精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBN-XYZ系列是一款高精度的三轴精密运动台，结构紧凑，亚微米级重复定位精度用于飞秒激光加工、光学制造及检测、测试测量、半导体、光纤对准和科研等领域。

结构特点

三轴精密运动台为直驱紧凑式结构，XY轴三片叠层的方式，有效地降低工作点的高度，Z轴采用低摩擦气缸配重，可以抵消负载的重力，从而降低电机持续推力的要求，减小运动台发热量，断使能负载不会受重力影响而向下脱落。抗蠕动交叉滚柱导轨，滚柱交叉排列，多方向受力稳定。

精度性能

RBN-XYZ轴电子分辨率0.3nm或5nm选配，定位精度±0.1μm，双向重复定位精度±50nm，直线度和平面度±0.5μm以内，是高精度场所的理想选择。

微动步距

对有微动步距（最小位移量）要求的应用领域，如最小步距运动、对准应用等，微动步距≤2nm，对现场使用环境的要求，更多细节可联系瑞邦精控。

定制化

可定制用于10^-7Torr真空环境下的版本；定制最大加速度；可配置大理石基座、支撑钢架、隔振台等整套运动控制方案。

规格参数

型号 Model		单位 Units	RBN-60-60-35	RBN-110-110-35	RBN-160-160-60
行程 Travel		mm	60 x 60 x 35	110 x 110 x 35	160 x 160 x 60
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.05	±0.05	±0.05
	高精版 Plus		±0.1	±0.1	±0.1
	普通版 Standard		±0.25	±0.3	±0.3
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±7.5	±7.5	±10
	高精版 Plus		±20	±40	±50
	普通版 Standard		±30	±75	±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.01	±0.01	±0.015
	高精版 Plus		±0.025	±0.05	±0.05
	普通版 Standard		±0.05	±0.1	±0.1
直线度⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.25	±0.5	±0.5
直线度⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±1	±1	±1
平面度⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.5	±0.5	±0.5
平面度⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±1	±1	±1
俯仰、翻滚 ⁽¹⁾ Pitch Roll	高精版 Plus	arc sec	±2.5	±3	±3
俯仰、翻滚 ⁽¹⁾ Pitch Roll	普通版 Standard	arc sec	±5	±5	±5
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	高精版 Plus	arc sec	±1	±1	±1
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	普通版 Standard	arc sec	±2.5	±2.5	±2.5
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	0.3 或 5（选配）
微动步距 Min Incremental Step	高精版 Plus	nm	≤ 2
微动步距 Min Incremental Step	普通版 Standard	nm	≤ 50
定位纹波 In Position Stability	高精版 Plus	nm	≤ 2
定位纹波 In Position Stability	普通版 Standard	nm	≤ 50
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		mm/s	200
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)⁽³⁾		m/s²	1,（5 定制）
最大负载 Max Load		kg	10
正交性 Orthogonality	高精版 Plus	arc sec	±2.5
正交性 Orthogonality	普通版 Standard	arc sec	±5

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下的精度指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

实测数据

选型信息

型号	RBN	-60-60-35	-P	-N	-1	-0	-DB	-3	-Y	-N	-N
描述	交叉滚柱运动台	X轴行程60mm；Y轴行程60mm；Z轴行程35mm	高精版	默认	增量式光栅1Vpp反馈	零点在行程中心位置	DB接头，无线缆管理	线缆长度3米	有线缆固定柱	常压环境	无大理石基座

名称	型号	描述
多轴线轨运动台	RBN	交叉滚柱运动台
行程	-60-60-35	X轴行程60mm；Y轴行程60mm；Z轴行程35mm
	-110-110-35	X轴行程110mm；Y轴行程110mm；Z轴行程35mm
	-160-160-60	X轴行程160mm；Y轴行程160mm；Z轴行程60mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
电子分辨率	-N	默认
	-0.3	电子分辨率0.3nm
	-5	电子分辨率5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	-0	零点在行程中心位置
线缆管理	-DB	DB接头，无线缆管理
线缆管理	-C4	真空线缆
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
线缆固定柱	-Y	有线缆固定柱
线缆固定柱	-N	无线缆固定柱（标配）
气压环境	-N	常压环境（标配）
气压环境	-VC	真空环境
大理石基座 ⁽¹⁾	-Y	有大理石基座
大理石基座 ⁽¹⁾	-N	无大理石基座（标配）