
高精版 Plus |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.4 |
±0.4 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
普通版 Standard |
±0.35 |
±0.4 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.75 |
±0.75 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
||
俯仰、翻滚、偏摆 (1) Pitch Roll Yaw |
高精版 Plus |
arc sec |
±0.35 |
±0.4 |
±0.75 |
±0.75 |
±0.75 |
±0.75 |
±1 |
±1 |
±1 |
普通版 Standard |
±1 |
±1 |
±1.5 |
±1.5 |
±1.5 |
±1.5 |
±2 |
±2 |
±2.5 |
||
电子分辨率 Electronic Resolution (2) |
nm |
≤ 1, ≤ 5(选配) |
|||||||||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3) |
m/s |
0.1 |
0.3 |
1 |
|||||||
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3) |
m/s² |
5, (10, 20 定制) |
|||||||||
最大负载 Max Load |
kg |
20 |
|||||||||
供气压力 Operating Pressure (4) |
MPa |
0.5±0.05 |
型号 Model |
单位 Units |
QFU-KB-500 |
QFU-KB-600 |
QFU-KB-700 |
QFU-KB-800 |
QFU-KB-900 |
QFU-KB-1000 |
QFU-KB-1200 |
QFU-KB-1500 |
QFU-KB-2000 |
|
行程 Travel |
mm |
500 |
600 |
700 |
800 |
900 |
1000 |
1200 |
1500 |
2000 |
|
补偿后定位精度 Accuracy |
超精版 Ultra |
μm |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.3 |
±0.5 |
±0.5 |
高精版 Plus |
±0.2 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.75 |
±0.75 |
±1 |
||
普通版 Standard |
±0.4 |
±0.5 |
±0.5 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1.25 |
±1.5 |
±1.5 |
||
单向重复定位精度 Uni-Repeatability |
超精版 Ultra |
nm |
±20 |
±20 |
±20 |
±25 |
±25 |
±30 |
±30 |
±35 |
±35 |
高精版 Plus |
±50 |
±75 |
±75 |
±100 |
±100 |
±150 |
±150 |
±175 |
±175 |
||
普通版 Standard |
±75 |
±100 |
±100 |
±150 |
±150 |
±200 |
±200 |
±250 |
±250 |
||
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版 Ultra |
μm |
±0.025 |
±0.03 |
±0.03 |
±0.04 |
±0.04 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.075 |
±0.1 |
高精版 Plus |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.25 |
±0.25 |
||
普通版 Standard |
±0.15 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.4 |
±0.4 |
±0.5 |
±0.75 |
||
直线度 (1) Straightness |
高精版 Plus |
μm |
±0.4 |
±0.45 |
±0.45 |
±0.45 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.75 |
±1 |
±1 |
普通版 Standard |
±1 |
±1 |
±1.25 |
±1.25 |
±1.5 |
±1.5 |
±1.5 |
±2 |
±3 |
||
平面度 (1) Flatness |
高精版 Plus |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.6 |
±0.7 |
±1 |
±1 |
±1.25 |
±1.5 |
±2 |
普通版 Standard |
±1.5 |
±1.5 |
±1.75 |
±1.75 |
±2 |
±2 |
±2.5 |
±3 |
±4 |
||
俯仰、翻滚、偏摆 (1) Pitch Roll Yaw |
高精版 Plus |
arc sec |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
±2 |
±2.5 |
±3 |
±4 |
普通版 Standard |
±2.5 |
±3 |
±3 |
±4 |
±4.5 |
±5 |
±6 |
±7 |
±8 |
||
电子分辨率 Electronic Resolution (2) |
nm |
≤ 1, ≤ 5(选配) |
|||||||||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3) |
m/s |
1 |
|||||||||
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3) |
m/s² |
5, (10, 20 定制) |
|||||||||
最大负载 Max Load |
kg |
20 |
|||||||||
供气压力 Operating Pressure (4) |
MPa |
0.5±0.05 |
特殊项目 Special Items (5) | 单位 Units | 数值 Data |
微动步距 Min Incremental Step | nm | 默认, ≤ 5, ≤ 50, ≤ 1(SiC版定制) |
定位纹波 In Position Stability | nm | 默认, ≤ 5, ≤ 50 |
速度稳定性 Speed Stability | % | 默认, ≤ 4%@1mm/s, ≤ 0.2%@10mm/s |
跟随误差 Following Error | nm | 默认, ≤ 20nm@10mm/s, ≤ 100nm@10mm/s |
注:
以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±0.5℃(重复定位精度优于±50nm,测量时温度20℃±0.01℃),湿度40%~60%RH,振动等级VC-F,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。
1. 取决于平台安装表面的平面度。
2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
3. 空载条件下指标,最大速度和加速度取决于负载大小。
4. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的(过滤至0.25μm或更佳,ISO8573-1),无水(压力露点-20℃,ISO8573-1级别3)及无油(ISO8573-1级别1)。
5. 无特殊项目要求,出厂默认为准。
型号 | QFU-KB | -300 | -P | -A | -N | -1 | -0 | -DB | -3 | -Y |
描述 | 宽体闭式气浮运动台 | 行程300mm | 高精版 | 铝合金气浮导轨 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | DB接头,无线缆管理 | 线缆长度3米 | 有大理石基座 |
名称 |
型号 |
描述 |
单轴气浮运动台 |
QFU-KB |
宽体闭式气浮运动台 |
行程 |
-50 |
行程50mm |
-100 |
行程100mm |
|
-150 |
行程150mm |
|
-200 |
行程200mm |
|
-250 |
行程250mm |
|
-300 |
行程300mm |
|
-350 |
行程350mm |
|
-400 |
行程400mm |
|
-450 |
行程450mm |
|
-500 |
行程500mm |
|
-600 |
行程600mm |
|
-700 |
行程700mm |
|
-800 |
行程800mm |
|
-900 |
行程900mm |
|
-1000 |
行程1000mm |
|
-1200 |
行程1200mm |
|
-1500 |
行程1500mm |
|
-2000 |
行程2000mm |
|
精度等级 |
-N |
Standard普通版 |
-P |
Plus高精版 |
|
-U |
Ultra超精版 |
|
气浮导轨类型 |
-A |
铝合金材质气浮导轨 |
-M |
大理石材质气浮导轨 |
|
-C |
陶瓷材质气浮导轨 |
|
-S |
碳化硅材质气浮导轨 |
|
电子分辨率 |
-N |
默认 |
-1 |
电子分辨率 ≤1nm |
|
-5 |
电子分辨率 ≤5nm |
|
反馈方式 |
-1 |
增量式光栅1Vpp反馈 |
-T |
增量式光栅TTL反馈 |
|
-ABS |
绝对式光栅反馈 |
|
零点位置 |
-L |
零点在行程左极限位置 |
-0 |
零点在行程中心位置(标配) |
|
-R |
零点在行程右极限位置 |
|
线缆管理 |
-DB |
DB接头,无线缆管理(标配) |
-C2 |
带屏蔽的高柔排线 |
|
线缆长度 |
-3 |
长度3米(标配) |
-5 |
长度5米 |
|
-DZ |
定制 |
|
大理石基座 |
-Y |
有大理石基座 |
-N |
无大理石基座(标配) |