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RBN-XYZ系列三轴精密运动台
三轴紧凑式直驱结构
抗蠕动交叉滚柱导轨
重复定位精度±50nm
直线度和平面度±0.5μm
微动步距≤2nm
Z轴平衡气缸结构
RBN-XYZ系列三轴精密运动台
RBN-XYZ系列三轴精密运动台
RBN-XYZ系列三轴精密运动台
产品描述
规格参数
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应用领域
RBN-XYZ系列是一款高精度的三轴精密运动台,结构紧凑,亚微米级重复定位精度用于飞秒激光加工、光学制造及检测、测试测量、半导体、光纤对准和科研等领域。
结构特点
三轴精密运动台为直驱紧凑式结构,XY轴三片叠层的方式,有效地降低工作点的高度,Z轴采用低摩擦气缸配重,可以抵消负载的重力,从而降低电机持续推力的要求,减小运动台发热量,断使能负载不会受重力影响而向下脱落。抗蠕动交叉滚柱导轨,滚柱交叉排列,多方向受力稳定。
精度性能
RBN-XYZ轴电子分辨率0.3nm或5nm选配,定位精度±0.1μm,双向重复定位精度±50nm,直线度和平面度±0.5μm以内,是高精度场所的理想选择。
微动步距
对有微动步距(最小位移量)要求的应用领域,如最小步距运动、对准应用等,微动步距≤2nm,对现场使用环境的要求,更多细节可联系瑞邦精控。
定制化
可定制用于10^-7Torr真空环境下的版本;定制最大加速度;可配置大理石基座、支撑钢架、隔振台等整套运动控制方案。
规格参数

型号 Model

单位 Units

RBN-60-60-35

RBN-110-110-35

RBN-160-160-60

行程 Travel

mm

60 x 60 x 35

110 x 110 x 35

160 x 160 x 60

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.1

普通版 Standard

±0.25

±0.3

±0.3

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.025

±0.05

±0.05

普通版 Standard

±0.05

±0.1

±0.1

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.25

±0.5

±0.5

普通版 Standard

±1

±1

±1

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.5

±0.5

±0.5

普通版 Standard

±1

±1

±1

俯仰、翻滚

Pitch Roll

高精版 Plus

arc sec

±2.5

±3

±3

普通版 Standard

±5

±5

±5

偏摆

Yaw

高精版 Plus

arc sec

±1

±1

±1

普通版 Standard

±2.5

±2.5

±2.5

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 或 5(选配)

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus

nm

≤2

普通版 Standard

≤50

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus

nm

≤2

普通版 Standard

≤50

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

200

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)

m/s²

1,(5 定制)

最大负载 Max Load

kg

10

正交性

Orthogonality

高精版 Plus

arc sec

±2.5

普通版 Standard

±5

 

注:以上为单轴精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息
型号 RBN -60-60-35 -PLUS -N -1 -0 -DB -3 -Y -N -N
描述 交叉滚柱运动台 X轴行程60mm;Y轴行程60mm;Z轴行程35mm PLUS高精版 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 DB接头,无线缆管理 线缆长度3米 有线缆固定柱 常压环境 无大理石基座

 

名称 型号 描述
多轴线轨运动台 RBN 交叉滚柱运动台
行程 -60-60-35 X轴行程60mm;Y轴行程60mm;Z轴行程35mm
-110-110-35 X轴行程110mm;Y轴行程110mm;Z轴行程35mm
-160-160-60 X轴行程160mm;Y轴行程160mm;Z轴行程60mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -0 零点在行程中心位置
线缆管理 -DB DB接头,无线缆管理
 -C4 真空线缆
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
线缆固定柱 -Y 有线缆固定柱
-N 无线缆固定柱(标配)
气压环境 -N 常压环境(标配)
-VC 真空环境
大理石基座 (1) -Y 有大理石基座
-N 无大理石基座(标配)

注:1. 选真空环境下(-VC)使用,禁止选大理石基座(-Y)项。

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产品样本
RBN-XYZ系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
RBN-XYZ系列产品尺寸图
2023-08-18
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3D模型
报价/订购
RBN-60-60-35
XY轴行程60mm,Z轴行程35mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,XY轴三片叠层的方式,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±1μm,平面度±1μm
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RBN-60-60-35 PLUS
XY轴行程60mm,Z轴行程35mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,XY轴三片叠层的方式,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.25μm,平面度±0.5μm
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RBN-110-110-35
XY轴行程110mm,Z轴行程35mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,XY轴三片叠层的方式,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm
添加至报价单
RBN-110-110-35 PLUS
XY轴行程110mm,Z轴行程35mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,XY轴三片叠层的方式,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm
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RBN-160-160-60
XY轴行程160mm,Z轴行程60mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,XY轴三片叠层的方式,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm
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RBN-160-160-60 PLUS
XY轴行程160mm,Z轴行程60mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,XY轴三片叠层的方式,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm
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