| 型号 Model | 单位 Units | QFU-FH-100 | QFU-FH-200 | QFU-FH-300 | QFU-FH-400 | QFU-FH-500 | QFU-FH-600 | QFU-FH-700 | QFU-FH-800 | QFU-FH-900 | QFU-FH-1000 | |
| 行程 Travel | mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 | 700 | 800 | 900 | 1000 | |
| 补偿后定位精度 Accuracy |
超精版 Ultra | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.25 | ±0.25 | ±0.25 |
| 高精版 Plus | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||
| 普通版 Standard | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1 | ||
|
单向重复定位精度 Uni-Repeatability |
超精版 Ultra | nm | ±7.5 | ±10 | ±15 | ±20 | ±20 | ±20 | ±20 | ±25 | ±25 | ±30 |
| 高精版 Plus | ±40 | ±50 | ±50 | ±50 | ±50 | ±100 | ±100 | ±150 | ±150 | ±150 | ||
| 普通版 Standard | ±75 | ±75 | ±75 | ±75 | ±75 | ±150 | ±150 | ±175 | ±175 | ±175 | ||
| 双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版 Ultra | μm | ±0.01 | ±0.015 | ±0.02 | ±0.025 | ±0.025 | ±0.03 | ±0.03 | ±0.04 | ±0.04 | ±0.05 |
| 高精版 Plus | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ||
| 普通版 Standard | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 | ||
| 直线度 (1) Straightness |
高精版 Plus | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.45 | ±0.45 | ±0.45 | ±0.5 | ±0.5 |
| 普通版 Standard | ±0.2 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | ±0.75 | ±0.75 | ±1 | ±1.5 | ||
| 平面度 (1) Flatness |
高精版 Plus | μm | ±0.1 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.65 | ±0.7 | ±1 | ±1 |
| 普通版 Standard | ±0.2 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.75 | ±0.75 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ±2 | ||
| 俯仰、翻滚、偏摆 (1) Pitch Roll Yaw |
高精版 Plus | arc sec | ±0.25 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.8 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±2 |
| 普通版 Standard | ±0.5 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ±2.5 | ±3 | ±3 | ±4 | ±4.5 | ±5 | ||
| 电子分辨率 Electronic Resolution (2) | nm | 0.3 或 5（选配） | ||||||||||
| 微动步距 Min Incremental Step |
高精版 Plus | nm | ≤ 5,（≤1 SiC版定制） | |||||||||
| 普通版 Standard | ≤ 50 | |||||||||||
| 定位纹波 In Position Stability |
高精版 Plus | nm | ≤ 5 | |||||||||
| 普通版 Standard | ≤ 50 | |||||||||||
| 速度稳定性 (3) Speed Stability |
1mm/s | % | ≤ 4 | |||||||||
| 10mm/s | ≤ 0.2 | |||||||||||
| 跟随误差 Following Error |
高精版 Plus | nm | ≤ 20 (10mm/s) | |||||||||
| 普通版 Standard | ≤ 100 (10mm/s) | |||||||||||
|
最大速度 (空载) Max Speed (No Load)(4) |
m/s | 1 | ||||||||||
|
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (4) |
m/s² | 5,（10, 20 定制） | ||||||||||
|
最大负载 Max Load |
kg | 20 | ||||||||||
|
供气压力 Operating Pressure (5) |
MPa | 0.5±0.05 | ||||||||||
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. 取决于平台安装表面的平面度。
2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
3. 速度稳定性为高精版。
4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
5. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。
| 型号 | QFU-FH | -300 | -P | -A | -N | -1 | -0 | -C1 | -3 | -Y |
| 描述 | 带防护罩的闭式气浮运动台 | 行程300mm | 高精版 | 铝合金气浮导轨 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | 高柔排线 | 线缆长度3米 | 有大理石基座 |
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 单轴气浮运动台 | QFU-FH | 带防护罩的闭式气浮运动台 |
| 行程 | -100 | 行程100mm |
| -200 | 行程200mm | |
| -300 | 行程300mm | |
| -400 | 行程400mm | |
| -500 | 行程500mm | |
| -600 | 行程600mm | |
| -700 | 行程700mm | |
| -800 | 行程800mm | |
| -900 | 行程900mm | |
| -1000 | 行程1000mm | |
| 精度等级 | -N | Standard普通版 |
| -P | Plus高精版 | |
| -U | Ultra超精版 | |
| 气浮导轨类型 | -A | 铝合金材质气浮导轨 |
| -M | 大理石材质气浮导轨 | |
| -C | 陶瓷材质气浮导轨 | |
| -S | 碳化硅材质气浮导轨 | |
| 电子分辨率 | -N | 默认 |
| -0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
| -5 | 电子分辨率5nm | |
| 反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
| -T | 增量式光栅TTL反馈 | |
| -ABS | 绝对式光栅反馈 | |
| 零点位置 | -L | 零点在行程左极限位置 |
| -0 | 零点在行程中心位置（标配） | |
| -R | 零点在行程右极限位置 | |
| 线缆管理 | -C1 | 高柔排线 |
| -C2 | 无尘拖链 | |
| 线缆长度 | -3 | 长度3米（标配） |
| -5 | 长度5米 | |
| -DZ | 定制 | |
| 大理石基座 | -Y | 有大理石基座 |
| -N | 无大理石基座（标配） |
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