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QFL-XY-SG系列三轴精密运动台
XY轴非接触式气浮结构
Z轴平升直驱结构
结构紧凑、精度高
亚微米级重复定位精度
XY直线度±50nm
Z直线度1μm内
根据需求可定制
高柔线缆管理系统
QFL-XY-SG系列三轴精密运动台
QFL-XY-SG系列三轴精密运动台
QFL-XY-SG系列三轴精密运动台
产品描述
规格参数
实测数据
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应用领域
QFL-XY-SG系列是一款结构紧凑的三轴精密运动台,亚微米精度用于飞秒激光加工、测试测量、高精度扫描、半导体及光子学等行业。
结构特点
XY轴为非接触式气浮结构,精度高和外形尺寸小等特点,气浮导轨间没有机械接触,免维护运行。Z轴为平升直驱结构,承载能力大,抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向,提升直线度性能,可选双闭环反馈的方式,获得高重复定位精度和定位精度。
精度性能
XY轴气浮运动台的定位精度±0.1μm,双向重复定位精度±50nm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm,Pitch Yaw ±0.5arc sec,平升Z轴的定位精度±0.1μm,双向重复定位精度±50nm,直线度±0.5μm。
线缆管理
使用高质量的高柔排线和气管,线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计,运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。此外,可定制带屏蔽高柔线缆,适合环境噪声大的场合。
定制化
XY轴可定制陶瓷材质气浮导轨,直线度可达±50nm。
规格参数

型号 Model

单位 Units

QFL-50-50-20SG

QFL-100-100-20SG

QFL-100-100-35SG

轴系 Axis

X

Y

Z

X

Y

Z

X

Y

Z

行程 Travel

mm

50

50

20

100

100

20

100

100

35

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

普通版 Standard

±0.2

±1

±0.2

±1

±0.2

±1

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.075

普通版 Standard

±0.1

±0.5

±0.1

±0.5

±0.1

±0.25

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.5

±0.05

±0.5

±0.05

±0.5

普通版 Standard

±0.25

±3

±0.25

±3

±0.25

±4

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.1

普通版 Standard

±0.35

±0.4

±0.4

俯仰、翻滚、偏摆

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.35

±2

±0.4

±2

±0.4

±2

普通版 Standard

±1

±5

±1

±5

±1

±5

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 或 5(选配)

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus

nm

≤ 10

≤ 1

≤ 10

≤ 1

≤ 10

≤ 5

普通版 Standard

≤ 50

≤ 30

≤ 50

≤ 30

≤ 50

≤ 50

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus

nm

≤ 10

≤ 1

≤ 10

≤ 1

≤ 10

≤ 5

普通版 Standard

≤ 50

≤ 30

≤ 50

≤ 30

≤ 50

≤ 50

速度稳定性*

Speed Stability

1mm/s

%

≤ 4

≤ 4

≤ 4

10mm/s

≤ 0.2

≤ 0.2

≤ 0.2

跟随误差

Following Error

高精版 Plus

nm

≤ 20 (10mm/s)

≤ 20 (10mm/s)

≤ 20 (10mm/s)

普通版 Standard

≤ 100 (10mm/s)

≤ 100 (10mm/s)

≤ 100 (10mm/s)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

100

10

100

10

100

10

最大负载 Max Load

kg

10

 

注:以上为单轴精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

*:速度稳定性为高精度版

实测数据
选型信息
型号 QFL -50-50-20SG -PLUS -5 -N -0  -C1 -3 -Y -Y
描述 开式气浮运动台 X轴行程50mm;Y轴行程50mm;Z轴行程20mm PLUS高精版 电子分辨率5nm 默认 零点在行程中心位置 高柔排线 线缆长度3米 有大理石基座 有压力保护开关

 

名称 型号 描述
多轴气浮运动台 QFL 开式气浮运动台
行程 -50-50-20SG X轴行程50mm;Y轴行程50mm;Z轴行程20mm
-100-100-20SG X轴行程100mm;Y轴行程100mm;Z轴行程20mm
-100-100-35SG X轴行程100mm;Y轴行程100mm;Z轴行程35mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -0 零点在行程中心位置
线缆管理  -C1 高柔排线
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
大理石基座 -Y 有大理石基座
-N 无大理石基座(标配)
压力保护开关 -Y 有压力保护开关(标配)
-N 无压力保护开关
下载
产品样本
QFL-XY-SG系列产品样本
2023-09-08
下载
产品手册
CAD图纸
QFL-XY-SG系列产品尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
QFL-100-100-20SG三轴精密运动台 3D模型
2024-07-02
下载
报价/订购
QFL-50-50-20SG
XY轴为非接触式气浮结构,行程50mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.35μm;Z轴为平升直驱结构,行程20mm,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±3μm
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QFL-50-50-20SG PLUS
XY轴为非接触式气浮结构,行程50mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm;Z轴为平升直驱结构,行程20mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.5μm
添加至报价单
QFL-100-100-20SG
XY轴为非接触式气浮结构,行程100mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.4μm;Z轴为平升直驱结构,行程20mm,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±3μm
添加至报价单
QFL-100-100-20SG PLUS
XY轴为非接触式气浮结构,行程100mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm;Z轴为平升直驱结构,行程20mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.5μm
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QFL-100-100-35SG
XY轴为非接触式气浮结构,行程100mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.4μm;Z轴为平升直驱结构,行程35mm,双向重复定位精度±0.25μm,直线度±4μm
添加至报价单
QFL-100-100-35SG PLUS
XY轴为非接触式气浮结构,行程100mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm;Z轴为平升直驱结构,行程35mm,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm
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