精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBXG-800-200-12D5-1R-15五轴精密运动台用于晶圆加工、测量。

产品简介

XY轴采用双直线电机驱动，滑块滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈，XY轴为双驱龙门结构，行程800mmx200mm。
Z轴采用力矩电机驱动，交叉滚柱导轨导向及双光栅尺闭环反馈，平升Z轴结构，行程12.5mm。
C轴采用力矩电机驱动，精密轴环导向及光栅尺闭环反馈，行程 1°用于角度位置调整。
Epin采用音圈电机驱动，光栅尺闭环反馈，用于晶圆切换。
ZC轴内置XY轴中，结构紧凑，有效降低工作点的高度，降低阿贝误差对系统精度的影响，应用于晶圆加工及检测等领域。
选用大理石材质作为机体，大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客户的要求做最终设计。

规格参数

轴系 Axis	测试项目 Test Items	单位 Units	指标要求 Specification
X 龙门轴 X GANTRY AXIS	行程 Travel	mm	800
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±2
	单向重复定位精度 Uni-Dir Repeatability	μm	±0.5
	直线度 Straightness	μm	±4
	平面度 Flatness	μm	±3
	俯仰 Pitch	arc sec	±5
	偏摆 Yaw	arc sec	±4.5
	微动步距 Min Incremental Motion	nm	50
	工作速度 Operating Speed	mm/s	50
Y 轴 Y AXIS	行程 Travel	mm	200
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±1
	单向重复定位精度 Uni-Dir Repeatability	μm	±0.5
	直线度 Straightness	μm	±1
	平面度 Flatness	μm	±2
	俯仰 Pitch	arc sec	±5
	偏摆 Yaw	arc sec	±4.5
	微动步距 Min Incremental Motion	nm	50
	工作速度 Operating Speed	mm/s	50
Z 轴 Z AXIS	行程 Travel	mm	12.5
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.5
	单向重复定位精度 Uni-Dir Repeatability	μm	±0.1
	微动步距 Min Incremental Motion	nm	100
	工作速度 Operating Speed	mm/s	8
C 轴 C AXIS	行程 Travel	°	1
	单向重复定位精度 Uni-Dir Repeatability	°	±0.003
	微动步距 Min Incremental Motion	°	0.001
	工作速度 Operating Speed	°/s	1
Epin	行程 Travel	mm	15
Epin	单向重复定位精度 Uni-Dir Repeatability	μm	±0.5
XY	正交 Orthogonality	arc sec	10
—	负载 Load	kg	3