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RBLM-XYR系列三轴精密运动台
高精度的直驱结构
中型宽度尺寸高刚度设计
光栅尺闭环反馈
R轴角度定位
防尘罩装置
定制高加速度
RBLM-XYR系列三轴精密运动台
RBLM-XYR系列三轴精密运动台
RBLM-XYR系列三轴精密运动台
产品描述
规格参数
实测数据
选型信息
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应用领域
RBLM-XYR系列是一款直驱三轴精密运动台,带旋转功能用于晶圆切割、激光加工、测试测量、电子元件组装及检验等领域。
结构特点
XY轴十字叠层三片式结构,底轴宽度约是上轴长度的2/3,移动到极限位置时,防止重心不稳定。配备自润滑的精密滚柱导轨,承重大、精度高、刚性好等特点。R轴转台结构扁平薄,三轴叠层后降低工作点的高度,可360度旋转,用于角度调整,是晶圆切割加工应用的理想选择。
精度性能
采用光栅闭环反馈,考虑材料的热膨胀影响,加工工艺和装配工艺等,使XY轴重复定位精度≤±0.3μm,全行程直线度和平面度±0.75μm,R轴微动步距1arc sec。
防尘管理
RBLM-XYR系列精密运动台的防尘设计,有效防止碎片、灰尘和颗粒等异物进入直线台,影响使用寿命,同时不受防尘罩扰动力的影响。
定制化
根据应用可选择多种行程、定制高加速度提升生产效率等;可配置大理石立柱、横梁、支撑钢架整套系统方案。
规格参数

型号 Model

单位 Units

RBLM-50-50-360R

RBLM-100-100-360R

RBLM-200-200-360R

RBLM-300-300-360R

轴系 Axis

X

Y

R

X

Y

R

X

Y

R

X

Y

R

行程 Travel

50mm

50mm

360°

100mm

100mm

360°

200mm

200mm

360°

300mm

300mm

360°

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

±0.5μm

±0.5μm

±5 arc sec

±0.5μm

±0.5μm

±5 arc sec

±0.5μm

±0.5μm

±5 arc sec

±0.5μm

±0.5μm

±5 arc sec

普通版 Standard

±1μm

±1μm

±10 arc sec

±1μm

±1μm

±10 arc sec

±1μm

±1μm

±10 arc sec

±1μm

±1μm

±10 arc sec

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

±0.3μm

±0.3μm

1.5 arc sec

±0.3μm

±0.3μm

1.5 arc sec

±0.3μm

±0.3μm

1.5 arc sec

±0.3μm

±0.3μm

1.5 arc sec

普通版 Standard

±0.5μm

±0.5μm

2.5 arc sec

±0.5μm

±0.5μm

2.5 arc sec

±0.5μm

±0.5μm

2.5 arc sec

±0.5μm

±0.5μm

2.5 arc sec

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.5

±0.75

±0.75

±0.75

±1.25

±1.25

±1.25

±1.25

普通版 Standard

±1.5

±1.5

±1.5

±1.5

±3

±3

±3.5

±3.5

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.75

±0.75

±0.75

±0.75

±1.25

±1.25

±1.5

±1.5

普通版 Standard

±1.5

±1.5

±1.5

±1.5

±3

±3

±3.5

±3.5

轴向跳动误差

Axial Error Motion

高精版 Plus

μm

2

2

2

2

普通版 Standard

5

5

5

5

径向跳动误差

Radial Error Motion

高精版 Plus

μm

2

2

2

2

普通版 Standard

5

5

5

5

电子分辨率 Electronic Resolution

XY 0.3 或 5 nm(选配), R 0.1 arc sec

XY 0.3 或 5 nm(选配), R 0.1 arc sec

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

100mm/s

50rpm

300mm/s

50rpm

300mm/s

50rpm

300mm/s

50rpm

最大负载 Max Load

kg

15

15

 

注:以上为单轴精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息
型号 RBLM -300-300-360R -N -N -1 -0  -C3 -3 -Y
描述 三轴精密运动台 X轴行程300mm;Y轴行程300mm;R轴行程360° 标准值 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 坦克拖链 线缆长度3米 有支撑钢架

 

名称 型号 描述
多轴线轨运动台 RBLM 三轴精密运动台
行程 -50-50-360R X轴行程50mm;Y轴行程50mm;R轴行程360°
-100-100-360R X轴行程100mm;Y轴行程100mm;R轴行程360°
-200-200-360R X轴行程200mm;Y轴行程200mm;R轴行程360°
-300-300-360R X轴行程300mm;Y轴行程300mm;R轴行程360°
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -L 零点在行程左极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-R 零点在行程右极限位置
线缆管理  -C2 无尘拖链
 -C3 坦克拖链
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
支撑钢架 -Y 有支撑钢架
-N 无支撑钢架(标配)
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产品样本
RBLM-XYR系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
RBLM-300XY-360R尺寸图
2023-08-18
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3D模型
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RBLM-50-50-360R
XY轴行程50mm,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm;R轴行程360°,双向重复定位精度2.5arc sec,轴向跳动误差5μm,径向跳动误差5μm
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RBLM-50-50-360R PLUS
XY轴行程50mm,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm;R轴行程360°,双向重复定位精度1.5arc sec,轴向跳动误差2μm,径向跳动误差2μm
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RBLM-100-100-360R
XY轴行程100mm,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm;R轴行程360°,双向重复定位精度2.5arc sec,轴向跳动误差5μm,径向跳动误差5μm
添加至报价单
RBLM-100-100-360R PLUS
XY轴行程100mm,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm;R轴行程360°,双向重复定位精度1.5arc sec,轴向跳动误差2μm,径向跳动误差2μm
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RBLM-200-200-360R
XY轴行程200mm,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±3μm,平面度±3μm;R轴行程360°,双向重复定位精度2.5arc sec,轴向跳动误差5μm,径向跳动误差5μm
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RBLM-200-200-360R PLUS
XY轴行程200mm,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1.25μm,平面度±1.25μm;R轴行程360°,双向重复定位精度1.5arc sec,轴向跳动误差2μm,径向跳动误差2μm
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RBLM-300-300-360R
XY轴行程300mm,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±3.5μm,平面度±3.5μm;R轴行程360°,双向重复定位精度2.5arc sec,轴向跳动误差5μm,径向跳动误差5μm
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RBLM-300-300-360R PLUS
XY轴行程300mm,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1.25μm,平面度±1.5μm;R轴行程360°,双向重复定位精度1.5arc sec,轴向跳动误差2μm,径向跳动误差2μm
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