型号 Model |
单位 Units |
QFL-FH-T -25 |
QFL-FH-T-50 |
QFL-FH-T-75 |
QFL-FH-T-100 |
QFL-FH-T-125 |
QFL-FH-T-150 |
QFL-FH-T-175 |
QFL-FH-T-200 |
|
行程 Travel |
mm |
25 |
50 |
75 |
100 |
125 |
150 |
175 |
200 |
|
补偿后定位精度 Accuracy |
超精版 Ultra |
μm |
±0.02 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
高精版 Plus |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
||
普通版 Standard |
±0.1 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.3 |
±0.3 |
||
单向重复定位精度 Uni-Repeatability |
超精版 Ultra |
nm |
±5 |
±7.5 |
±7.5 |
±7.5 |
±7.5 |
±7.5 |
±10 |
±10 |
高精版 Plus |
±20 |
±40 |
±40 |
±40 |
±40 |
±40 |
±50 |
±50 |
||
普通版 Standard |
±30 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
||
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版 Ultra |
μm |
±0.01 |
±0.01 |
±0.01 |
±0.01 |
±0.01 |
±0.01 |
±0.015 |
±0.015 |
高精版 Plus |
±0.025 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.075 |
±0.075 |
||
普通版 Standard |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
||
直线度 (1) Straightness |
高精版 Plus |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.2 |
±0.2 |
普通版 Standard |
±0.1 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.4 |
±0.4 |
±0.5 |
±0.5 |
||
平面度 (1) Flatness |
高精版 Plus |
μm |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.2 |
±0.2 |
普通版 Standard |
±0.25 |
±0.35 |
±0.35 |
±0.4 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
||
俯仰、翻滚、偏摆 (1) Pitch Roll Yaw |
高精版 Plus |
arc sec |
±0.25 |
±0.35 |
±0.35 |
±0.4 |
±0.45 |
±0.5 |
±0.75 |
±0.75 |
普通版 Standard |
±0.5 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
±1.5 |
±1.5 |
±1.5 |
||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (2) |
mm/s |
50 |
50 |
100 |
300 |
300 |
300 |
300 |
300 |
|
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (2) |
m/s² |
1,(≥5 定制) |
||||||||
电子分辨率 Electronic Resolution (3) |
nm |
0.3 或 5(选配) |
||||||||
微动步距 Min Incremental Step |
nm |
定制 |
||||||||
定位纹波 In Position Stability |
nm |
定制 |
||||||||
速度稳定性 Speed Stability |
% |
定制 |
||||||||
跟随误差 Following Error |
nm |
定制 |
||||||||
最大负载 Max Load |
kg |
15 |
||||||||
供气压力 Operating Pressure (4) |
MPa |
0.5±0.05 |
注:
以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±0.5℃(重复定位精度优于±50nm,测量时温度20℃±0.01℃),湿度40%~60%RH,振动等级VC-F,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。
1. 取决于平台安装表面的平面度。
2. 空载条件下指标,最大速度和加速度取决于负载大小。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的(过滤至0.25μm或更佳,ISO8573-1),无水(压力露点-20℃,ISO8573-1级别3)及无油(ISO8573-1级别1)。
型号 | QFL-FH-T | -100 | -P | -M | -N | -T | -0 | -DB | -3 |
描述 | 带防护罩的开式气浮运动台 | 行程100mm | 高精版 | 大理石材质气浮导轨 | 默认 | 增量式光栅TTL反馈 | 零点在行程中心位置 | DB接头,无线缆管理 | 线缆长度3米 |
名称 | 型号 | 描述 |
多轴气浮运动台 | QFL-FH-T | 带防护罩的开式气浮运动台 |
行程 | -25 | 行程25mm |
-50 | 行程50mm | |
-75 | 行程75mm | |
-100 | 行程100mm | |
-125 | 行程125mm | |
-150 | 行程150mm | |
-175 | 行程175mm | |
-200 | 行程200mm | |
精度等级 | -N | Standard普通版 |
-P | Plus高精版 | |
-U | Ultra超精版 | |
气浮导轨类型 | -M | 大理石材质气浮导轨 |
-C | 陶瓷材质气浮导轨 | |
-S | 碳化硅材质气浮导轨 | |
电子分辨率 | -N | 默认 |
-0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
-5 | 电子分辨率5nm | |
反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
-T | 增量式光栅TTL反馈 | |
-ABS | 绝对式光栅反馈 | |
零点位置 | -L | 零点在行程左极限位置 |
-0 | 零点在行程中心位置(标配) | |
-R | 零点在行程右极限位置 | |
线缆管理 | -DB | DB接头,无线缆管理(标配) |
线缆长度 | -3 | 长度3米(标配) |
-5 | 长度5米 | |
-DZ | 定制 |