| 型号 | 单位 | QFU-XYZ-200-200-100 | QFU-XYZ-300-300-150 | QFU-XYZ-400-400-200 | |||||||
| 运动轴 | 轴系 | X | Y | Z | X | Y | Z | X | Y | Z | |
| 行程 | mm | 200 x 200 | 100 | 300 x 300 | 150 | 400 x 400 | 200 | ||||
| 补偿后定位精度 | Plus | μm | ±0.15 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.15 | |||
| 标准值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.2 | |||||
| 双向重复定位精度 | Plus | μm | ±0.075 | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 | ±0.1 | ±0.075 | |||
| 标准值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.1 | |||||
| 直线度 | Plus | μm | ±0.1 | ±0.05 | ±0.15 | ±0.1 | ±0.3 | ±0.1 | |||
| 标准值 | ±0.4 | ±0.2 | ±0.75 | ±0.4 | ±1 | ±0.4 | |||||
| 平面度 | Plus | μm | ±0.2 | ±0.1 | ±0.4 | ±0.2 | ±0.5 | ±0.2 | |||
| 标准值 | ±0.4 | ±0.2 | ±0.75 | ±0.4 | ±1 | ±0.4 | |||||
| Pitch Roll Yaw | Plus | arc sec | ±0.4 | ±0.25 | ±0.75 | ±0.4 | ±0.8 | ±0.4 | |||
| 标准值 | ±1 | ±0.5 | ±1.5 | ±1 | ±2 | ±1 | |||||
| 电子分辨率 | nm | 0.3 或 5（选配） | |||||||||
| 最大速度(空载) | m/s | 0.5 | 0.1 | 0.5 | 0.3 | 0.5 | 0.3 | ||||
| 最大加速度(空载) | m/s² | 5, （10, 20 定制） | |||||||||
| 最大负载 | kg | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | ||||
| 供气压力 | MPa | 0.5±0.05 | |||||||||
注：以上精度指标，测试点在负载板上25mm高度处。
| 型号 | QFU | -200-200-100 | -PLUS | -AL | -N | -1 | -0 | -C1 | -3 | -Y | -Y |
| 描述 | 闭式气浮运动台 | X轴行程200mm；Y轴行程200mm；Z轴行程100mm | PLUS高精度版 | 铝合金材质气浮导轨 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | 高柔排线 | 线缆长度3米 | 有压力保护开关 | 有支撑钢架 |
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 多轴气浮运动台 | QFU | 闭式气浮运动台 |
| 行程 | -200-200-100 | X轴行程200mm；Y轴行程200mm；Z轴行程100mm |
| -300-300-150 | X轴行程300mm；Y轴行程300mm；Z轴行程150mm | |
| -400-400-200 | X轴行程400mm；Y轴行程400mm；Z轴行程200mm | |
| 精度等级 | -N | 标准值 |
| -PLUS | PLUS高精度版 | |
| 气浮导轨类型 | -AL | 铝合金材质气浮导轨 |
| -MA | 大理石材质气浮导轨 | |
| -A | 陶瓷材质气浮导轨 | |
| -S | 碳化硅材质气浮导轨 | |
| 电子分辨率 | -N | 默认 |
| -0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
| -5 | 电子分辨率5nm | |
| 反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
| -T | 增量式光栅TTL反馈 | |
| -ABS | 绝对式光栅反馈 | |
| 零点位置 | -L | 零点在行程左极限位置 |
| -0 | 零点在行程中心位置（标配） | |
| -R | 零点在行程右极限位置 | |
| 线缆管理 | -C1 | 高柔排线 |
| -C2 | 无尘拖链 | |
| 线缆长度 | -3 | 长度3米（标配） |
| -5 | 长度5米 | |
| -DZ | 定制 | |
| 压力保护开关 | -Y | 有压力保护开关（标配） |
| -N | 无压力保护开关 | |
| 支撑钢架 | -Y | 有支撑钢架 |
| -N | 无支撑钢架（标配） |
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