精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

QFL3D系列是一款结构紧凑的三轴气浮运动台，用于飞秒激光加工，超精密加工，测试测量，扫描、半导体及光子学对准等行业，由于非接触式移动，精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。

结构特点

QFL3D系列是一款预负载结构的三轴气浮运动台，气浮结构已证明是精密应用中的理想选择，适用飞秒激光加工、微纳制造等应用，具有体积小，精度高和外观紧凑等特点，无论是定位抖动，还是速度稳定性，QFL3D系列都是良好的解决方案。

定制化

根据用户的应用，可以选择单轴，双轴，三轴等多种结构，如直接在XY轴上增加Z轴，平升Z轴或定制大理石基座、立柱及横梁上侧挂Z轴等。此外可提供激光触发同步输出信号。

线缆管理

使用高质量的高柔排线和气管，线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计，运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。

洁净室兼容性

气浮轴承本质上与洁净室环境兼容，高质量的无尘线缆管理也符合实验室环境。

规格参数

型号 Model		单位 Units	QFL3D-50-50-25			QFL3D-100-100-25			QFL3D-150-150-25
轴系 Axis		—	X	Y	Z	X	Y	Z	X	Y	Z
行程 Travel		mm	50	50	25	100	100	25	150	150	25
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.05			±0.05			±0.05
	高精版 Plus		±0.1			±0.1			±0.1
	普通版 Standard		±0.2			±0.2			±0.2
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±7.5			±7.5			±7.5
	高精版 Plus		±40			±40			±40
	普通版 Standard		±75			±75			±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.01			±0.01			±0.01
	高精版 Plus		±0.05			±0.05			±0.05
	普通版 Standard		±0.1			±0.1			±0.1
直线度⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.05			±0.05			±0.1
	普通版 Standard		±0.25			±0.25			±0.4
平面度⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.1			±0.1			±0.15
	普通版 Standard		±0.35			±0.4			±0.5
俯仰、翻滚、偏摆⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±0.35			±0.4			±0.5
	普通版 Standard		±1			±1			±1.5
电子分辨率 Electronic Resolution⁽²⁾		nm	0.3 或 5（选配）
微动步距 Min Incremental Step	高精版 Plus	nm	≤ 10
	普通版 Standard		≤ 50
定位纹波 In Position Stability	高精版 Plus	nm	≤ 10
	普通版 Standard		≤ 50
速度稳定性⁽³⁾ Speed Stability	1mm/s	%	≤ 4
	10mm/s		≤ 0.2
跟随误差 Following Error	高精版 Plus	nm	≤ 20（10mm/s）
	普通版 Standard		≤ 100（10mm/s）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load)⁽⁴⁾		mm/s	200
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)⁽⁴⁾		m/s²	1,（5 定制）
最大负载 Max Load		kg	5
供气压力 Operating Pressure⁽⁵⁾		MPa	0.5±0.05

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 速度稳定性为高精版。

4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

5. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。

实测数据

选型信息

型号	QFL3D	-100-100-25	-P	-N	-1	-0	-C1	-3	-Y
描述	三轴气浮运动台	X轴行程100mm；Y轴行程100mm；Z轴行程25mm	高精版	默认	增量式光栅1Vpp反馈	零点在行程中心位置	高柔排线	线缆长度3米	有大理石基座

名称	型号	描述
气浮运动台	QFL3D	三轴气浮运动台
行程	-50-50-25	X轴行程50mm；Y轴行程50mm；Z轴行程25mm
	-100-100-25	X轴行程100mm；Y轴行程100mm；Z轴行程25mm
	-150-150-25	X轴行程150mm；Y轴行程150mm；Z轴行程25mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
电子分辨率	-N	默认
	-0.3	电子分辨率0.3nm
	-5	电子分辨率5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	-0	零点在行程中心位置
线缆管理	-C1	高柔排线
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
大理石基座	-Y	有大理石基座
大理石基座	-N	无大理石基座（标配）