精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

NOTE系列气浮转台具有高定位、速度稳定性和同步纳米级跳动误差，可立式或卧式使用，出色的跳动误差满足晶圆加工及检测、超精密加工、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备等高端行业。

结构特点

由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和精密反馈装置组成，径向双气路结构设计，使径向有出色的载荷力，安装结构上可选择立式或卧式使用，且能组合AB气浮轴，达到高正交性及高相交度。无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，适合在各种速度下平滑转动，无气浮抱死问题。

精度性能

NOTE系列气浮转台的定位精度±0.5arc sec, 重复定位精度≤0.5arc sec, 同步轴向跳动误差10nm，同步径向跳动误差50nm, 摆角误差3μrad, 电动控制和手动转动跳动误差一致，使用寿命10年以上。

闭环反馈

圆光栅闭环反馈，运用高性能控制系统，分辨率优于0.01arc sec，结构设计上，气浮转台能精准回到零点位置。

定制化

气浮AB轴满足曲面加工、测试的应用。可定制安装滑环，用于空间模拟装置，MEMS和惯性导航等应用。

规格参数

型号 Model		单位 Units	NOTE-50	NOTE-100	NOTE-200
行程 Travel		°	360
台面直径 Tabletop Diameter		mm	80	114	148
通孔直径 Aperture Diameter		mm	10	20	40
补偿后定位精度 Accuracy	高精版 Plus	arc sec	±0.5
	普通版 Standard		±1
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	高精版 Plus	arc sec	≤0.5
	普通版 Standard		≤1
轴向跳动误差 Axial Error Motion	高精版 Plus	nm	10
	普通版 Standard		250
径向跳动误差 Radial Error Motion	高精版 Plus	nm	50
	普通版 Standard		300
摆角误差 Tilt Error Motion	高精版 Plus	μrad	3
	普通版 Standard		6
电子分辨率 Electronic Resolution		arc sec	＜0.01
定位纹波 In Position Stability	高精版 Plus	arc sec	定制
	普通版 Standard		0.5
最大速度 (空载) Max Speed (No Load)		rpm	300,（≥1000 定制）
最大负载 Max Load	轴向 Axial Dir	kg	5	20	45
	径向 Radia Dir		3	12	27
供气压力 Operating Pressure		MPa	0.5±0.05
空气消耗量 Air Consumption		SL/min	13
自重 Total Mass		kg	0.5	4.5	13
材料 Material		/	航空7075铝合金（表面氧化处理）

注：以上精度指标，测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据

选型信息

型号	NOTE	-100	-P	-1	-3	-Y
描述	气浮转台	转动台面直径114mm	高精版	增量式光栅1Vpp反馈	线缆长度3米	有压力保护开关