精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

产品描述

规格参数

实测数据

选型信息

下载

报价/订购

应用领域

QFHDS-350-350-100Z 三轴精密运动，XY轴平面式气浮结构，Z轴交叉滚柱结构，用于晶圆检测。

产品简介

XY轴运动结构共面，两轴的反馈机构在同一个水平面，相当于单轴运动，避免因叠层引起的阿贝误差，此结构提升动态跟踪误差，高速响应频率及位置稳定性，开发的气浮轴承补偿方法，提高刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求。
Z轴交叉滚柱导轨结构，安装到龙门横梁上，亚微米级精度，定位抖动优于20nm。更高要求可接受定制，对环境要求提供专业建议。
大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客户的要求做最终设计。

规格参数

轴系 Axis	测试项目 Test Items	单位 Units	指标要求 Specification
X	行程 Travel	mm	350
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.5
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.1
	速度稳定性 Speed Stability	1mm/s	10%
	速度稳定性 Speed Stability	10mm/s	5%
	跟随误差 Following Error	μm@1mm/s	0.5
	跟随误差 Following Error	μm@10mm/s	0.3
	直线度 Straightness	μm	±0.75
	平面度 Flatness	μm	±0.75
	俯仰 Pitch	arc sec	±1
	偏摆 Yaw	arc sec	±1
	最大速度 Max Speed	mm/s	300
Y	行程 Travel	mm	350
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.5
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.1
	速度稳定性 Speed Stability	1mm/s	10%
	速度稳定性 Speed Stability	10mm/s	5%
	跟随误差 Following Error	μm@1mm/s	0.5
	跟随误差 Following Error	μm@10mm/s	0.3
	直线度 Straightness	μm	±0.75
	平面度 Flatness	μm	±0.75
	俯仰 Pitch	arc sec	±1
	偏摆 Yaw	arc sec	±1
	最大速度 Max Speed	mm/s	300
Z	行程 Travel	mm	100
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.3
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.1
	直线度 Straightness	μm	±1.5
	平面度 Flatness	μm	±1.5
	最大速度 Max Speed	mm/s	100
XY	垂直度Orthogonality	arc sec	5
XYZ	用户负载 User Load	kg	5