精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

NOTE系列气浮转台具有高定位、速度稳定性和同步纳米级跳动误差，可立式或卧式使用，出色的跳动误差满足晶圆加工及检测、超精密加工、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS纳米技术设备等高端行业。

结构特点

由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和精密反馈装置组成，径向双气路结构设计，使径向有出色的载荷力，安装结构上可选择立式或卧式使用，且能组合AB气浮轴，达到高正交性及高相交度。无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，适合在各种速度下平滑转动，无气浮轴抱死问题。

精度性能

NOTE系列气浮转台的定位精度±0.5arc sec, 重复定位精度≤0.5arc sec, 同步轴向跳动误差100nm，同步径向跳动误差150nm, 摆角误差3μrad, 电动控制和手动转动跳动误差一致，使用寿命10年以上。

闭环反馈

圆光栅闭环反馈，运用高性能控制系统，分辨率优于0.01arc sec，结构设计上，气浮转台能精准回到零点位置。

定制化

气浮AB轴满足曲面加工、测试的应用。可定制安装滑环，用于空间模拟装置，MEMS和惯性导航等应用。

规格参数

型号 Model		单位 Units	NOTE-50	NOTE-100	NOTE-150	NOTE-200	NOTE-250	NOTE-300	NOTE-400	NOTE-500
行程 Travel		°	360
台面直径 Tabletop Diameter		mm	80	114	120	148	198	248	348	448
通孔直径 Aperture Diameter		mm	10	20	30	40	40	45	50	60
补偿后定位精度 Accuracy	高精版 Plus	arc sec	±0.5
	普通版 Standard		±2
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	高精版 Plus	arc sec	≤0.5
	普通版 Standard		≤1
同步轴向跳动误差 Synchronous Axial Error Motion	高精版 Plus	nm	10				100
	普通版 Standard		250
同步径向跳动误差 Synchronous Radial Error Motion	高精版 Plus	nm	10				150
	普通版 Standard		300
同步摆角误差 Synchronous Tilt Error Motion	高精版 Plus	μrad	3
	普通版 Standard		6
异步轴向跳动误差 Asynchronous Axial Error Motion	高精版 Plus	nm	≤ 2.5				≤ 25
	普通版 Standard		≤ 30
异步径向跳动误差 Asynchronous Radial Error Motion	高精版 Plus	nm	≤ 2.5				≤ 25
	普通版 Standard		≤ 30
异步摆角误差 Asynchronous Tilt Error Motion	高精版 Plus	μrad	≤ 0.2
	普通版 Standard		≤ 0.5
电子分辨率 Electronic Resolution⁽¹⁾		arc sec	＜0.01
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽²⁾		rpm	300,（≥1000 定制）
最大负载 Max Load	轴向 Axial Dir	kg	5	20	30	45	75	100	350	500
	径向 Radia Dir		3	10	15	27	38	55	160	250
供气压力 Operating Pressure ⁽³⁾		MPa	0.5 ± 0.05
材料 Material		/	航空7075铝合金（表面氧化处理）

特殊项目 Special Items ⁽⁴⁾	单位 Units	数值 Data
定位纹波 In Position Stability	arc sec	默认, ≤ 0.02, 定制
跟随误差 Following Error	arc sec	默认, ≤ 0.04, 定制

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在转动台面上25mm处，测试速度10deg/s，Renishaw激光干涉仪及自带分析方法测量，精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如需非标准测试，请咨询我们。

1. 电子分辨率取决编码器线数及控制器的细分倍数。

2. 空载条件下指标，最大转速取决于负载大小。

3. 为保护气浮轴承建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。

4. 无特殊项目要求，出厂默认为准。

实测数据

NOTE-50 定位精度和重复定位精度.pdf

NOTE-100 定位精度和重复定位精度.pdf

NOTE-200 定位精度和重复定位精度.pdf

选型信息

型号	NOTE	-100	-P	-1	-3
描述	气浮转台	转动台面直径114mm	高精版	增量式光栅1Vpp反馈	线缆长度3米

名称	型号	描述
气浮转台	NOTE	气浮转台
台面	-50	转动台面φ80mm
	-100	转动台面φ114mm
	-150	转动台面φ120mm
	-200	转动台面φ148mm
	-250	转动台面φ198mm
	-300	转动台面φ248mm
	-400	转动台面φ348mm
	-500	转动台面φ448mm
精度等级	-N	Standard普通版
精度等级	-P	Plus高精版
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制

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产品样本

NOTE系列产品样本

2023-09-08

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产品手册

CAD图纸

NOTE-50气浮转台尺寸图

2023-08-18

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NOTE-100气浮转台尺寸图

2023-08-18

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NOTE-200气浮转台尺寸图

2023-08-18

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3D模型

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NOTE-50

行程360°，台面直径80mm，闭式气浮轴承，双向重复定位精度≤1arc sec，轴向跳动误差250nm，径向跳动误差300nm

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NOTE-50 PLUS

行程360°，台面直径80mm，闭式气浮轴承，双向重复定位精度≤0.5arc sec，轴向跳动误差10nm，径向跳动误差10nm

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NOTE-100

行程360°，台面直径114mm，闭式气浮轴承，双向重复定位精度≤1arc sec，轴向跳动误差250nm，径向跳动误差300nm

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NOTE-100 PLUS

行程360°，台面直径114mm，闭式气浮轴承，双向重复定位精度≤0.5arc sec，轴向跳动误差10nm，径向跳动误差10nm

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NOTE-150

行程360°，台面直径120mm，闭式气浮轴承，双向重复定位精度≤1arc sec，轴向跳动误差250nm，径向跳动误差300nm

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NOTE-150 PLUS

行程360°，台面直径120mm，闭式气浮轴承，双向重复定位精度≤0.5arc sec，轴向跳动误差10nm，径向跳动误差10nm

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NOTE-200

行程360°，台面直径148mm，闭式气浮轴承，双向重复定位精度≤1arc sec，轴向跳动误差250nm，径向跳动误差300nm

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NOTE-200 PLUS

行程360°，台面直径148mm，闭式气浮轴承，双向重复定位精度≤0.5arc sec，轴向跳动误差10nm，径向跳动误差10nm

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NOTE-250

行程360°，台面直径198mm，闭式气浮轴承，双向重复定位精度≤1arc sec，轴向跳动误差500nm，径向跳动误差500nm

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NOTE-250 PLUS

行程360°，台面直径198mm，闭式气浮轴承，双向重复定位精度≤0.5arc sec，轴向跳动误差100nm，径向跳动误差150nm

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NOTE-300

行程360°，台面直径248mm，闭式气浮轴承，双向重复定位精度≤1arc sec，轴向跳动误差500nm，径向跳动误差500nm

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NOTE-300 PLUS

行程360°，台面直径248mm，闭式气浮轴承，双向重复定位精度≤0.5arc sec，轴向跳动误差100nm，径向跳动误差150nm

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NOTE-400

行程360°，台面直径348mm，闭式气浮轴承，双向重复定位精度≤1arc sec，轴向跳动误差500nm，径向跳动误差500nm

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NOTE-400 PLUS

行程360°，台面直径348mm，闭式气浮轴承，双向重复定位精度≤0.5arc sec，轴向跳动误差100nm，径向跳动误差150nm

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NOTE-500

行程360°，台面直径448mm，闭式气浮轴承，双向重复定位精度≤1arc sec，轴向跳动误差500nm，径向跳动误差500nm

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NOTE-500 PLUS

行程360°，台面直径448mm，闭式气浮轴承，双向重复定位精度≤0.5arc sec，轴向跳动误差100nm，径向跳动误差150nm

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