精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBLBAC系列是一款百纳米级精度的双轴精密运动台，具有纳米级微动步距，百纳米级定位精度，高动态性能，结构紧凑，用于晶圆加工及检测、激光微加工、测试测量及光学检测等领域。

结构特点

每轴采用双直线电机驱动，推力大，高动态性能，在低速运行时保持平稳，在高速状态不会产生振动。抗蠕动交叉滚柱直线导轨导向，线线接触，运动平稳，交叉排列，多方向受力稳定。平面式叠层式结构紧凑，降低XY轴高度，提升整体精度性能。

精度性能

双轴精密运动台的定位精度±0.3μm，高重复定位精度±75nm，直线度±0.75μm，是高精度场所的理想选择。

精密控制

配合高性能的控制和驱动器，可提供优异的伺服性能、先进的控制算法，从而提高动态性能，控制器有误差补偿功能。

定制化设计

定制断电抱闸功能，抱闸后位置相比抱闸前位置漂移误差10nm内；定制用于真空环境下的版本，真空度到10^-7Torr；定制最大加速度；可配置大理石基座、支撑钢架、隔振器等整套运动控制方案。

规格参数

型号 Model		单位 Units	RBLBAC-50XY	RBLBAC-100XY	RBLBAC-150XY	RBLBAC-210XY	RBLBAC-250XY	RBLBAC-310XY
行程 Travel		mm	50 x 50	100 x 100	150 x 150	210 x 210	250 x 250	310 x 310
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.05	±0.05	±0.05	±0.1	±0.1	±0.1
	高精版 Plus		±0.1	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15	±0.3
	普通版 Standard		±0.4	±0.4	±0.4	±0.5	±0.5	±0.75
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±7.5	±7.5	±7.5	±10	±15	±15
	高精版 Plus		±20	±40	±40	±50	±50	±50
	普通版 Standard		±30	±75	±75	±75	±75	±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.01	±0.01	±0.01	±0.015	±0.02	±0.02
	高精版 Plus		±0.05	±0.05	±0.075	±0.075	±0.075	±0.075
	普通版 Standard		±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.4	±0.4	±0.5	±0.5	±0.5	±0.75
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±1	±1	±1	±1.5	±1.5	±2
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.75	±0.75	±0.75	±1	±1	±1.5
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±1	±1	±1	±1.5	±1.5	±2
俯仰、翻滚⁽¹⁾ Pitch Roll	高精版 Plus	arc sec	±3	±3	±3	±4	±4	±5
俯仰、翻滚⁽¹⁾ Pitch Roll	普通版 Standard	arc sec	±6	±6	±6	±7.5	±7.5	±9
偏摆⁽¹⁾ Yaw	高精版 Plus	arc sec	±1.5	±1.5	±1.5	±2	±2	±2.5
偏摆⁽¹⁾ Yaw	普通版 Standard	arc sec	±3	±3	±3	±4	±4	±5
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	0.3 或 5（选配）
微动步距 Min Incremental Step	高精版 Plus	nm	≤ 5		≤ 10	≤ 10	≤ 15
微动步距 Min Incremental Step	普通版 Standard	nm	≤ 50		≤ 100	≤ 100	≤ 100
定位纹波 In Position Stability	高精版 Plus	nm	≤ 5		≤ 10	≤ 10	≤ 15
定位纹波 In Position Stability	普通版 Standard	nm	≤ 50		≤ 100	≤ 100	≤ 100
最大速度 (空载) Max Speed (No Load)⁽³⁾		mm/s	100	300
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾		m/s²	2,（5, 10 定制）
最大负载 Max Load		kg	20			40		50

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

实测数据

RBLBAC-100XY 定位精度和重复定位精度实测报告.pdf

RBLBAC-300XY 定位精度和重复定位精度实测报告.pdf

选型信息

型号	RBLBAC	-100XY	-P	-N	-1	-C2	-3	-N
描述	双轴精密运动台	X轴行程100mm；Y轴行程100mm	高精版	默认	增量式光栅1Vpp反馈	无尘拖链	线缆长度3米	常压环境

名称	型号	描述
多轴线轨运动台	RBLBAC	双轴精密运动台
行程	-50XY	X轴行程50mm；Y轴行程50mm
	-100XY	X轴行程100mm；Y轴行程100mm
	-150XY	X轴行程150mm；Y轴行程150mm
	-210XY	X轴行程210mm；Y轴行程210mm
	-250XY	X轴行程250mm；Y轴行程250mm
	-310XY	X轴行程310mm；Y轴行程310mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
电子分辨率	-N	默认
	-0.3	电子分辨率0.3nm
	-5	电子分辨率5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
线缆管理	-C2	无尘拖链
线缆管理	-C4	真空线缆
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
气压环境	-N	常压环境（标配）
气压环境	-VC	真空环境