菜单
退出
报价单为空
QFU-FH系列气浮运动台
非接触闭式气浮结构
行程100~1000mm可选
亚微米级重复定位精度
全行程直线度优于1μm
1m行程角度误差±2arc sec
独特的防护罩防尘装置
QFU-FH系列气浮运动台
QFU-FH系列气浮运动台
QFU-FH系列气浮运动台
产品描述
规格参数
实测数据
选型信息
下载
报价/订购
应用领域
QFU-FH系列气浮运动台,常规行程1米,全行程直线度优于1μm,用于超精密加工,测试测量,扫描,半导体及光子学等行业。
结构特点
QFU-FH气浮运动台为非接触闭式气浮结构,增加测量级别的防护罩,摩擦小,静音,并且能有效防止粉尘进入气浮导轨气浮面,降低使用场景要求。气浮导轨四面受力均匀,对于重载、大体积的应用,该结构更能突出性能优势,气浮导轨的免维护运行,理论上使用寿命是无限的,只需要清洁及干燥的气体,是用户的理想选择。
精度性能
气浮导轨基于气体静压效应,实现无摩擦和无振动地平滑移动,与摩擦式导轨相比,气浮台的直线度、平面度,Pitch Yaw指标得到了很大地提高,由于非接触式,系统的跟随误差有了质地提升,定位精度和重复精度得到了显著提高。
防尘设计
独特的防尘罩结构设计,使摩擦力降到最低,不影响气浮运动台的精度性能,适合应用于精密加工、飞秒激光加工等行业。
定制化
可定制陶瓷材质的气浮导轨,1米行程直线度可优于±0.5μm,更大行程也可接受定制。
规格参数

型号 Model

单位 Units

QFU-FH-100

QFU-FH-200

QFU-FH-300

QFU-FH-400

QFU-FH-500

QFU-FH-600

QFU-FH-700

QFU-FH-800

QFU-FH-900

QFU-FH-1000

行程 Travel

mm

100

200

300

400

500

600

700

800

900

1000

补偿后定位精度 

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.15

±0.15

±0.2

±0.2

±0.3

±0.3

±0.5

±0.5

±0.5

普通版 Standard

±0.2

±0.2

±0.3

±0.4

±0.4

±0.5

±0.5

±1

±1

±1

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.075

±0.075

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.2

±0.2

±0.2

普通版 Standard

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.2

±0.2

±0.3

±0.3

±0.3

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.1

±0.15

±0.4

±0.4

±0.45

±0.45

±0.45

±0.5

±0.5

普通版 Standard

±0.2

±0.4

±0.5

±0.5

±0.5

±0.75

±0.75

±0.75

±1

±1.5

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.2

±0.4

±0.5

±0.5

±0.5

±0.65

±0.7

±1

±1

普通版 Standard

±0.2

±0.4

±0.75

±0.75

±0.75

±1

±1

±1.5

±2

±2

俯仰、翻滚、偏摆

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.25

±0.4

±0.75

±0.8

±1

±1

±1

±1

±1.5

±2

普通版 Standard

±0.5

±1

±1.5

±2

±2.5

±3

±3

±4

±4.5

±5

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 或 5(选配)

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus

nm

≤ 5,(≤1 SiC版定制)

普通版 Standard

≤ 50

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus

nm

≤ 5

普通版 Standard

≤ 50

速度稳定性*

Speed Stability

1mm/s

%

≤ 4

10mm/s

≤ 0.2

跟随误差

Following Error

高精版 Plus

nm

≤ 20 (10mm/s)

普通版 Standard

≤ 100 (10mm/s)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

m/s

1

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)

m/s²

5,(10, 20 定制)

最大负载 Max Load

kg

20

供气压力 Operating Pressure

MPa

0.5±0.05

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处,更高精度定制。

*:速度稳定性为高精度版。

实测数据
选型信息
型号 QFU-FH -300 -PLUS -A -N -1 -0 -C1 -3 -Y -Y
描述 带防护罩的闭式气浮运动台 行程300mm  PLUS高精版 铝合金气浮导轨 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 高柔排线 线缆长度3米 有大理石基座 有压力保护开关

 

名称 型号 描述
单轴气浮运动台 QFU-FH 带防护罩的闭式气浮运动台
行程 -100 行程100mm 
-200 行程200mm
-300 行程300mm
-400 行程400mm
-500 行程500mm
-600 行程600mm
-700 行程700mm
-800 行程800mm
-900 行程900mm
-1000 行程1000mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
气浮导轨类型 -A 铝合金材质气浮导轨
-M 大理石材质气浮导轨
-C 陶瓷材质气浮导轨
-S 碳化硅材质气浮导轨
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -L 零点在行程左极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-R 零点在行程右极限位置
线缆管理  -C1 高柔排线
 -C2 无尘拖链
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
大理石基座 -Y 有大理石基座
-N 无大理石基座(标配)
压力保护开关 -Y 有压力保护开关(标配)
-N 无压力保护开关
下载
产品样本
QFU-FH系列产品样本
2023-09-08
下载
产品手册
CAD图纸
3D模型
QFU-FH-400气浮运动台 3D模型
2024-07-02
下载
报价/订购
QFU-FH-100
行程100mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm
添加至报价单
QFU-FH-100 PLUS
行程100mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
添加至报价单
QFU-FH-200
行程200mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.4μm
添加至报价单
QFU-FH-200 PLUS
行程200mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.1μm,平面度 ±0.2μm
添加至报价单
QFU-FH-300
行程300mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm
添加至报价单
QFU-FH-300 PLUS
行程300mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.15μm,平面度 ±0.4μm
添加至报价单
QFU-FH-400
行程400mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm
添加至报价单
QFU-FH-400 PLUS
行程400mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
QFU-FH-500
行程500mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm
添加至报价单
QFU-FH-500 PLUS
行程500mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
QFU-FH-600
行程600mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.2μm,直线度±0.75μm,平面度±1μm
添加至报价单
QFU-FH-600 PLUS
行程600mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.45μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
QFU-FH-700
行程700mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.2μm,直线度±0.75μm,平面度±1μm
添加至报价单
QFU-FH-700 PLUS
行程700mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.45μm,平面度±0.65μm
添加至报价单
QFU-FH-800
行程800mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±0.75μm,平面度±1.5μm
添加至报价单
QFU-FH-800 PLUS
行程800mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.2μm,直线度±0.45μm,平面度±0.7μm
添加至报价单
QFU-FH-900
行程900mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1μm,平面度±2μm
添加至报价单
QFU-FH-900 PLUS
行程900mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.2μm,直线度±0.5μm,平面度±1μm
添加至报价单
QFU-FH-1000
行程1000mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1.5μm,平面度±2μm
添加至报价单
QFU-FH-1000 PLUS
行程1000mm,闭式气浮结构,带防护罩防尘装置,双向重复定位精度±0.2μm,直线度±0.5μm,平面度±1μm
添加至报价单
询问工程师
通过电子邮件或电话从销售工程师处快速获取解答
15201018092
sales@aus-precision.com
联系我们
相关产品
温馨提示
请登录后进行下载