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QFU-KB系列气浮运动台
非接触闭式气浮结构
三气浮导轨结构
宽体结构设计
行程50~2000mm可选
高柔线缆管理
可定制化设计
QFU-KB系列气浮运动台
QFU-KB系列气浮运动台
QFU-KB系列气浮运动台
产品描述
规格参数
实测数据
选型信息
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应用领域
QFU-KB系列是一款大行程气浮运动台,三气浮导轨,宽体结构设计,闭式气浮结构,常规最大行程2m,直线度优于±1μm,用于精密加工、测试测量、扫描、半导体及光子学等行业。
结构特点
QFU-KB系列为三气浮导轨结构,与QFU系列组成十字叠层结构,防止QFU出现悬空下塌,改善叠层后QFU的精度性能。闭式气浮结构,气浮导轨四面均匀受力,相较于开式气浮结构,侧向气浮刚度更大,承载能力更强,模态更高,系统带宽更大,相位裕度和幅值裕度余量更大,对于大体积、大负载及偏心安装等负载形式,更能突显其性能优势。
精度性能
气浮导轨基于气体静压效应,实现无摩擦和无振动地平滑移动,与摩擦式导轨相比,气浮运动台的直线度、平面度可达亚微米,Pitch Yaw指标±4arc sec内,由于非接触式,系统跟随误差有了质地提升,定位精度和重复精度得到了显著提高,行程50~2000mm可选。
线缆管理
使用高质量、高柔性的屏蔽线缆,管线弯曲半径更小,能够防止电子信号的干扰,同时防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮运动台的性能。
定制化
可定制陶瓷材质气浮导轨,2m行程直线度可优于±1μm,更大行程也可接受定制。
规格参数

型号 Model

单位 Units

QFU-KB-50

QFU-KB-100

QFU-KB-150

QFU-KB-200

QFU-KB-250

QFU-KB-300

QFU-KB-350

QFU-KB-400

QFU-KB-450

行程 Travel

mm

50

100

150

200

250

300

350

400

450

补偿后定位精度

Accuracy

超精版 Ultra

μm

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

高精版 Plus

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.15

±0.15

±0.2

±0.2

±0.2

普通版 Standard

±0.2

±0.2

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.4

±0.4

±0.4

单向重复定位精度

Uni-Repeatability

超精版 Ultra

nm

±7.5

±7.5

±10

±10

±15

±15

±20

±20

±20

高精版 Plus

±30

±30

±50

±50

±50

±50

±50

±50

±50

普通版 Standard

±75

±75

±75

±75

±75

±75

±75

±75

±75

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

超精版 Ultra

μm

±0.01

±0.01

±0.015

±0.015

±0.02

±0.02

±0.025

±0.025

±0.025

高精版 Plus

±0.05

±0.05

±0.075

±0.075

±0.075

±0.075

±0.1

±0.1

±0.1

普通版 Standard

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.15

直线度 (1)

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.05

±0.2

±0.2

±0.25

±0.25

±0.4

±0.4

±0.4

普通版 Standard

±0.25

±0.25

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.75

±0.75

±1

平面度 (1)

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.2

±0.2

±0.4

±0.4

±0.5

±0.5

±0.5

普通版 Standard

±0.35

±0.4

±0.5

±0.5

±0.75

±0.75

±1

±1

±1.5

俯仰、翻滚、偏摆 (1)

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.35

±0.4

±0.75

±0.75

±0.75

±0.75

±1

±1

±1

普通版 Standard

±1

±1

±1.5

±1.5

±1.5

±1.5

±2

±2

±2.5

电子分辨率 Electronic Resolution (2)

nm

≤ 1, ≤ 5(选配)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3)

m/s

0.1

0.3

1

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3)

m/s²

5, (10, 20 定制)

最大负载 Max Load

kg

20

供气压力 Operating Pressure (4)

MPa

0.5±0.05

 

型号 Model

单位 Units

QFU-KB-500

QFU-KB-600

QFU-KB-700

QFU-KB-800

QFU-KB-900

QFU-KB-1000

QFU-KB-1200

QFU-KB-1500

QFU-KB-2000

行程 Travel

mm

500

600

700

800

900

1000

1200

1500

2000

补偿后定位精度

Accuracy

超精版 Ultra

μm

±0.1

±0.15

±0.15

±0.25

±0.25

±0.25

±0.3

±0.5

±0.5

高精版 Plus

±0.2

±0.3

±0.3

±0.5

±0.5

±0.5

±0.75

±0.75

±1

普通版 Standard

±0.4

±0.5

±0.5

±1

±1

±1

±1.25

±1.5

±1.5

单向重复定位精度

Uni-Repeatability

超精版 Ultra

nm

±20

±20

±20

±25

±25

±30

±30

±35

±35

高精版 Plus

±50

±75

±75

±100

±100

±150

±150

±175

±175

普通版 Standard

±75

±100

±100

±150

±150

±200

±200

±250

±250

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

超精版 Ultra

μm

±0.025

±0.03

±0.03

±0.04

±0.04

±0.05

±0.05

±0.075

±0.1

高精版 Plus

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.2

±0.2

±0.25

±0.25

普通版 Standard

±0.15

±0.2

±0.2

±0.3

±0.3

±0.4

±0.4

±0.5

±0.75

直线度 (1)

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.4

±0.45

±0.45

±0.45

±0.5

±0.5

±0.75

±1

±1

普通版 Standard

±1

±1

±1.25

±1.25

±1.5

±1.5

±1.5

±2

±3

平面度 (1)

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.5

±0.5

±0.6

±0.7

±1

±1

±1.25

±1.5

±2

普通版 Standard

±1.5

±1.5

±1.75

±1.75

±2

±2

±2.5

±3

±4

俯仰、翻滚、偏摆 (1)

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±1

±1

±1

±1

±1.5

±2

±2.5

±3

±4

普通版 Standard

±2.5

±3

±3

±4

±4.5

±5

±6

±7

±8

电子分辨率 Electronic Resolution (2)

nm

≤ 1, ≤ 5(选配)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3)

m/s

1

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3)

m/s²

5, (10, 20 定制)

最大负载 Max Load

kg

20

供气压力 Operating Pressure (4)

MPa

0.5±0.05

 

特殊项目 Special Items (5) 单位 Units 数值 Data
微动步距 Min Incremental Step nm 默认, ≤ 5, ≤ 50, ≤ 1(SiC版定制)
定位纹波 In Position Stability nm 默认, ≤ 5, ≤ 50
速度稳定性 Speed Stability % 默认, ≤ 4%@1mm/s, ≤ 0.2%@10mm/s
跟随误差 Following Error nm 默认, ≤ 20nm@10mm/s, ≤ 100nm@10mm/s

注:

以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±0.5℃(重复定位精度优于±50nm,测量时温度20℃±0.01℃),湿度40%~60%RH,振动等级VC-F,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下指标,最大速度和加速度取决于负载大小。

4. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的(过滤至0.25μm或更佳,ISO8573-1),无水(压力露点-20℃,ISO8573-1级别3)及无油(ISO8573-1级别1)。

5. 无特殊项目要求,出厂默认为准。

实测数据
选型信息
型号 QFU-KB -300 -P -A -N -1 -0 -DB -3 -Y
描述 宽体闭式气浮运动台 行程300mm  高精版 铝合金气浮导轨 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 DB接头,无线缆管理 线缆长度3米 有大理石基座
 

名称

型号

描述

单轴气浮运动台

QFU-KB

宽体闭式气浮运动台

行程

-50

行程50mm

-100

行程100mm

-150

行程150mm

-200

行程200mm

-250

行程250mm

-300

行程300mm

-350

行程350mm

-400

行程400mm

-450

行程450mm

-500

行程500mm

-600

行程600mm

-700

行程700mm

-800

行程800mm

-900

行程900mm

-1000

行程1000mm

-1200

行程1200mm

-1500

行程1500mm

-2000

行程2000mm

精度等级

-N

Standard普通版

-P

Plus高精版

-U

Ultra超精版

气浮导轨类型

-A

铝合金材质气浮导轨

-M

大理石材质气浮导轨

-C

陶瓷材质气浮导轨

-S

碳化硅材质气浮导轨

电子分辨率

-N

默认

-1

电子分辨率 ≤1nm

-5

电子分辨率 ≤5nm

反馈方式

-1

增量式光栅1Vpp反馈

-T

增量式光栅TTL反馈

-ABS

绝对式光栅反馈

零点位置

-L

零点在行程左极限位置

-0

零点在行程中心位置(标配)

-R

零点在行程右极限位置

线缆管理

-DB

DB接头,无线缆管理(标配) 

-C2

带屏蔽的高柔排线

线缆长度

-3

长度3米(标配)

-5

长度5米

-DZ

定制

大理石基座

-Y

有大理石基座

-N

无大理石基座(标配)

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产品样本
QFU-KB系列产品样本
2023-09-08
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CAD图纸
3D模型
报价/订购
QFU-KB-50
行程50mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.35μm
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QFU-KB-50 PLUS
行程50mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
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QFU-KB-50 Ultra
行程50mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.01μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
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QFU-KB-100
行程100mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.4μm
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QFU-KB-100 PLUS
行程100mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
添加至报价单
QFU-KB-100 Ultra
行程100mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.01μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
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QFU-KB-150
行程150mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm
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QFU-KB-150 PLUS
行程150mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm
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QFU-KB-150 Ultra
行程150mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.015μm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm
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QFU-KB-200
行程200mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
QFU-KB-200 PLUS
行程200mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm
添加至报价单
QFU-KB-200 Ultra
行程200mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.015μm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm
添加至报价单
QFU-KB-250
行程250mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm
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QFU-KB-250 PLUS
行程250mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.4μm
添加至报价单
QFU-KB-250 Ultra
行程250mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.02μm,直线度±0.25μm,平面度±0.4μm
添加至报价单
QFU-KB-300
行程300mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm
添加至报价单
QFU-KB-300 PLUS
行程300mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.25μm,平面度±0.4μm
添加至报价单
QFU-KB-300 Ultra
行程300mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.02μm,直线度±0.25μm,平面度±0.4μm
添加至报价单
QFU-KB-350
行程350mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.75μm,平面度±1μm
添加至报价单
QFU-KB-350 PLUS
行程350mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
QFU-KB-350 Ultra
行程350mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
QFU-KB-400
行程400mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.75μm,平面度±1μm
添加至报价单
QFU-KB-400 PLUS
行程400mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
QFU-KB-400 Ultra
行程400mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
QFU-KB-450
行程450mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1μm,平面度±1.5μm
添加至报价单
QFU-KB-450 PLUS
行程450mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
QFU-KB-450 Ultra
行程450mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
QFU-KB-500
行程500mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1μm,平面度±1.5μm
添加至报价单
QFU-KB-500 PLUS
行程500mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
QFU-KB-500 Ultra
行程500mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
QFU-KB-600
行程600mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.2μm,直线度±1μm,平面度±1.5μm
添加至报价单
QFU-KB-600 PLUS
行程600mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.45μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
QFU-KB-600 Ultra
行程600mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.03μm,直线度±0.45μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
QFU-KB-700
行程700mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.2μm,直线度±1.25μm,平面度±1.75μm
添加至报价单
QFU-KB-700 PLUS
行程700mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.45μm,平面度±0.6μm
添加至报价单
QFU-KB-700 Ultra
行程700mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.03μm,直线度±0.45μm,平面度±0.6μm
添加至报价单
QFU-KB-800
行程800mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1.25μm,平面度±1.75μm
添加至报价单
QFU-KB-800 PLUS
行程800mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.2μm,直线度±0.45μm,平面度±0.7μm
添加至报价单
QFU-KB-800 Ultra
行程800mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.04μm,直线度±0.45μm,平面度±0.7μm
添加至报价单
QFU-KB-900
行程900mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1.5μm,平面度±2μm
添加至报价单
QFU-KB-900 PLUS
行程900mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.2μm,直线度±0.5μm,平面度±1μm
添加至报价单
QFU-KB-900 Ultra
行程900mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.04μm,直线度±0.5μm,平面度±1μm
添加至报价单
QFU-KB-1000
行程1000mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1.5μm,平面度±2μm
添加至报价单
QFU-KB-1000 PLUS
行程1000mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.2μm,直线度±0.5μm,平面度±1μm
添加至报价单
QFU-KB-1000 Ultra
行程1000mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.5μm,平面度±1μm
添加至报价单
QFU-KB-1200
行程1200mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.4μm,直线度±1.5μm,平面度±2.5μm
添加至报价单
QFU-KB-1200 PLUS
行程1200mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.2μm,直线度±0.75μm,平面度±1.25μm
添加至报价单
QFU-KB-1200 Ultra
行程1200mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.75μm,平面度±1.25μm
添加至报价单
QFU-KB-1500
行程1500mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±2μm,平面度±3μm
添加至报价单
QFU-KB-1500 PLUS
行程1500mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.25μm,直线度±1μm,平面度±1.5μm
添加至报价单
QFU-KB-1500 Ultra
行程1500mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±1μm,平面度±1.5μm
添加至报价单
QFU-KB-2000
行程2000mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.75μm,直线度±3μm,平面度±4μm
添加至报价单
QFU-KB-2000 PLUS
行程2000mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.25μm,直线度±1μm,平面度±2μm
添加至报价单
QFU-KB-2000 Ultra
行程2000mm,三气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±2μm
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