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QFHDS-350-350-100Z 三轴精密运动台
XY轴平面式气浮结构,减小系统误差影响
龙门式双驱结构,承载能力强
XY轴行程350*350mm,兼容12寸晶圆
全行程直线度优于1μm
Z轴纳米级定位抖动
优化线缆管理
QFHDS-350-350-100Z 三轴精密运动台
QFHDS-350-350-100Z 三轴精密运动台
QFHDS-350-350-100Z 三轴精密运动台
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应用领域
QFHDS-350-350-100Z 三轴精密运动,XY轴平面式气浮结构,Z轴交叉滚柱结构,用于晶圆检测。
产品简介
XY轴运动结构共面,两轴的反馈机构在同一个水平面,相当于单轴运动,避免因叠层引起的阿贝误差,此结构提升动态跟踪误差,高速响应频率及位置稳定性,开发的气浮轴承补偿方法,提高刚性和负载能力,以满足高动态响应的要求。
Z轴交叉滚柱导轨结构,安装到龙门横梁上,亚微米级精度,定位抖动优于20nm。更高要求可接受定制,对环境要求提供专业建议。
大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠,品质有保障。大理石做模态分析,优化结构尺寸,可依据客户的要求做最终设计。
规格参数

轴系

Axis

测试项目

Test Items

单位

Units

指标要求

Specification

X

行程 Travel

mm

350

补偿后定位精度 Accuracy

μm

±0.5

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

μm

±0.1

速度稳定性 Speed Stability

1mm/s

10%

速度稳定性 Speed Stability

10mm/s

5%

跟随误差 Following Error

μm@1mm/s

0.5

跟随误差 Following Error

μm@10mm/s

0.3

直线度 Straightness

μm

±0.75

平面度 Flatness

μm

±0.75

俯仰 Pitch

arc sec

±1

偏摆 Yaw

arc sec

±1

最大速度 Max Speed

mm/s

300

Y

行程 Travel

mm

350

补偿后定位精度 Accuracy

μm

±0.5

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

μm

±0.1

速度稳定性 Speed Stability

1mm/s

10%

速度稳定性 Speed Stability

10mm/s

5%

跟随误差 Following Error

μm@1mm/s

0.5

跟随误差 Following Error

μm@10mm/s

0.3

直线度 Straightness

μm

±0.75

平面度 Flatness

μm

±0.75

俯仰 Pitch

arc sec

±1

偏摆 Yaw

arc sec

±1

最大速度 Max Speed

mm/s

300

Z

行程 Travel

mm

100

补偿后定位精度 Accuracy

μm

±0.3

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

μm

±0.1

直线度 Straightness

μm

±1.5

平面度 Flatness

μm

±1.5

最大速度 Max Speed

mm/s

100

XY

垂直度Orthogonality

arc sec

5

XYZ

用户负载 User Load

kg

5

实测数据
选型信息

详细选型信息请联系瑞邦定制咨询~

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产品样本
QFHDS-350-350-100Z 三轴精密运动台产品样本
2024-05-28
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产品手册
CAD图纸
QFHDS-350-350-100Z 三轴精密运动台产品尺寸图
2024-06-18
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3D模型
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QFHDS-350-350-100Z
详细参数请联系瑞邦定制~
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