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QFU-XYZ系列三轴气浮运动台
非接触闭式气浮结构
光栅尺闭环反馈
亚微米级重复定位精度
直线度平面度±0.1μm
优化线缆管理
可定制化设计
QFU-XYZ系列三轴气浮运动台
QFU-XYZ系列三轴气浮运动台
QFU-XYZ系列三轴气浮运动台
产品描述
规格参数
实测数据
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应用领域
QFU-XYZ系列是一款高精度三轴气浮运动台,定龙门结构,三轴非接触式运动用于飞秒激光加工、精密加工、测试测量、半导体及光子学等行业。
结构特点
三轴气浮运动台采用闭式气浮导轨、直线电机驱动和光栅尺反馈装置组成,XY轴十字叠层结构安装到大理石基座上,Y轴长度约等于X轴宽度,保证负载在极限位置时,不会出现悬空,Z轴安装到大理石横梁上。运动元件间无机械接触,不会出现磨损或性能下降,免维护运行。
精度性能
气浮导轨基于气体动静压效应,实现无摩擦和无振动的平滑移动,与摩擦式导轨相比,气浮台的直线度、平面度,Pitch Yaw指标得到了很大地提高,由于非接触式,伺服反馈的跟随误差有了质地提升,定位精度和重复精度得到了显著提高。
大理石机体
大理石作为机体,大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠,品质最有保障。大理石做模态分析,优化结构尺寸,依据客户的要求做最终设计。
线缆管理
精心优化管线弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮运动台的性能,使用高质量的线缆,以确保无故障操作。
规格参数

型号 Model

单位 Units

QFU-XYZ-200-200-100

QFU-XYZ-300-300-150

QFU-XYZ-400-400-200

轴系 Axis

X

Y

Z

X

Y

Z

X

Y

Z

行程 Travel

mm

200 x 200

100

300 x 300

150

400 x 400

200

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.15

±0.1

±0.15

±0.15

±0.2

±0.15

普通版 Standard

±0.2

±0.2

±0.3

±0.2

±0.4

±0.2

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.075

±0.05

±0.075

±0.075

±0.1

±0.075

普通版 Standard

±0.1

±0.1

±0.15

±0.1

±0.2

±0.1

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.05

±0.15

±0.1

±0.3

±0.1

普通版 Standard

±0.4

±0.2

±0.75

±0.4

±1

±0.4

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.2

±0.1

±0.4

±0.2

±0.5

±0.2

普通版 Standard

±0.4

±0.2

±0.75

±0.4

±1

±0.4

俯仰、翻滚、偏摆

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.4

±0.25

±0.75

±0.4

±0.8

±0.4

普通版 Standard

±1

±0.5

±1.5

±1

±2

±1

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 5(选配)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

m/s

0.5

0.1

0.5

0.3

0.5

0.3

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)

m/s²

5,10, 20 定制)

最大负载 Max Load

kg

20

20

20

20

20

20

供气压力 Operating Pressure

MPa

0.5±0.05

 

注:以上为单轴精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息
型号 QFU  -200-200-100 -PLUS -A -N -1 -0  -C1 -3 -Y -Y
描述 闭式气浮运动台 X轴行程200mm;Y轴行程200mm;Z轴行程100mm PLUS高精版 铝合金材质气浮导轨 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 高柔排线 线缆长度3米 有压力保护开关 有支撑钢架

 

名称 型号 描述
多轴气浮运动台 QFU 闭式气浮运动台
行程  -200-200-100 X轴行程200mm;Y轴行程200mm;Z轴行程100mm
 -300-300-150 X轴行程300mm;Y轴行程300mm;Z轴行程150mm
 -400-400-200 X轴行程400mm;Y轴行程400mm;Z轴行程200mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
气浮导轨类型 -A 铝合金材质气浮导轨
-M 大理石材质气浮导轨
-C 陶瓷材质气浮导轨
-S 碳化硅材质气浮导轨
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -L 零点在行程左极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-R 零点在行程右极限位置
线缆管理  -C1 高柔排线
 -C2 无尘拖链
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
压力保护开关 -Y 有压力保护开关(标配)
-N 无压力保护开关
支撑钢架 -Y 有支撑钢架
-N 无支撑钢架(标配)
下载
产品样本
QFU-XYZ系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
QFU-XYZ系列产品尺寸图
2023-08-18
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3D模型
报价/订购
QFU-XYZ-200-200-100
XY轴行程200mm,十字叠层结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.4μm;Z轴行程100mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm
添加至报价单
QFU-XYZ-200-200-100 PLUS
XY轴行程200mm,十字叠层结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.1μm,平面度±0.2μm;Z轴行程100mm,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
添加至报价单
QFU-XYZ-300-300-150
XY轴行程300mm,十字叠层结构,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm;Z轴行程150mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.4μm
添加至报价单
QFU-XYZ-300-300-150 PLUS
XY轴行程300mm,十字叠层结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.15μm,平面度±0.4μm;Z轴行程150mm,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.1μm,平面度±0.2μm
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QFU-XYZ-400-400-200
XY轴行程400mm,十字叠层结构,双向重复定位精度±0.2μm,直线度±1μm,平面度±1μm;Z轴行程200mm,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.4μm
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QFU-XYZ-400-400-200 PLUS
XY轴行程400mm,十字叠层结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.3μm,平面度±0.5μm;Z轴行程200mm,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.1μm,平面度±0.2μm
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