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QFHDS系列三轴超精密运动台
气浮导轨,超高性能精度
重复定位精度±15nm(Sic版)
平面式气浮结构,减小系统误差影响
直线度优于1μm
龙门式双驱结构,承载能力强
Z轴纳米级定位抖动
高速,快速的整定时间
可选激光尺位置反馈
可定制陶瓷材质气浮导轨
优化线缆管理系统
QFHDS系列三轴超精密运动台
QFHDS系列三轴超精密运动台
QFHDS系列三轴超精密运动台
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规格参数
实测数据
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应用领域
QFHDS系列三轴超精密运动台,XY轴平面式气浮结构,Z轴交叉滚柱结构,用于半导体加工、检测、微纳加工等行业。
结构优势
XY轴运动结构共面,两轴的反馈机构在同一个水平面,相当于单轴运动,不存在因叠层引起的阿贝误差,此结构提升动态跟踪误差,高速响应频率及位置稳定性,开发的气浮轴承补偿方法,提高刚性和负载能力,以满足高动态响应的要求,可实现快速运动和极速位置整定。Z轴交叉滚柱导轨结构,安装到龙门横梁上,亚微米级精度,定位抖动优于20nm。更高要求可接受定制,瑞邦精控提供系统解决方案,对环境要求提供专业建议。
直驱设计
采用无铁芯直线电机驱动,实现了超平稳的运动。步进轴和扫描轴安装位置接近于负载水平面,以提高直线度、平面度和倾角误差等。
线缆管理
使用高质量的电缆,带屏蔽功能,防止电子信号的干扰,优化管线的弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能。
其他
根据应用,可安装旋转台,倾角台或晶圆装卸用的夹具等。可安装激光尺或激光干涉仪闭环反馈,提升系统精度性能。
规格参数

型号 Model

单位 Units

QFHDS-300-300-50

QFHDS -400-400-100

QFHDS -500-500-200

轴系 Axis

X

Y

Z

X

Y

Z

X

Y

Z

行程 Travel

mm

300

300

50

400

400

100

500

500

200

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.25

±0.1

±0.25

±0.15

普通版 Standard

±0.2

±0.3

±0.5

±0.3

±0.5

±0.3

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.025

±0.075

±0.05

±0.075

±0.05

普通版 Standard

±0.1

±0.05

±0.15

±0.1

±0.15

±0.15

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.2

±0.25

±0.5

±0.35

±0.5

±0.75

普通版 Standard

±0.5

±1

±1

±1

±1

±1.5

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.2

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.75

普通版 Standard

±0.5

±1

±1

±1

±1

±1.5

俯仰、翻滚、偏摆

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.5

±1

±1

±2

±1

±3

普通版 Standard

±1

±5

±1.5

±5

±1.5

±7

正交性

Orthogonality

高精版 Plus

arc sec

2

5

2

5

2

5

普通版 Standard

5

10

5

10

5

10

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 5(选配)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

m/s

1

0.1

1

0.2

1

0.2

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)

m/s²

5,10, 20, 30 定制)

5

5,10, 20, 30 定制)

5

5,10, 20, 30 定制)

5

最大负载 Max Load

kg

20

15

20

15

20

15

 

注:以上为单轴精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息
型号 QFHDS  -300-300-50 -PLUS -A -N -1 -0  -C1 -3 -Y -Y
描述 平面式气浮运动台 X轴行程300mm;Y轴行程300mm;Z轴行程50mm PLUS高精版 铝合金材质气浮导轨 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 高柔排线 线缆长度3米 有压力保护开关 有支撑钢架

 

名称 型号 描述
多轴气浮运动台 QFHDS 平面式气浮运动台
行程  -300-300-50 X轴行程300mm;Y轴行程300mm;Z轴行程50mm
 -400-400-100 X轴行程400mm;Y轴行程400mm;Z轴行程100mm
 -500-500-200 X轴行程500mm;Y轴行程500mm;Z轴行程200mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
气浮导轨类型 -A 铝合金材质气浮导轨
-C 陶瓷材质气浮导轨
-S 碳化硅材质气浮导轨
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
-LS 激光干涉仪反馈
零点位置 -L 零点在行程左极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-R 零点在行程右极限位置
线缆管理  -C1 高柔排线
 -C2 无尘拖链
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
压力保护开关 -Y 有压力保护开关(标配)
-N 无压力保护开关
支撑钢架 -Y 有支撑钢架
-N 无支撑钢架(标配)
下载
产品样本
QFHDS系列三轴产品样本
2023-09-08
下载
产品手册
CAD图纸
QFHDS三轴系列产品尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
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QFHDS-300-300-50
XY轴行程300mm,平面式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm;Z轴行程50mm,交叉滚柱结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±1μm,平面度±1μm
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QFHDS-300-300-50 PLUS
XY轴行程300mm,平面式气浮结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm;Z轴行程50mm,交叉滚柱结构,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.25μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
QFHDS-400-400-100
XY轴行程400mm,平面式气浮结构,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1μm,平面度±1μm;Z轴行程100mm,交叉滚柱结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm
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QFHDS-400-400-100 PLUS
XY轴行程400mm,平面式气浮结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm;Z轴行程100mm,交叉滚柱结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.35μm,平面度±0.5μm
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QFHDS-500-500-200
XY轴行程500mm,平面式气浮结构,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1μm,平面度±1μm;Z轴行程200mm,交叉滚柱结构,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
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QFHDS-500-500-200 PLUS
XY轴行程500mm,平面式气浮结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm;Z轴行程200mm,交叉滚柱结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm
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