精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBN-160-50Z-360R三轴精密运动台用于曲面测量。

产品简介

X轴采用防蠕动交叉滚柱导轨导向，直线电机驱动及光栅尺闭环反馈，行程160mm，用于扫描运动，安装到大理石横梁上。
Z轴采用防蠕动交叉滚柱导轨导向，直线电机驱动及光栅尺闭环反馈，行程50mm，普通环境下，定位纹波优于20nm，Z轴垂直安装到X轴上。
C轴采用气浮轴承、力矩电机驱动及光栅尺闭环反馈，闭式气浮结构，对结构进行优化设计，气浮轴承表面和创新的预压高刚度，径向刚度大，解决气浮轴抱死的问题，跳动误差优于100nm。
大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客户的要求做最终设计。

规格参数

轴系 Axis	测试项目 Test Items	单位 Units	指标要求 Specification
X 轴 X AXIS	行程 Travel	mm	160
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.5
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.25
	直线度 Straightness	μm	±2
	平面度 Flatness	μm	±2
	偏摆 Yaw	arc sec	±5
	俯仰 Pitch	arc sec	±7.5
	翻滚 Roll	arc sec	±7.5
	工作速度 Operating Speed	mm/s	200
Z 轴 Z AXIS	行程 Travel	mm	50
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.3
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.05
	直线度 Straightness	μm	±1.5
	平面度 Flatness	μm	±1.5
	偏摆 Yaw	arc sec	±5
	俯仰 Pitch	arc sec	±6
	翻滚 Roll	arc sec	±6
	工作速度 Operating Speed	mm/s	50
C 轴 C AXIS	行程 Travel	°	360
	补偿后定位精度 Accuracy	arc sec	±3
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	arc sec	±0.75
	轴向跳动误差 Axial Error Motion	nm	100
	径向跳动误差 Radial Error Motion	nm	200
	摆角误差 Tilt Error Motion	arc sec	±0.6
	工作速度 Operating Speed	rpm	5
XZ	负载 Load	kg	5
C	负载 Load	kg	40
其它 Others	X-Z垂直度 X-Z Orthogonality	μm	4
其它 Others	X-C平行度 X-C Parallel	μm	4.5