菜单
退出
报价单为空
NOTE系列气浮转台
闭式气浮结构
直驱零齿槽效应
定位精度±0.5arc sec
同步轴向跳动误差10nm
精准回零误差
高速度稳定性
解决气浮轴抱死问题
立式或卧式使用
NOTE系列气浮转台
NOTE系列气浮转台
NOTE系列气浮转台
产品描述
规格参数
实测数据
选型信息
下载
报价/订购
应用领域
NOTE系列气浮转台具有高定位、速度稳定性和同步纳米级跳动误差,可立式或卧式使用,出色的跳动误差满足晶圆加工及检测、超精密加工、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备等高端行业。
结构特点
由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和精密反馈装置组成,径向双气路结构设计,使径向有出色的载荷力,安装结构上可选择立式或卧式使用,且能组合AB气浮轴,达到高正交性及高相交度。无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射,适合在各种速度下平滑转动,无气浮抱死问题。
精度性能
NOTE系列气浮转台的定位精度±0.5arc sec, 重复定位精度≤0.5arc sec, 同步轴向跳动误差10nm,同步径向跳动误差50nm, 摆角误差3μrad, 电动控制和手动转动跳动误差一致,使用寿命10年以上。
闭环反馈
圆光栅闭环反馈,运用高性能控制系统,分辨率优于0.01arc sec,结构设计上,气浮转台能精准回到零点位置。
定制化
气浮AB轴满足曲面加工、测试的应用。可定制安装滑环,用于空间模拟装置,MEMS和惯性导航等应用。
规格参数

型号 Model

单位 Units

NOTE-50

NOTE-100

NOTE-200

行程 Travel

°

360

台面直径 Tabletop Diameter

mm

80

114

148

通孔直径 Aperture Diameter

mm

10

20

40

补偿后定位精度 

Accuracy

高精版 Plus

arc sec

±0.5

普通版 Standard

±1

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

arc sec

≤0.5

普通版 Standard

≤1

轴向跳动误差

Axial Error Motion

高精版 Plus

nm

10

普通版 Standard

250

径向跳动误差

Radial Error Motion

高精版 Plus

nm

50

普通版 Standard

300

摆角误差

Tilt Error Motion

高精版 Plus

μrad

3

普通版 Standard

6

电子分辨率 Electronic Resolution

arc sec

<0.01

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus

arc sec

定制

普通版 Standard

0.5

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

rpm

300,(≥1000 定制)

最大负载

Max Load

轴向 Axial Dir

kg

5

20

45

径向 Radia Dir

3

12

27

供气压力 Operating Pressure

MPa

0.5±0.05

空气消耗量 Air Consumption

SL/min

13

自重 Total Mass

kg

0.5

4.5

13

材料 Material

/

航空7075铝合金(表面氧化处理)

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据

NOTE手册用图.jpg

选型信息
型号 NOTE -100 -PLUS -1 -3 -Y
描述 气浮转台 转动台面直径114mm PLUS高精版 增量式光栅1Vpp反馈 线缆长度3米 有压力保护开关

 

名称 型号 描述
气浮转台 NOTE 气浮转台
台面 -50 转动台面φ80mm
-100 转动台面φ114mm
-200 转动台面φ148 mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
压力保护开关 -Y 有压力保护开关(标配)
-N 无压力保护开关
下载
产品样本
NOTE系列产品样本
2023-09-08
下载
产品手册
CAD图纸
NOTE-50气浮转台尺寸图
2023-08-18
下载
NOTE-100气浮转台尺寸图
2023-08-18
下载
NOTE-200气浮转台尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
NOTE-50气浮转台 3D模型
2023-08-09
下载
NOTE-100气浮转台 3D模型
2023-08-09
下载
NOTE-200气浮转台 3D模型
2023-08-09
下载
报价/订购
NOTE-50
行程360°,台面直径80mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤1arc sec,轴向跳动误差250nm,径向跳动误差300nm
添加至报价单
NOTE-50 PLUS
行程360°,台面直径80mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差10nm,径向跳动误差50nm
添加至报价单
NOTE-100
行程360°,台面直径114mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤1arc sec,轴向跳动误差250nm,径向跳动误差300nm
添加至报价单
NOTE-100 PLUS
行程360°,台面直径114mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差10nm,径向跳动误差50nm
添加至报价单
NOTE-200
行程360°,台面直径148mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤1arc sec,轴向跳动误差250nm,径向跳动误差300nm
添加至报价单
NOTE-200 PLUS
行程360°,台面直径148mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差10nm,径向跳动误差50nm
添加至报价单
询问工程师
通过电子邮件或电话从销售工程师处快速获取解答
15201018092
sales@aus-precision.com
联系我们
相关产品
温馨提示
请登录后进行下载