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RBLM系列精密运动台
高精度的直驱结构
结构高刚度设计
光栅尺闭环反馈
多种行程供选择
定制高加速度
可定制真空版本
RBLM系列精密运动台
RBLM系列精密运动台
RBLM系列精密运动台
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规格参数
实测数据
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应用领域
RBLM系列是一款直驱线轨精密运动台,其具有高刚性,大负载,高精度等优越的性能,多种行程可选择,用于激光加工、测试测量、高精度扫描及自动化装配等领域。
结构特点
采用无铁芯直线电机,非常适合要求高精度的需求,直线电机具有高动态性能、零齿槽效应和电子噪声小等特点。配置自润滑的精密滚柱导轨,承重大、精度高、刚性好等,使RBLM系列精密运动台成为工业应用的理想选择,如激光加工应用方案。
精度性能
采用直线光栅尺闭环反馈,考虑材料热膨胀的影响,对结构设计、加工及装配工艺等严格把控,行程可达2米,双向重复定位精度≤±0.75μm。
防尘管理
RBLM系列精密运动台的防尘设计,防止碎片、灰尘和颗粒等异物进入运动台,影响使用寿命,同时不受防尘罩扰动力的影响。
定制化
可定制用于真空环境下的版本,真空度10^-7Torr。根据应用可配置大理石基座、隔振器、支撑钢架等整套运动控制方案。高速度和高加速度也可以定制。
规格参数
型号 Model 单位 Units RBLM-100 RBLM-200 RBLM-300 RBLM-400 RBLM-500 RBLM-600 RBLM-700 RBLM-800 RBLM-1000 RBLM-1200 RBLM-1500 RBLM-2000
行程 Travel mm 100 200 300 400 500 600 700 800 1000 1200 1500 2000
补偿后定位精度
Accuracy
高精版 Plus μm ±0.5 ±0.5 ±0.5 ±0.75 ±0.75 ±0.75 ±1 ±1 ±1 ±1.5 ±1.5 ±1.5
普通版 Standard ±1 ±1 ±1 ±1 ±1 ±1 ±1.5 ±1.5 ±1.5 ±2 ±2 ±2
双向重复定位精度
Bi-Dir Repeatability
高精版 Plus μm ±0.3 ±0.3 ±0.3 ±0.4 ±0.4 ±0.4 ±0.5 ±0.5 ±0.5 ±0.5 ±0.5 ±0.75
普通版 Standard ±0.5 ±0.5 ±0.5 ±0.5 ±0.5 ±0.5 ±0.75 ±0.75 ±0.75 ±1 ±1 ±1
直线度
Straightness
高精版 Plus μm ±0.75 ±1 ±1.25 ±1.75 ±1.75 ±2.25 ±2.25 ±2.25 ±2.75 ±5 ±7 ±9
普通版 Standard ±1.5 ±2.5 ±3.5 ±4.5 ±5.5 ±6.5 ±7 ±8 ±9.5 ±10 ±12 ±15
平面度
Flatness
高精版 Plus μm ±0.75 ±1.25 ±1.5 ±1.5 ±2 ±2.5 ±2.5 ±2.5 ±3.5 ±5 ±7 ±9
普通版 Standard ±1.5 ±2.5 ±3.5 ±4.5 ±5.5 ±6.5 ±7 ±8 ±9.5 ±10 ±12 ±15
俯仰、翻滚、偏摆
Pitch Roll Yaw
高精版 Plus arc sec ±1.5 ±2 ±2.5 ±3 ±3.5 ±4 ±4.5 ±4.5 ±5 ±6 ±7 ±8
普通版 Standard ±3 ±4 ±5 ±6 ±7 ±8 ±8.5 ±9 ±10 ±12 ±14 ±16
电子分辨率 Electronic Resolution nm 0.3 或 5(选配)
微动步距
Min Incremental Step
高精版 Plus nm 1
普通版 Standard 50
定位纹波
In Position Stability
高精版 Plus nm 1
普通版 Standard 50
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) m/s 1
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) m/s² 5,(20, 30, 40 定制)
最大负载 Max Load kg 30

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息
型号 RBLM -100 -PLUS -M -N -1 -0 -C3 -3 -N -N
描述 单轴精密运动台 行程100mm  PLUS高精版 大理石材质机体 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 坦克拖链 线缆长度3米 常压环境 无大理石基座

 

名称 型号 描述
单轴精密运动台 RBLM 单轴精密运动台
行程 -100 行程100mm 
-200 行程200mm
-300 行程300mm
-400 行程400mm
-500 行程500mm
-600 行程600mm
-700 行程700mm
-800 行程800mm
-900 行程900mm
-1000 行程1000mm
-1200 行程1200mm
-1500 行程1500mm
-2000 行程2000mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
机体类型 (1) -A 铝合金材质机体
-M 大理石材质机体
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -L 零点在行程左极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-R 零点在行程右极限位置
线缆管理  -C2 无尘拖链
 -C3 坦克拖链(标配)
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
气压环境 (2) -N 常压环境(标配)
-VC 真空环境
大理石基座 -Y 有大理石基座
-N 无大理石基座(标配)

 

注:1. 选用大理石材质机体(-MA)项,不需再选大理石基座(-Y)。
       2. 选真空环境下(-VC)使用,禁止选大理石材质机体(-MA)项。

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产品样本
RBLM系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
RBLM系列产品尺寸图
2023-08-18
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3D模型
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RBLM-100
行程100mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
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RBLM-100 PLUS
行程100mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm
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RBLM-200
行程200mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±2.5μm,平面度±2.5μm
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RBLM-200 PLUS
行程200mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1μm,平面度±1.25μm
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RBLM-300
行程300mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±3.5μm,平面度±3.5μm
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RBLM-300 PLUS
行程300mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1.25μm,平面度±1.5μm
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RBLM-400
行程400mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±4.5μm,平面度±4.5μm
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RBLM-400 PLUS
行程400mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.4μm,直线度±1.75μm,平面度±1.5μm
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RBLM-500
行程500mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±5.5μm,平面度±5.5μm
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RBLM-500 PLUS
行程500mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.4μm,直线度±1.75μm,平面度±2μm
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RBLM-600
行程600mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±6.5μm,平面度±6.5μm
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RBLM-600 PLUS
行程600mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.4μm,直线度±2.25μm,平面度±2.5μm
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RBLM-700
行程700mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.75μm,直线度±7μm,平面度±7μm
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RBLM-700 PLUS
行程700mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±2.25μm,平面度±2.5μm
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RBLM-800
行程800mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.75μm,直线度±8μm,平面度±8μm
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RBLM-800 PLUS
行程800mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±2.25μm,平面度±2.5μm
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RBLM-1000
行程1000mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.75μm,直线度±9.5μm,平面度±9.5μm
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RBLM-1000 PLUS
行程1000mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±2.75μm,平面度±3.5μm
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RBLM-1200
行程1200mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±1μm,直线度±10μm,平面度±10μm
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RBLM-1200 PLUS
行程1200mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±5μm,平面度±5μm
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RBLM-1500
行程1500mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±1μm,直线度±12μm,平面度±12μm
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RBLM-1500 PLUS
行程1500mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±7μm,平面度±7μm
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RBLM-2000
行程2000mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±1μm,直线度±15μm,平面度±15μm
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RBLM-2000 PLUS
行程2000mm,配置自润滑的精密滚柱导轨,双向重复定位精度±0.75μm,直线度±9μm,平面度±9μm
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