精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBN-XY-5XX系列是一款高精度三轴精密运动台，三轴叠层紧凑式结构，亚微米级精度用于飞秒激光加工、光学制造及检测、光纤对准、基因测序和科研等领域。

结构特点

三轴直驱结构，电机具有零齿槽、高动态性能及电流噪声小等特点，防蠕动交叉滚柱直线导轨导向，滚柱为线线接触，运动平稳，滚柱间交叉排列，多方向受力稳定。Z轴直驱楔形平升结构，无丝杆、联轴器等中间传动装置，提高结构模态，实现高动态响应。

精度性能

非接触式光栅闭环反馈，紧凑结构，获得XY轴双向重复定位精度±15nm，直线度和平面度优于±0.75μm；Z轴重复定位精度±25nm，是高精度应用的理想选择。

微动步距

对有微动步距（最小位移量）要求的应用领域，如最小步距运动、对准应用等，微动步距≤1nm，对现场使用环境的要求，更多细节可联系我们。

定制化

根据应用可配置大理石基座、隔振器等整套运动控制方案。

规格参数

型号 Model		单位 Units	RBN-60XY-5XX		RBN-110XY-5XX		RBN-160XY-5XX		RBN-210XY-5XX
行程 Travel		mm	60 x 60	5	110 x 110	5	160 x 160	5	210 x 210	5
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05
	高精版 Plus		±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.15	±0.1
	普通版 Standard		±0.3	±0.2	±0.3	±0.2	±0.3	±0.2	±0.3	±0.2
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±7.5	±15	±7.5	±15	±7.5	±15	±10	±15
	高精版 Plus		±20	±25	±40	±25	±40	±25	±50	±25
	普通版 Standard		±30	±50	±75	±50	±75	±50	±75	±50
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.01	±0.025	±0.01	±0.025	±0.01	±0.025	±0.015	±0.025
	高精版 Plus		±0.025	±0.05	±0.05	±0.05	±0.075	±0.05	±0.075	±0.05
	普通版 Standard		±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.15	±0.1
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.25	±1	±0.35	±1	±0.5	±1	±0.5	±1
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±1	±1.5	±1	±1.5	±1.5	±1.5	±1.5	±1.5
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.5	—	±0.5	—	±0.75	—	±0.75	—
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±1	—	±1	—	±1.5	—	±1.5	—
俯仰、翻滚 ⁽¹⁾ Pitch Roll	高精版 Plus	arc sec	±2.5	±3	±3	±3	±3	±3	±3	±3
俯仰、翻滚 ⁽¹⁾ Pitch Roll	普通版 Standard	arc sec	±5	±7.5	±5	±7.5	±5	±7.5	±7	±7.5
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	高精版 Plus	arc sec	±1	±1.5	±1	±1.5	±1	±1.5	±2	±1.5
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	普通版 Standard	arc sec	±2.5	±5	±2.5	±5	±2.5	±5	±5	±5
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	≤1, ≤5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		mm/s	100	50	200	50	200	50	200	50
最大负载 Max Load		kg	10

特殊项目 Special Items ⁽⁴⁾	单位 Units	数值 Data
微动步距 Min Incremental Step	nm	默认, XY ≤ 1 Z ≤ 1, XY ≤ 30 Z ≤ 50
定位纹波 In Position Stability	nm	默认, XY ≤ 1 Z ≤ 1, XY ≤ 30 Z ≤ 50

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，普通版振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下的精度指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

4. 无特殊项目要求，出厂默认为准。振动等级VC-G，XY轴微动步距＜0.2nm。

实测数据

RBN-110XY-5XX 测试报告.pdf

选型信息

型号	RBN	-60XY-5XX	-N	-N	-1	0	-DB	-3	-Y	-N	-N
描述	防蠕动交叉滚柱运动台	X轴行程60mm；Y轴行程60mm；Z轴行程5mm	普通版	默认	增量式光栅1Vpp反馈	零点在行程中心位置	DB接头，无线缆管理	线缆长度3米	有线缆固定柱	常压环境	无大理石基座

名称	型号	描述
多轴线轨运动台	RBN	防蠕动交叉滚柱运动台
行程	-60XY-5XX	X轴行程60mm；Y轴行程60mm；Z轴行程5mm
	-110XY-5XX	X轴行程110mm；Y轴行程110mm；Z轴行程5mm
	-160XY-5XX	X轴行程160mm；Y轴行程160mm；Z轴行程5mm
	-210XY-5XX	X轴行程210mm；Y轴行程210mm；Z轴行程5mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
电子分辨率	-N	默认
	-1	电子分辨率 ≤1nm
	-5	电子分辨率 ≤5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	0	零点在行程中心位置（标配）
线缆管理	-DB	DB接头，无线缆管理（标配）
线缆管理	-C5	真空线缆
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
线缆固定柱	-Y	有线缆固定柱
线缆固定柱	-N	无线缆固定柱（标配）
气压环境	-N	常压环境（标配）
气压环境	-VC	真空环境
大理石基座 ⁽¹⁾	-Y	有大理石基座
大理石基座 ⁽¹⁾	-N	无大理石基座（标配）