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轴系 Axis |
测试项目 Test Items |
单位 Units |
指标 Specification |
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X 轴 X AXIS |
行程 Travel |
mm |
971 |
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最大速度 Max Speed |
mm/s |
205 |
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加速度 Acceleration |
g |
0.5 |
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重复定位精度 Repeatability |
μm |
±0.5 |
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最小位移量 Min Incremental Motion |
nm |
50 |
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直线度 Straightness |
μm |
6 |
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Y 轴 Y AXIS |
行程 Travel |
mm |
341 |
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最大速度 Max Speed |
mm/s |
205 |
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加速度 Acceleration |
g |
0.5 |
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重复定位精度 Repeatability |
μm |
±0.5 |
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最小位移量 Min Incremental Motion |
nm |
50 |
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直线度 Straightness |
μm |
4 |
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Z 轴 Z AXIS |
行程 Travel |
mm |
12.5 |
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最大速度 Max Speed |
mm/s |
10 |
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重复定位精度 Repeatability |
μm |
±0.1 |
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最小位移量 Min Incremental Motion |
nm |
100 |
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正交性 Orthogonality |
arc sec |
10 |
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