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QFU系列气浮运动台
非接触闭式气浮结构
行程100~1000mm可选
亚微米级重复定位精度
全行程直线度优于1μm
高柔线缆管理
可定制化设计
QFU系列气浮运动台
QFU系列气浮运动台
QFU系列气浮运动台
产品描述
规格参数
实测数据
选型信息
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应用领域
QFU系列是一款大行程气浮运动台,闭式气浮结构,常规最大行程1米,直线度优于1μm,用于精密加工、测试测量、扫描、半导体及光子学等行业。
结构特点
QFU系列主要采用气浮导轨、直线电机和光栅尺组成,闭式气浮结构,气浮导轨四面均匀受力,相较于开式气浮结构,侧向气浮刚度更大,承载能力更强,模态更高,系统带宽更大,相位裕度和幅值裕度余量更大,对于大体积、大负载及偏心安装等负载形式,更能突显其性能优势。
精度性能
气浮导轨基于气体静压效应,实现无摩擦和无振动地平滑移动,与摩擦式导轨相比,气浮运动台的直线度、平面度可达亚微米,Pitch Yaw指标±2角秒内,由于非接触式,系统跟随误差有了质地提升,定位精度和重复精度得到了显著提高,行程100~1000mm可选。
线缆管理
使用高质量、高柔性的屏蔽线缆,管线弯曲半径更小,能够防止电子信号的干扰,同时防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮运动台的性能。
定制化
可定制陶瓷材质气浮导轨,1米行程直线度可优于±0.5μm,更大行程也可接受定制。
规格参数

型号 Model

单位 Units

QFU-100

QFU-200

QFU-300

QFU-400

QFU-500

QFU-600

QFU-700

QFU-800

QFU-900

QFU-1000

行程 Travel

mm

100

200

300

400

500

600

700

800

900

1000

补偿后定位精度 

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.15

±0.15

±0.2

±0.2

±0.3

±0.3

±0.5

±0.5

±0.5

普通 Standard

±0.2

±0.2

±0.3

±0.4

±0.4

±0.5

±0.5

±1

±1

±1

双向重复定位精度 

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.075

±0.075

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.2

±0.2

±0.2

普通 Standard

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.2

±0.2

±0.3

±0.3

±0.3

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.1

±0.15

±0.4

±0.4

±0.45

±0.45

±0.45

±0.5

±0.5

普通 Standard

±0.2

±0.4

±0.5

±0.5

±0.5

±0.75

±0.75

±0.75

±1

±1.5

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.2

±0.4

±0.5

±0.5

±0.5

±0.65

±0.7

±1

±1

普通 Standard

±0.2

±0.4

±0.75

±0.75

±0.75

±1

±1

±1.5

±2

±2

俯仰、翻滚、偏摆

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.25

±0.4

±0.75

±0.8

±1

±1

±1

±1

±1.5

±2

普通 Standard

±0.5

±1

±1.5

±2

±2.5

±3

±3

±4

±4.5

±5

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 或 5(选配)

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus

nm

≤ 5,(≤ 1 SiC版定制)

普通 Standard

≤ 50

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus

nm

≤ 5

普通 Standard

≤ 50

速度稳定性*

Speed Stability

1mm/s

%

≤ 4

10mm/s

≤ 0.2

跟随误差

Following Error

高精版 Plus

nm

≤ 20 (10mm/s)

普通 Standard

≤ 100 (10mm/s)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

m/s

1

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)

m/s²

5,(10, 20 定制)

最大负载 Max Load

kg

20

供气压力 Operating Pressure

MPa

0.5±0.05

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处;更高精度请定制。

*:速度稳定性为高精度版。

实测数据
选型信息
型号 QFU -300 -PLUS -A -N -1 -0 -C1 -3 -Y -Y
描述 闭式气浮运动台 行程300mm  PLUS高精版 铝合金气浮导轨 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 高柔排线 线缆长度3米 有大理石基座 有压力保护开关

 

名称 型号 描述
单轴气浮运动台 QFU 闭式气浮运动台
行程 -100 行程100mm 
-200 行程200mm
-300 行程300mm
-400 行程400mm
-500 行程500mm
-600 行程600mm
-700 行程700mm
-800 行程800mm
-900 行程900mm
-1000 行程1000mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
气浮导轨类型 -A 铝合金材质气浮导轨
-M 大理石材质气浮导轨
-C 陶瓷材质气浮导轨
-S 碳化硅材质气浮导轨
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -L 零点在行程左极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-R 零点在行程右极限位置
线缆管理  -C1 高柔排线
 -C2 无尘拖链
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
大理石基座 -Y 有大理石基座
-N 无大理石基座(标配)
压力保护开关 -Y 有压力保护开关(标配)
-N 无压力保护开关
下载
产品样本
QFU系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
3D模型
QFU-100气浮运动台 3D模型
2024-07-02
下载
报价/订购
QFU-100
行程100mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm
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QFU-100 PLUS
行程100mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
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QFU-200
行程200mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.4μm
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QFU-200 PLUS
行程200mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.1μm,平面度 ±0.2μm
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QFU-300
行程300mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm
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QFU-300 PLUS
行程300mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.15μm,平面度 ±0.4μm
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QFU-400
行程400mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm
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QFU-400 PLUS
行程400mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
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QFU-500
行程500mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm
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QFU-500 PLUS
行程500mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
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QFU-600
行程600mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.2μm,直线度±0.75μm,平面度±1μm
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QFU-600 PLUS
行程600mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.45μm,平面度±0.5μm
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QFU-700
行程700mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.2μm,直线度±0.75μm,平面度±1μm
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QFU-700 PLUS
行程700mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.45μm,平面度±0.65μm
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QFU-800
行程800mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±0.75μm,平面度±1.5μm
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QFU-800 PLUS
行程800mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.2μm,直线度±0.45μm,平面度±0.7μm
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QFU-900
行程900mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1μm,平面度±2μm
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QFU-900 PLUS
行程900mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.2μm,直线度±0.5μm,平面度±1μm
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QFU-1000
行程1000mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1.5μm,平面度±2μm
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QFU-1000 PLUS
行程1000mm,气浮导轨,闭式气浮结构,双向重复定位精度±0.2μm,直线度±0.5μm,平面度±1μm
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