精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBXG-600-200-150Z1-100Z2-AB六轴精密运动台用于三工位飞秒激光曲面加工

产品简介

X轴由直线电机驱动，滑块滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈等主要部件组成，导轨直接安装到大理石基座上，行程600mm，用于点到点运动。Y轴导轨为防蠕动交叉滚柱导轨，用于联系扫描运动。
Z1轴采用直线电机驱动，交叉滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈，低摩擦气缸配重，行程150mm，纳米级定位抖动，用户安装振镜、激光头等。Z2轴采用伺服电机驱动，含断电抱闸功能，用于安装CCD相机等装置。
AB轴气浮轴承、力矩电机驱动及光栅尺闭环反馈，闭式气浮结构，对结构进行优化设计，气浮轴承表面和创新的预压高刚度，侧向放置承载能力大，解决气浮抱死的问题，用于曲面加工。

规格参数

轴系 Axis	测试项目 Test Items	单位 Units	指标要求 Specification
X 轴 X AXIS	行程 Travel	mm	600
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±1
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.5
	直线度 Straightness	μm	±6
	平面度 Flatness	μm	±6
	最大速度 (空载) Max Speed (No Load)	mm/s	500
	微动步距 Min Incremental Motion	μm	1
Y 轴 Y AXIS	行程 Travel	mm	200
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.75
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.5
	直线度 Straightness	μm	±1.5
	平面度 Flatness	μm	±2
	最大速度 (空载) Max Speed (No Load)	mm/s	100
	微动步距 Min Incremental Motion	μm	1
A 轴 A AXIS	行程 Travel	°	±90
	补偿后定位精度 Accuracy	arc sec	±2
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	arc sec	±1
	轴向跳动误差 Axial Error Motion	μm	0.5
	径向跳动误差 Radial Error Motion	μm	0.5
	微动步距 Min Incremental Motion	arc sec	2
	最大速度 (空载) Max Speed (No Load)	°/s	40
B 轴 B AXIS	行程 Travel	°	360
	补偿后定位精度 Accuracy	arc sec	±2
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	arc sec	±1
	轴向跳动误差 Axial Error Motion	μm	0.5
	径向跳动误差 Radial Error Motion	μm	0.5
	微动步距 Min Incremental Motion	arc sec	1
	最大速度 (空载) Max Speed (No Load)	°/s	40
Z1 轴 Z1 AXIS	行程 Travel	mm	150
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.5
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.1
	直线度 Straightness	μm	±1
	平面度 Flatness	μm	±1
	微动步距 Min Incremental Motion	μm	1
	最大速度 (空载) Max Speed (No Load)	mm/s	50
Z2 轴 Z2 AXIS	行程 Travel	mm	100
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±2.5
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±2
	最大速度 (空载) Max Speed (No Load)	mm/s	50
XYAB	负载 Load	kg	2
Z1	负载 Load	kg	15
Z2	负载 Load	kg	15