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QFL3D系列三轴气浮运动台
三轴直驱气浮结构
重复定位精度±50nm
结构紧凑、精度高
全行程直线度±0.1μm
根据需求可定制
高柔线缆管理系统
QFL3D系列三轴气浮运动台
QFL3D系列三轴气浮运动台
QFL3D系列三轴气浮运动台
产品描述
规格参数
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应用领域
QFL3D系列是一款结构紧凑的三轴气浮运动台,用于飞秒激光加工,超精密加工,测试测量,扫描、半导体及光子学对准等行业,由于非接触式移动,精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。
结构特点
QFL3D系列是一款预负载结构的三轴气浮运动台,气浮结构已证明是精密应用中的理想选择,适用飞秒激光加工、微纳制造等应用,具有体积小,精度高和外观紧凑等特点,无论是定位抖动,还是速度稳定性,QFL3D系列都是良好的解决方案。
定制化
根据用户的应用,可以选择单轴,双轴,三轴等多种结构,如直接在XY轴上增加Z轴,平升Z轴或定制大理石基座、立柱及横梁上侧挂Z轴等。此外可提供激光触发同步输出5VTLL信号。
线缆管理
使用高质量的高柔排线和气管,线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计,运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。
洁净室兼容性
气浮轴承本质上与洁净室环境兼容,高质量的无尘线缆管理也符合实验室环境。
规格参数

型号 Model

单位 Units

QFL3D-50-50-25

QFL3D-100-100-25

QFL3D-150-150-25

轴系 Axis

X

Y

Z

X

Y

Z

X

Y

Z

行程 Travel

mm

50

50

25

100

100

25

150

150

25

补偿后定位精度 

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.1

普通版 Standard

±0.2

±0.2

±0.2

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.05

±0.05

普通版 Standard

±0.1

±0.1

±0.1

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.05

±0.1

普通版 Standard

±0.25

±0.25

±0.4

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.15

普通版 Standard

±0.35

±0.4

±0.5

俯仰、翻滚、偏摆

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.35

±0.4

±0.5

普通版 Standard

±1

±1

±1.5

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 或 5(选配)

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus

nm

≤10

普通版 Standard

≤50

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus

nm

≤10

普通版 Standard

≤50

速度稳定性*

Speed Stability

1mm/s

%

≤4

10mm/s

≤0.2

跟随误差

Following Error

高精版 Plus

nm

≤20 (10mm/s)

普通版 Standard

≤100 (10mm/s)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

200

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)

m/s²

1,(5 定制)

最大负载 Max Load

kg

5

供气压力 Operating Pressure

MPa

0.5±0.05

 

注:以上为单轴精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

*:速度稳定性为高精度版。

实测数据
选型信息
型号 QFL3D  -100-100-25 -PLUS -N -1 -0  -C1 -3 -Y -Y
描述 三轴气浮运动台 X轴行程100mm;Y轴行程100mm;Z轴行程25mm PLUS高精版 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 高柔排线 线缆长度3米 有大理石基座 有压力保护开关

 

名称 型号 描述
气浮运动台 QFL3D 三轴气浮运动台
行程  -50-50-25 X轴行程50mm;Y轴行程50mm;Z轴行程25mm
 -100-100-25 X轴行程100mm;Y轴行程100mm;Z轴行程25mm
 -150-150-25 X轴行程150mm;Y轴行程150mm;Z轴行程25mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -0 零点在行程中心位置
线缆管理  -C1 高柔排线
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
大理石基座 -Y 有大理石基座
-N 无大理石基座(标配)
压力保护开关 -Y 有压力保护开关(标配)
-N 无压力保护开关
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产品样本
QFL3D系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
QFL3D系列产品尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
QFL3D-100-100-25三轴气浮运动台 3D模型
2024-07-02
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报价/订购
QFL3D-50-50-25
XY轴行程50mm,Z轴行程25mm,三轴直驱气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.35μm
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QFL3D-50-50-25 PLUS
XY轴行程50mm,Z轴行程25mm,三轴直驱气浮结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
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QFL3D-100-100-25
XY轴行程100mm,Z轴行程25mm,三轴直驱气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.4μm
添加至报价单
QFL3D-100-100-25 PLUS
XY轴行程100mm,Z轴行程25mm,三轴直驱气浮结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
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QFL3D-150-150-25
XY轴行程150mm,Z轴行程25mm,三轴直驱气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
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QFL3D-150-150-25 PLUS
XY轴行程150mm,Z轴行程25mm,三轴直驱气浮结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.1μm,平面度±0.15μm
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