轴系 Axis |
测试项目 Test Items |
单位 Units |
指标要求 Specification |
X 轴 X AXIS |
行程 Travel |
mm |
300 |
补偿后定位精度 Accuracy |
μm |
2 |
|
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
1 |
|
水平直线度 Horizontal Straightness |
μm |
2.5 |
|
垂直直线度 Vertical Straightness |
μm |
3 |
|
俯仰 Pitch |
arc sec |
6 |
|
偏摆 Yaw |
arc sec |
6 |
|
最大速度(空载) Max Speed(No Load) |
mm/s |
200 |
|
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) |
g |
1 |
|
微动步距 Min Incremental Motion |
μm |
1 |
|
Y 轴 Y AXIS |
行程 Travel |
mm |
300 |
补偿后定位精度 Accuracy |
μm |
2 |
|
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
1 |
|
水平直线度 Horizontal Straightness |
μm |
2.5 |
|
垂直直线度 Vertical Straightness |
μm |
3 |
|
俯仰 Pitch |
arc sec |
6 |
|
偏摆 Yaw |
arc sec |
6 |
|
最大速度(空载) Max Speed(No Load) |
mm/s |
200 |
|
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) |
g |
1 |
|
微动步距 Min Incremental Motion |
μm |
1 |
|
A 轴 A AXIS |
行程 Travel |
° |
±100 |
补偿后定位精度 Accuracy |
arc sec |
8 |
|
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
arc sec |
5 |
|
轴向跳动误差 Axial Error Motion |
μm |
2 |
|
径向跳动误差 Radial Error Motion |
μm |
2 |
|
最大速度(空载) Max Speed(No Load) |
°/s |
90 |
|
微动步距 Min Incremental Motion |
arc sec |
1 |
|
B 轴 B AXIS |
行程 Travel |
° |
360 |
补偿后定位精度 Accuracy |
arc sec |
8 |
|
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
arc sec |
5 |
|
轴向跳动误差 Axial Error Motion |
μm |
2 |
|
径向跳动误差 Radial Error Motion |
μm |
2 |
|
最大速度(空载) Max Speed(No Load) |
°/s |
20 |
|
微动步距 Min Incremental Motion |
arc sec |
1 |
|
Z 轴 Z AXIS |
行程 Travel |
mm |
300 |
补偿后定位精度 Accuracy |
μm |
2 |
|
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
1 |
|
水平直线度 Horizontal Straightness |
μm |
2.5 |
|
垂直直线度 Vertical Straightness |
μm |
3 |
|
俯仰 Pitch |
arc sec |
6 |
|
偏摆 Yaw |
arc sec |
6 |
|
最大速度(空载) Max Speed(No Load) |
mm/s |
100 |
|
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) |
g |
0.1 |
|
微动步距 Min Incremental Motion |
μm |
1 |
|
XYAB |
负载 Load |
kg |
20 |
Z |
负载 Load |
kg |
15 |
注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。
详细选型信息请联系瑞邦定制咨询~