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QFL-FH-T系列气浮运动台
非接触式气浮结构
T型结构布局
行程25~200mm可选
重复定位精度±75nm
直线度±0.2μm
带防护罩防尘装置
QFL-FH-T系列气浮运动台
QFL-FH-T系列气浮运动台
QFL-FH-T系列气浮运动台
产品描述
规格参数
实测数据
选型信息
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应用领域
QFL-FH-T系列是一款带防护装置的双轴气浮运动台,宏微相结合的气浮孔方式,气浮刚度大,用于超精密加工,金刚石单点车等加工行业。
结构特点
气浮运动台主要采用气浮导轨、直线电机和光栅尺组成,呈T型安装,可提供平面度为000级大理石基座,采用独特的小孔和多孔相结合的方式,侧向刚度大,适用于超精密加工等行业。
精度性能
气浮运动台为非接触式结构,实现无摩擦、无振动地平滑移动,定位精度±0.15μm,重复定位精度±75nm,直线度±0.2μm为金刚石单点车床核心关注的指标。
防尘设计
瑞邦精控研发的防护罩,摩擦系数可忽略不计,不影响运动台的精度性能,在加工应用中防止异物进入气浮导轨内部对高精度运行造成影响。
定制化
可定制陶瓷材质气浮导轨,重复定位精度±15nm,直线度±50nm;行程也可接受定制。
规格参数

型号 Model

单位 Units

QFL-FH-T -25

QFL-FH-T-50

QFL-FH-T-75

QFL-FH-T-100

QFL-FH-T-125

QFL-FH-T-150

QFL-FH-T-175

QFL-FH-T-200

行程 Travel

mm

25

50

75

100

125

150

175

200

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

普通版 Standard

±0.1

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

±0.3

±0.3

双向重复定位精度 

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.025

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.075

±0.075

普通版 Standard

±0.05

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.1

±0.1

±0.2

±0.2

普通版 Standard

±0.1

±0.25

±0.25

±0.25

±0.4

±0.4

±0.5

±0.5

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.2

±0.2

普通版 Standard

±0.25

±0.35

±0.35

±0.4

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

俯仰、翻滚、偏摆

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.25

±0.35

±0.35

±0.4

±0.45

±0.5

±0.75

±0.75

普通版 Standard

±0.5

±1

±1

±1

±1.5

±1.5

±1.5

±1.5

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

50

50

100

300

300

300

300

300

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)

m/s²

1,(≥5 定制)

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 或 5(选配)

微动步距 Min Incremental Step

nm

定制

定位纹波 In Position Stability

nm

定制

速度稳定性 Speed Stability

%

定制

跟随误差 Following Error

nm

定制

最大负载 Max Load

kg

15

供气压力 Operating Pressure

MPa

0.5±0.05

 

注:以上为单轴精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息
型号 QFL-FH-T -100 -PLUS -M -N -T -0 -DB -3 -N
描述 带防护罩的开式气浮运动台 行程100mm PLUS高精版 大理石材质气浮导轨 默认 增量式光栅TTL反馈 零点在行程中心位置 DB接头,无线缆管理 线缆长度3米 无压力保护开关

 

名称 型号 描述
多轴气浮运动台 QFL-FH-T 带防护罩的开式气浮运动台
行程 -25 行程25mm 
-50 行程50mm
-75 行程75mm
-100 行程100mm
-125 行程125mm
-150 行程150mm
-175 行程175mm
-200 行程200mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
气浮导轨类型 -M 大理石材质气浮导轨
-C 陶瓷材质气浮导轨
-S 碳化硅材质气浮导轨
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -L 零点在行程左极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-R 零点在行程右极限位置
线缆管理 -DB DB接头,无线缆管理(标配)
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
压力保护开关 -Y 有压力保护开关(标配)
-N 无压力保护开关
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产品样本
QFL-FH-T系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
QFL-FH-T系列产品尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
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QFL-FH-T-25
双轴气浮运动台,T型结构布局,带防护罩防尘装置,行程25mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.1μm,平面度±0.25μm
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QFL-FH-T-25 PLUS
双轴气浮运动台,T型结构布局,带防护罩防尘装置,行程25mm,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.05μm,平面度±0.05μm
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QFL-FH-T-50
双轴气浮运动台,T型结构布局,带防护罩防尘装置,行程50mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.35μm
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QFL-FH-T-50 PLUS
双轴气浮运动台,T型结构布局,带防护罩防尘装置,行程50mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
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QFL-FH-T-75
双轴气浮运动台,T型结构布局,带防护罩防尘装置,行程75mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.35μm
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QFL-FH-T-75 PLUS
双轴气浮运动台,T型结构布局,带防护罩防尘装置,行程75mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.1μm,平面度±0.1μm
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QFL-FH-T-100
双轴气浮运动台,T型结构布局,带防护罩防尘装置,行程100mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.4μm
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QFL-FH-T-100 PLUS
双轴气浮运动台,T型结构布局,带防护罩防尘装置,行程100mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.1μm,平面度±0.1μm
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QFL-FH-T-125
双轴气浮运动台,T型结构布局,带防护罩防尘装置,行程125mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
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QFL-FH-T-125 PLUS
双轴气浮运动台,T型结构布局,带防护罩防尘装置,行程125mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.1μm,平面度±0.15μm
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QFL-FH-T-150
双轴气浮运动台,T型结构布局,带防护罩防尘装置,行程150mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
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QFL-FH-T-150 PLUS
双轴气浮运动台,T型结构布局,带防护罩防尘装置,行程150mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.1μm,平面度±0.15μm
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QFL-FH-T-175
双轴气浮运动台,T型结构布局,带防护罩防尘装置,行程175mm,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm
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QFL-FH-T-175 PLUS
双轴气浮运动台,T型结构布局,带防护罩防尘装置,行程175mm,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm
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QFL-FH-T-200
双轴气浮运动台,T型结构布局,带防护罩防尘装置,行程200mm,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm
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QFL-FH-T-200 PLUS
双轴气浮运动台,T型结构布局,带防护罩防尘装置,行程200mm,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm
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