精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

QFHDS系列三轴超精密运动台，XY轴平面式气浮结构，Z轴交叉滚柱结构，用于半导体加工、检测、微纳加工等行业。

结构优势

XY轴运动结构共面，两轴的反馈机构在同一个水平面，相当于单轴运动，不存在因叠层引起的阿贝误差，此结构提升动态跟踪误差，高速响应频率及位置稳定性，开发的气浮轴承补偿方法，提高刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现快速运动和极速位置整定。Z轴交叉滚柱导轨结构，安装到龙门横梁上，亚微米级精度，定位抖动优于50nm。更高要求可接受定制，瑞邦精控提供系统解决方案，对环境要求提供专业建议。

直驱设计

采用无铁芯直线电机驱动，实现了超平稳的运动。步进轴和扫描轴安装位置接近于负载水平面，减小阿贝误差对系统精度的影响。

线缆管理

使用高质量的电缆，带屏蔽功能，防止电子信号的干扰，优化管线的弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能。

其他

根据应用，可安装旋转台，倾角台或晶圆装卸用的夹具等。可安装激光尺或激光干涉仪闭环反馈，提升系统精度性能。

规格参数

型号 Model		单位 Units	QFHDS-300-300-50			QFHDS-350-350-100			QFHDS-500-500-150
轴系 Axis		—	X	Y	Z	X	Y	Z	X	Y	Z
行程 Travel		mm	300	300	50	350	350	100	500	500	150
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.1		±0.05	±0.1		±0.05	±0.1		±0.05
	高精版 Plus		±0.15		±0.1	±0.2		±0.1	±0.2		±0.15
	普通版 Standard		±0.3		±0.3	±0.4		±0.3	±0.5		±0.3
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±15		±7.5	±20		±7.5	±20		±7.5
	高精版 Plus		±50		±20	±50		±40	±50		±40
	普通版 Standard		±75		±30	±75		±75	±75		±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.02		±0.01	±0.025		±0.01	±0.025		±0.01
	高精版 Plus		±0.075		±0.025	±0.075		±0.05	±0.1		±0.075
	普通版 Standard		±0.1		±0.05	±0.1		±0.1	±0.15		±0.1
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.25		±0.25	±0.3		±0.35	±0.4		±0.5
	普通版 Standard		±0.5		±1	±0.5		±1	±0.75		±1.25
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.4		±0.5	±0.5		±0.5	±0.5		±0.75
	普通版 Standard		±0.75		±1	±0.75		±1	±0.75		±1.25
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±0.5		±1	±0.75		±2	±1		±2.5
	普通版 Standard		±1		±5	±1.25		±5	±1.5		±5
正交性 Orthogonality	高精版 Plus	arc sec	2		5	2		5	2		5
	普通版 Standard		5		10	5		10	5		10
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	≤1, ≤5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		m/s	1		0.1	1		0.2	1		0.2
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾		m/s²	5,（10, 20, 30 定制）		5	5,（10, 20, 30 定制）		5	5,（10, 20, 30 定制）		5
最大负载 Max Load		kg	20		15	20		15	20		15

型号 Model		单位 Units	QFHDS-750-750-200			QFHDS-1000-1000-250			QFHDS-1200-1200-300
轴系 Axis		—	X	Y	Z	X	Y	Z	X	Y	Z
行程 Travel		mm	750	750	200	1000	1000	250	1200	1200	300
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.15		±0.05	±0.25		±0.1	±0.4		±0.1
	高精版 Plus		±0.3		±0.15	±0.5		±0.15	±0.75		±0.2
	普通版 Standard		±0.75		±0.3	±1		±0.3	±1.25		±0.4
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±25		±10	±50		±15	±75		±15
	高精版 Plus		±75		±50	±100		±50	±120		±50
	普通版 Standard		±100		±75	±120		±75	±150		±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.03		±0.015	±0.05		±0.02	±0.075		±0.02
	高精版 Plus		±0.1		±0.075	±0.15		±0.1	±0.2		±0.1
	普通版 Standard		±0.15		±0.15	±0.2		±0.175	±0.25		±0.175
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.5		±0.5	±1		±0.75	±1.25		±1
	普通版 Standard		±1		±1.25	±2		±1.5	±2.5		±1.75
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.75		±0.75	±1.25		±1	±1.5		±1.25
	普通版 Standard		±1		±1.25	±2		±1.5	±3		±1.75
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±1.5		±3	±2		±4	±2.5		±4
	普通版 Standard		±2		±7	±2.5		±8	±3		±8
正交性 Orthogonality	高精版 Plus	arc sec	2		5	2		5	2		5
	普通版 Standard		5		10	5		10	5		10
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	≤1, ≤5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		m/s	1		0.2	1		0.2	1		0.2
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾		m/s²	5,（10, 20, 30 定制）		5	5,（10, 20, 30 定制）		5	5,（10, 20, 30 定制）		5
最大负载 Max Load		kg	20		15	20		15	20		15

特殊项目 Special Items ⁽⁴⁾	单位 Units	数值 Data
定位纹波 In Position Stability	nm	默认, XY ≤ 5 (≤ 1 SiC版定制) Z≤ 1, XYZ ≤ 50

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

4. 无特殊项目要求，出厂默认为准。

实测数据

QFHDS-350-350-100 测试报告.pdf

选型信息

型号	QFHDS	-300-300-50	-N	-A	-N	-1	-0	-3	-Y
描述	平面式气浮运动台	X轴行程300mm；Y轴行程300mm；Z轴行程50mm	普通版	铝合金材质气浮导轨	默认	增量式光栅1Vpp反馈	零点在行程中心位置	线缆长度3米	有支撑钢架

名称	型号	描述
多轴气浮运动台	QFHDS	平面式气浮运动台
行程	-300-300-50	X轴行程300mm；Y轴行程300mm；Z轴行程50mm
	-350-350-100	X轴行程350mm；Y轴行程350mm；Z轴行程100mm
	-500-500-150	X轴行程500mm；Y轴行程500mm；Z轴行程150mm
	-750-750-200	X轴行程750mm；Y轴行程750mm；Z轴行程200mm
	-1000-1000-250	X轴行程1000mm；Y轴行程1000mm；Z轴行程250mm
	-1200-1200-300	X轴行程1200mm；Y轴行程1200mm；Z轴行程300mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
气浮导轨类型	-A	铝合金材质气浮导轨
	-C	陶瓷材质气浮导轨
	-S	碳化硅材质气浮导轨
电子分辨率	-N	默认
	-1	电子分辨率 ≤1nm
	-5	电子分辨率 ≤5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
	-LS	激光干涉仪反馈
零点位置	-L	零点在行程左极限位置
	-0	零点在行程中心位置（标配）
	-R	零点在行程右极限位置
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
支撑钢架	-Y	有支撑钢架
支撑钢架	-N	无支撑钢架（标配）

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产品样本

QFHDS系列三轴产品样本

2023-09-08

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产品手册

CAD图纸

QFHDS三轴系列产品尺寸图

2023-08-18

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3D模型

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QFHDS-300-300-50

XY轴行程300mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm；Z轴行程50mm，交叉滚柱结构，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±1μm，平面度±1μm

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QFHDS-300-300-50 PLUS

XY轴行程300mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.25μm，平面度±0.4μm；Z轴行程50mm，交叉滚柱结构，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.25μm，平面度±0.5μm

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QFHDS-300-300-50 Ultra

XY轴行程300mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.2μm，平面度±0.2μm；Z轴行程50mm，交叉滚柱结构，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.25μm，平面度±0.5μm

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QFHDS-350-350-100

XY轴行程350mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm；Z轴行程100mm，交叉滚柱结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1μm

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QFHDS-350-350-100 PLUS

XY轴行程350mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.3μm，平面度±0.5μm；Z轴行程100mm，交叉滚柱结构，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.35μm，平面度±0.5μm

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QFHDS-350-350-100 Ultra

XY轴行程350mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm；Z轴行程100mm，交叉滚柱结构，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.35μm，平面度±0.5μm

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QFHDS-500-500-100

XY轴行程500mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm；Z轴行程100mm，交叉滚柱结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1.25μm，平面度±1.25μm

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QFHDS-500-500-100 PLUS

XY轴行程500mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm；Z轴行程100mm，交叉滚柱结构，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±1.25μm，平面度±1.25μm

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QFHDS-500-500-100 Ultra

XY轴行程500mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm；Z轴行程100mm，交叉滚柱结构，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

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QFHDS-750-750-200

XY轴行程750mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1μm，平面度±1μm；Z轴行程200mm，交叉滚柱结构，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.25μm，平面度±1.25μm

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QFHDS-750-750-200 PLUS

XY轴行程750mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm；Z轴行程200mm，交叉滚柱结构，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.25μm，平面度±0.75μm

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QFHDS-750-750-200 Ultra

XY轴行程750mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.03μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm；Z轴行程200mm，交叉滚柱结构，双向重复定位精度±0.015μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

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QFHDS-1000-1000-250

XY轴行程1000mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.2μm，直线度±2μm，平面度±2μm；Z轴行程250mm，交叉滚柱结构，双向重复定位精度±0.175μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

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QFHDS-1000-1000-250 PLUS

XY轴行程1000mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1μm，平面度±1.25μm；Z轴行程250mm，交叉滚柱结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.75μm，平面度±1μm

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QFHDS-1000-1000-250 Ultra

XY轴行程1000mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±1μm，平面度±1.25μm；Z轴行程250mm，交叉滚柱结构，双向重复定位精度±0.02μm，直线度±0.75μm，平面度±1μm

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QFHDS-1200-1200-300

XY轴行程1200mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.25μm，直线度±2.5μm，平面度±3μm；Z轴行程300mm，交叉滚柱结构，双向重复定位精度±0.175μm，直线度±1.75μm，平面度±1.75μm

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QFHDS-1200-1200-300 PLUS

XY轴行程1200mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.2μm，直线度±1.25μm，平面度±1.5μm；Z轴行程300mm，交叉滚柱结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1.25μm

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QFHDS-1200-1200-300 Ultra

XY轴行程1200mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±1.25μm，平面度±1.5μm；Z轴行程300mm，交叉滚柱结构，双向重复定位精度±0.02μm，直线度±1μm，平面度±1.25μm

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