精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

QFU-FH系列气浮运动台，常规行程2m，全行程直线度优于±1μm，用于超精密加工，测试测量，扫描，半导体及光子学等行业。

结构特点

QFU-FH气浮运动台为非接触闭式气浮结构，增加测量级别的防护罩，摩擦小，静音，并且能有效防止粉尘进入气浮导轨气浮面，降低使用场景要求。气浮导轨四面受力均匀，对于重载、大体积的应用，该结构更能突出性能优势，气浮导轨的免维护运行，理论上使用寿命是无限的，只需要清洁及干燥的气体，是用户的理想选择。

精度性能

气浮导轨基于气体静压效应，实现无摩擦和无振动地平滑移动，与摩擦式导轨相比，气浮台的直线度、平面度，Pitch Yaw指标得到了很大地提高，由于非接触式，系统的跟随误差有了质地提升，定位精度和重复精度得到了显著提高。

防尘设计

独特的防尘罩结构设计，使摩擦力降到最低，不影响气浮运动台的精度性能，适合应用于精密加工、飞秒激光加工等行业。

定制化

可定制陶瓷材质的气浮导轨，2m行程直线度可优于±1μm，更大行程也可接受定制。

规格参数

型号 Model		单位 Units	QFU-FH-50	QFU-FH-100	QFU-FH-150	QFU-FH-200	QFU-FH-250	QFU-FH-300	QFU-FH-350	QFU-FH-400	QFU-FH-450
行程 Travel		mm	50	100	150	200	250	300	350	400	450
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1
	高精版 Plus		±0.1	±0.1	±0.15	±0.15	±0.15	±0.15	±0.2	±0.2	±0.2
	普通版 Standard		±0.2	±0.2	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.4	±0.4	±0.4
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±7.5	±7.5	±10	±10	±15	±15	±20	±20	±20
	高精版 Plus		±30	±30	±50	±50	±50	±50	±50	±50	±50
	普通版 Standard		±75	±75	±75	±75	±75	±75	±75	±75	±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.01	±0.01	±0.015	±0.015	±0.02	±0.02	±0.025	±0.025	±0.025
	高精版 Plus		±0.05	±0.05	±0.075	±0.075	±0.075	±0.075	±0.1	±0.1	±0.1
	普通版 Standard		±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15	±0.15
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.05	±0.05	±0.2	±0.2	±0.25	±0.25	±0.4	±0.4	±0.4
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±0.25	±0.25	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.75	±0.75	±1
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.1	±0.1	±0.2	±0.2	±0.4	±0.4	±0.5	±0.5	±0.5
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±0.35	±0.4	±0.5	±0.5	±0.75	±0.75	±1	±1	±1.5
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±0.35	±0.4	±0.75	±0.75	±0.75	±0.75	±1	±1	±1
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	普通版 Standard	arc sec	±1	±1	±1.5	±1.5	±1.5	±1.5	±2	±2	±2.5
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	≤1, ≤5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		m/s	0.1		0.3				1
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾		m/s²	5, (10, 20 定制)
最大负载 Max Load		kg	20
供气压力 Operating Pressure ⁽⁴⁾		MPa	0.5±0.05

型号 Model		单位 Units	QFU-FH-500	QFU-FH-600	QFU-FH-700	QFU-FH-800	QFU-FH-900	QFU-FH-1000	QFU-FH-1200	QFU-FH-1500	QFU-FH-2000
行程 Travel		mm	500	600	700	800	900	1000	1200	1500	2000
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.1	±0.15	±0.15	±0.25	±0.25	±0.25	±0.3	±0.5	±0.5
	高精版 Plus		±0.2	±0.3	±0.3	±0.5	±0.5	±0.5	±0.75	±0.75	±1
	普通版 Standard		±0.4	±0.5	±0.5	±1	±1	±1	±1.25	±1.5	±1.5
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±20	±20	±20	±25	±25	±30	±30	±35	±35
	高精版 Plus		±50	±75	±75	±100	±100	±150	±150	±175	±175
	普通版 Standard		±75	±100	±100	±150	±150	±200	±200	±250	±250
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.025	±0.03	±0.03	±0.04	±0.04	±0.05	±0.05	±0.075	±0.1
	高精版 Plus		±0.1	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15	±0.2	±0.2	±0.25	±0.25
	普通版 Standard		±0.15	±0.2	±0.2	±0.3	±0.3	±0.4	±0.4	±0.5	±0.75
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.4	±0.45	±0.45	±0.45	±0.5	±0.5	±0.75	±1	±1
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±1	±1	±1.25	±1.25	±1.5	±1.5	±1.5	±2	±3
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.5	±0.5	±0.6	±0.7	±1	±1	±1.25	±1.5	±2
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±1.5	±1.5	±1.75	±1.75	±2	±2	±2.5	±3	±4
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±1	±1	±1	±1	±1.5	±2	±2.5	±3	±4
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	普通版 Standard	arc sec	±2.5	±3	±3	±4	±4.5	±5	±6	±7	±8
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	≤1, ≤5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		m/s	1
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾		m/s²	5, (10, 20 定制)
最大负载 Max Load		kg	20
供气压力 Operating Pressure ⁽⁴⁾		MPa	0.5±0.05

特殊项目 Special Items ⁽⁵⁾	单位 Units	数值 Data
微动步距 Min Incremental Step	nm	默认, ≤ 5, ≤ 50, ≤ 1（SiC版定制）
定位纹波 In Position Stability	nm	默认, ≤ 5, ≤ 50
速度稳定性 Speed Stability	%	默认, ≤ 4%@1mm/s, ≤ 0.2%@10mm/s
跟随误差 Following Error	nm	默认, ≤ 20nm@10mm/s, ≤ 100nm@10mm/s

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

4. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。

5. 无特殊项目要求，出厂默认为准。

实测数据

选型信息

型号	QFU-FH	-300	-P	-A	-N	-1	-0	-DB	-3	-Y
描述	带防护罩的闭式气浮运动台	行程300mm	高精版	铝合金气浮导轨	默认	增量式光栅1Vpp反馈	零点在行程中心位置	DB接头，无线缆管理	线缆长度3米	有大理石基座

名称	型号	描述
单轴气浮运动台	QFU-FH	带防护罩的闭式气浮运动台
行程	-50	行程50mm
	-100	行程100mm
	-150	行程150mm
	-200	行程200mm
	-250	行程250mm
	-300	行程300mm
	-350	行程350mm
	-400	行程400mm
	-450	行程450mm
	-500	行程500mm
	-600	行程600mm
	-700	行程700mm
	-800	行程800mm
	-900	行程900mm
	-1000	行程1000mm
	-1200	行程1200mm
	-1500	行程1500mm
	-2000	行程2000mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
气浮导轨类型	-A	铝合金材质气浮导轨
	-M	大理石材质气浮导轨
	-C	陶瓷材质气浮导轨
	-S	碳化硅材质气浮导轨
电子分辨率	-N	默认
	-1	电子分辨率 ≤1nm
	-5	电子分辨率 ≤5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	-L	零点在行程左极限位置
	-0	零点在行程中心位置（标配）
	-R	零点在行程右极限位置
线缆管理	-DB	DB接头，无线缆管理（标配）
线缆管理	-C2	带屏蔽的高柔排线
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
大理石基座	-Y	有大理石基座
大理石基座	-N	无大理石基座（标配）

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QFU-FH系列产品样本

2023-09-08

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QFU-FH-50

行程50mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.25μm，平面度±0.35μm

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QFU-FH-50 PLUS

行程50mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.05μm，平面度±0.1μm

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QFU-FH-50 Ultra

行程50mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.05μm，平面度±0.1μm

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QFU-FH-100

行程100mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.25μm，平面度±0.4μm

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QFU-FH-100 PLUS

行程100mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.05μm，平面度±0.1μm

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QFU-FH-100 Ultra

行程100mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.05μm，平面度±0.1μm

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QFU-FH-150

行程150mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm

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QFU-FH-150 PLUS

行程150mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.2μm，平面度±0.2μm

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QFU-FH-150 Ultra

行程150mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.015μm，直线度±0.1μm，平面度±0.2μm

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QFU-FH-200

行程200mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm

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QFU-FH-200 PLUS

行程200mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.2μm，平面度 ±0.2μm

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QFU-FH-200 Ultra

行程200mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.015μm，直线度±0.2μm，平面度±0.2μm

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QFU-FH-250

行程250mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

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QFU-FH-250 PLUS

行程250mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.25μm，平面度±0.4μm

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QFU-FH-250 Ultra

行程250mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.02μm，直线度±0.25μm，平面度±0.4μm

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QFU-FH-300

行程300mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

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QFU-FH-300 PLUS

行程300mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.25μm，平面度 ±0.4μm

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QFU-FH-300 Ultra

行程300mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.02μm，直线度±0.25μm，平面度±0.4μm

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QFU-FH-350

行程350mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±0.75μm，平面度±1μm

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QFU-FH-350 PLUS

行程350mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm

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QFU-FH-350 Ultra

行程350mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm

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QFU-FH-400

行程400mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±0.75μm，平面度±1μm

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QFU-FH-400 PLUS

行程400mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm

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QFU-FH-400 Ultra

行程400mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm

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QFU-FH-450

行程450mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1μm，平面度±1.5μm

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QFU-FH-450 PLUS

行程450mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm

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QFU-FH-450 Ultra

行程450mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm

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QFU-FH-500

行程500mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1μm，平面度±1.5μm

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QFU-FH-500 PLUS

行程500mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm

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QFU-FH-500 Ultra

行程500mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm

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QFU-FH-600

行程600mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.2μm，直线度±1μm，平面度±1.5μm

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QFU-FH-600 PLUS

行程600mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.45μm，平面度±0.5μm

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QFU-FH-600 Ultra

行程600mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.03μm，直线度±0.45μm，平面度±0.5μm

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QFU-FH-700

行程700mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.2μm，直线度±1.25μm，平面度±1.75μm

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QFU-FH-700 PLUS

行程700mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±0.45μm，平面度±0.6μm

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QFU-FH-700 Ultra

行程700mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.03μm，直线度±0.45μm，平面度±0.6μm

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QFU-FH-800

行程800mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.3μm，直线度±1.25μm，平面度±1.75μm

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QFU-FH-800 PLUS

行程800mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.2μm，直线度±0.45μm，平面度±0.7μm

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QFU-FH-800 Ultra

行程800mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.04μm，直线度±0.45μm，平面度±0.7μm

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QFU-FH-900

行程900mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.3μm，直线度±1.5μm，平面度±2μm

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QFU-FH-900 PLUS

行程900mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.2μm，直线度±0.5μm，平面度±1μm

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QFU-FH-900 Ultra

行程900mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.04μm，直线度±0.5μm，平面度±1μm

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QFU-FH-1000

行程1000mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.3μm，直线度±1.5μm，平面度±2μm

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QFU-FH-1000 PLUS

行程1000mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.2μm，直线度±0.5μm，平面度±1μm

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QFU-FH-1000 Ultra

行程1000mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.5μm，平面度±1μm

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QFU-FH-1200

行程1200mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.4μm，直线度±1.5μm，平面度±2.5μm

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QFU-FH-1200 PLUS

行程1200mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.2μm，直线度±0.75μm，平面度±1.25μm

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QFU-FH-1200 Ultra

行程1200mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.75μm，平面度±1.25μm

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QFU-FH-1500

行程1500mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±2μm，平面度±3μm

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QFU-FH-1500 PLUS

行程1500mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.25μm，直线度±1μm，平面度±1.5μm

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QFU-FH-1500 Ultra

行程1500mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±1μm，平面度±1.5μm

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QFU-FH-2000

行程2000mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.75μm，直线度±3μm，平面度±4μm

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QFU-FH-2000 PLUS

行程2000mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.25μm，直线度±1μm，平面度±2μm

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QFU-FH-2000 Ultra

行程2000mm，闭式气浮结构，带防护罩防尘装置，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±2μm

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