|
型号 Model |
单位 Units |
QFU-100 |
QFU-200 |
QFU-300 |
QFU-400 |
QFU-500 |
QFU-600 |
QFU-700 |
QFU-800 |
QFU-900 |
QFU-1000 |
|
|
行程 Travel |
mm |
100 |
200 |
300 |
400 |
500 |
600 |
700 |
800 |
900 |
1000 |
|
|
补偿后定位精度 Accuracy |
超精版 Ultra |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
|
高精版 Plus |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
||
|
普通版 Standard |
±0.2 |
±0.2 |
±0.3 |
±0.4 |
±0.4 |
±0.5 |
±0.5 |
±1 |
±1 |
±1 |
||
|
单向重复定位精度 Uni-Repeatability |
超精版 Ultra |
nm |
±7.5 |
±10 |
±15 |
±20 |
±20 |
±20 |
±20 |
±25 |
±25 |
±30 |
|
高精版 Plus |
±40 |
±50 |
±50 |
±50 |
±50 |
±100 |
±100 |
±150 |
±150 |
±150 |
||
|
普通版 Standard |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±150 |
±150 |
±175 |
±175 |
±175 |
||
|
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版 Ultra |
μm |
±0.01 |
±0.015 |
±0.02 |
±0.025 |
±0.025 |
±0.03 |
±0.03 |
±0.04 |
±0.04 |
±0.05 |
|
高精版 Plus |
±0.05 |
±0.075 |
±0.075 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
||
|
普通版 Standard |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.3 |
||
|
直线度 (1) Straightness |
高精版 Plus |
μm |
±0.05 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.4 |
±0.4 |
±0.45 |
±0.45 |
±0.45 |
±0.5 |
±0.5 |
|
普通版 Standard |
±0.2 |
±0.4 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.75 |
±0.75 |
±0.75 |
±1 |
±1.5 |
||
|
平面度 (1) Flatness |
高精版 Plus |
μm |
±0.1 |
±0.2 |
±0.4 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.65 |
±0.7 |
±1 |
±1 |
|
普通版 Standard |
±0.2 |
±0.4 |
±0.75 |
±0.75 |
±0.75 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
±2 |
±2 |
||
|
俯仰、翻滚、偏摆 (1) Pitch Roll Yaw |
高精版 Plus |
arc sec |
±0.25 |
±0.4 |
±0.75 |
±0.8 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
±2 |
|
普通版 Standard |
±0.5 |
±1 |
±1.5 |
±2 |
±2.5 |
±3 |
±3 |
±4 |
±4.5 |
±5 |
||
|
电子分辨率 Electronic Resolution (2) |
nm |
0.3 或 5（选配） |
||||||||||
|
微动步距 Min Incremental Step |
高精版 Plus |
nm |
≤ 5,（≤ 1 SiC版定制） |
|||||||||
|
普通版 Standard |
≤ 50 |
|||||||||||
|
定位纹波 In Position Stability |
高精版 Plus |
nm |
≤ 5 |
|||||||||
|
普通版 Standard |
≤ 50 |
|||||||||||
|
速度稳定性 (3) Speed Stability |
1mm/s |
% |
≤ 4 |
|||||||||
|
10mm/s |
≤ 0.2 |
|||||||||||
|
跟随误差 Following Error |
高精版 Plus |
nm |
≤ 20 （10mm/s） |
|||||||||
|
普通版 Standard |
≤ 100（10mm/s） |
|||||||||||
|
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (4) |
m/s |
1 |
||||||||||
|
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (4) |
m/s² |
5, (10, 20 定制) |
||||||||||
|
最大负载 Max Load |
kg |
20 |
||||||||||
|
供气压力 Operating Pressure (5) |
MPa |
0.5±0.05 |
||||||||||
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. 取决于平台安装表面的平面度。
2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
3. 速度稳定性为高精版。
4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
5. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。
| 型号 | QFU | -300 | -P | -A | -N | -1 | -0 | -C1 | -3 | -Y |
| 描述 | 闭式气浮运动台 | 行程300mm | 高精版 | 铝合金气浮导轨 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | 高柔排线 | 线缆长度3米 | 有大理石基座 |
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 单轴气浮运动台 | QFU | 闭式气浮运动台 |
| 行程 | -100 | 行程100mm |
| -200 | 行程200mm | |
| -300 | 行程300mm | |
| -400 | 行程400mm | |
| -500 | 行程500mm | |
| -600 | 行程600mm | |
| -700 | 行程700mm | |
| -800 | 行程800mm | |
| -900 | 行程900mm | |
| -1000 | 行程1000mm | |
| 精度等级 | -N | Standard普通版 |
| -P | Plus高精版 | |
| -U | Ultra超精版 | |
| 气浮导轨类型 | -A | 铝合金材质气浮导轨 |
| -M | 大理石材质气浮导轨 | |
| -C | 陶瓷材质气浮导轨 | |
| -S | 碳化硅材质气浮导轨 | |
| 电子分辨率 | -N | 默认 |
| -0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
| -5 | 电子分辨率5nm | |
| 反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
| -T | 增量式光栅TTL反馈 | |
| -ABS | 绝对式光栅反馈 | |
| 零点位置 | -L | 零点在行程左极限位置 |
| -0 | 零点在行程中心位置（标配） | |
| -R | 零点在行程右极限位置 | |
| 线缆管理 | -C1 | 高柔排线 |
| -C2 | 无尘拖链 | |
| 线缆长度 | -3 | 长度3米（标配） |
| -5 | 长度5米 | |
| -DZ | 定制 | |
| 大理石基座 | -Y | 有大理石基座 |
| -N | 无大理石基座（标配） |
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