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RBLBAC-XY系列双轴精密运动台
非接触式直驱结构
面式十字叠层结构
抗蠕动交叉滚柱导轨
高动态性能,高精度
百纳米级定位精度
结构可接受定制
RBLBAC-XY系列双轴精密运动台
RBLBAC-XY系列双轴精密运动台
RBLBAC-XY系列双轴精密运动台
产品描述
规格参数
实测数据
选型信息
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应用领域
RBLBAC系列是一款百纳米级精度的双轴精密运动台,具有纳米级微动步距,百纳米级定位精度,高动态性能,结构紧凑,用于晶圆加工及检测、激光微加工、测试测量及光学检测等领域。
结构特点
每轴采用双直线电机驱动,推力大,高动态性能,在低速运行时保持平稳,在高速状态不会产生振动。抗蠕动交叉滚柱直线导轨导向,线线接触,运动平稳,交叉排列,多方向受力稳定。平面式叠层式结构紧凑,降低XY轴高度,提升整体精度性能。
精度性能
双轴精密运动台的定位精度±0.3μm,高重复定位精度±75nm,直线度±0.75μm,是高精度场所的理想选择。
精密控制
配合高性能的控制和驱动器,可提供优异的伺服性能、先进的控制算法,从而提高动态性能,控制器有误差补偿功能。
定制化设计
定制断电抱闸功能,抱闸后位置相比抱闸前位置漂移误差10nm内;定制用于真空环境下的版本,真空度到10^-7Torr;定制最大加速度;可配置大理石基座、支撑钢架、隔振器等整套运动控制方案。
规格参数

型号 Model

单位 Units

RBLBAC-50XY

RBLBAC-100XY

RBLBAC-150XY

RBLBAC-210XY

RBLBAC-250XY

RBLBAC-310XY

行程 Travel

mm

50 x 50

100 x 100

150 x 150

210 x 210

250 x 250

310 x 310

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.3

普通版 Standard

±0.4

±0.4

±0.4

±0.5

±0.5

±0.75

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.05

±0.075

±0.075

±0.075

±0.075

普通版 Standard

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.4

±0.4

±0.5

±0.5

±0.5

±0.75

普通版 Standard

±1

±1

±1

±1.5

±1.5

±2

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.75

±0.75

±0.75

±1

±1

±1.5

普通版 Standard

±1

±1

±1

±1.5

±1.5

±2

俯仰、翻滚

Pitch Roll

高精版 Plus

arc sec

±3

±3

±3

±4

±4

±5

普通版 Standard

±6

±6

±6

±7.5

±7.5

±9

偏摆

Yaw

高精版 Plus

arc sec

±1.5

±1.5

±1.5

±2

±2

±2.5

普通版 Standard

±3

±3

±3

±4

±4

±5

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 或 5(选配)

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus

nm

≤ 5

≤ 10

≤ 15

普通版 Standard

≤ 50

≤ 100

≤ 100

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus

nm

≤ 5

≤ 10

≤ 15

普通版 Standard

≤ 50

≤ 100

≤ 100

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

100

300

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)

m/s²

2,(5, 10 定制)

最大负载 Max Load

kg

20

40

50

 

注:以上为单轴精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息
型号 RBLBAC -100XY -PLUS -N -1 -C2 -3 -N
描述 双轴精密运动台 X轴行程100mm;Y轴行程100mm PLUS高精版 默认 增量式光栅1Vpp反馈 无尘拖链 线缆长度3米 常压环境

 

名称 型号 描述
多轴线轨运动台 RBLBAC 双轴精密运动台
行程 -50XY X轴行程50mm;Y轴行程50mm
-100XY X轴行程100mm;Y轴行程100mm
-150XY X轴行程150mm;Y轴行程150mm
-210XY X轴行程210mm;Y轴行程210mm
-250XY X轴行程250mm;Y轴行程250mm
-310XY X轴行程310mm;Y轴行程310mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
线缆管理  -C2 无尘拖链
 -C4 真空线缆
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
气压环境 -N 常压环境(标配)
-VC 真空环境
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产品样本
RBLBAC-XY系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
RBLBAC-XY系列产品尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
报价/订购
RBLBAC-50XY
XY轴行程50mm,面式十字叠层结构,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm
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RBLBAC-50XY PLUS
XY轴行程50mm,面式十字叠层结构,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.4μm,平面度±0.75μm
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RBLBAC-100XY
XY轴行程100mm,面式十字叠层结构,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm
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RBLBAC-100XY PLUS
XY轴行程100mm,面式十字叠层结构,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.4μm,平面度±0.75μm
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RBLBAC-150XY
XY轴行程150mm,面式十字叠层结构,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm
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RBLBAC-150XY PLUS
XY轴行程150mm,面式十字叠层结构,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm
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RBLBAC-210XY
XY轴行程210mm,面式十字叠层结构,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
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RBLBAC-210XY PLUS
XY轴行程210mm,面式十字叠层结构,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm,平面度±1μm
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RBLBAC-250XY
XY轴行程250mm,面式十字叠层结构,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
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RBLBAC-250XY PLUS
XY轴行程250mm,面式十字叠层结构,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm,平面度±1μm
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RBLBAC-310XY
XY轴行程310mm,面式十字叠层结构,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±2μm,平面度±2μm
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RBLBAC-310XY PLUS
XY轴行程310mm,面式十字叠层结构,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.75μm,平面度±1.5μm
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