|
型号 Model |
单位 Units |
QFU-XYZ-200-200-100 |
QFU-XYZ-300-300-150 |
QFU-XYZ-400-400-200 |
|||||||
|
轴系 Axis |
— |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
|
|
行程 Travel |
mm |
200 |
200 |
100 |
300 |
300 |
150 |
400 |
400 |
200 |
|
|
补偿后定位精度 Accuracy |
超精版 Ultra |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.1 |
±0.05 |
±0.1 |
±0.05 |
|||
|
高精版 Plus |
±0.15 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.2 |
±0.15 |
|||||
|
普通版 Standard |
±0.2 |
±0.2 |
±0.3 |
±0.2 |
±0.4 |
±0.2 |
|||||
|
单向重复定位精度 Uni-Repeatability |
超精版 Ultra |
nm |
±10 |
±7.5 |
±15 |
±10 |
±20 |
±10 |
|||
|
高精版 Plus |
±50 |
±40 |
±50 |
±50 |
±50 |
±50 |
|||||
|
普通版 Standard |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
|||||
|
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版 Ultra |
μm |
±0.015 |
±0.01 |
±0.02 |
±0.015 |
±0.025 |
±0.015 |
|||
|
高精版 Plus |
±0.075 |
±0.05 |
±0.075 |
±0.075 |
±0.1 |
±0.075 |
|||||
|
普通版 Standard |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.1 |
±0.2 |
±0.1 |
|||||
|
直线度 (1) Straightness |
高精版 Plus |
μm |
±0.1 |
±0.05 |
±0.15 |
±0.1 |
±0.3 |
±0.1 |
|||
|
普通版 Standard |
±0.4 |
±0.2 |
±0.75 |
±0.4 |
±1 |
±0.4 |
|||||
|
平面度 (1) Flatness |
高精版 Plus |
μm |
±0.2 |
±0.1 |
±0.4 |
±0.2 |
±0.5 |
±0.2 |
|||
|
普通版 Standard |
±0.4 |
±0.2 |
±0.75 |
±0.4 |
±1 |
±0.4 |
|||||
|
俯仰、翻滚、偏摆 (1) Pitch Roll Yaw |
高精版 Plus |
arc sec |
±0.4 |
±0.25 |
±0.75 |
±0.4 |
±0.8 |
±0.4 |
|||
|
普通版 Standard |
±1 |
±0.5 |
±1.5 |
±1 |
±2 |
±1 |
|||||
|
电子分辨率 Electronic Resolution (2) |
nm |
0.3 或 5（选配） |
|||||||||
|
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3) |
m/s |
0.5 |
0.1 |
0.5 |
0.3 |
0.5 |
0.3 |
||||
|
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3) |
m/s² |
5,（10, 20 定制） |
|||||||||
|
最大负载 Max Load |
kg |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
||||
|
供气压力 Operating Pressure (4) |
MPa |
0.5±0.05 |
|||||||||
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. 取决于平台安装表面的平面度。
2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
3. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
| 型号 | QFU | -200-200-100 | -P | -A | -N | -1 | -0 | -C1 | -3 | -Y |
| 描述 | 闭式气浮运动台 | X轴行程200mm；Y轴行程200mm；Z轴行程100mm | 高精版 | 铝合金材质气浮导轨 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | 高柔排线 | 线缆长度3米 | 有支撑钢架 |
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 多轴气浮运动台 | QFU | 闭式气浮运动台 |
| 行程 | -200-200-100 | X轴行程200mm；Y轴行程200mm；Z轴行程100mm |
| -300-300-150 | X轴行程300mm；Y轴行程300mm；Z轴行程150mm | |
| -400-400-200 | X轴行程400mm；Y轴行程400mm；Z轴行程200mm | |
| 精度等级 | -N | Standard普通版 |
| -P | Plus高精版 | |
| -U | Ultra超精版 | |
| 气浮导轨类型 | -A | 铝合金材质气浮导轨 |
| -M | 大理石材质气浮导轨 | |
| -C | 陶瓷材质气浮导轨 | |
| -S | 碳化硅材质气浮导轨 | |
| 电子分辨率 | -N | 默认 |
| -0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
| -5 | 电子分辨率5nm | |
| 反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
| -T | 增量式光栅TTL反馈 | |
| -ABS | 绝对式光栅反馈 | |
| 零点位置 | -L | 零点在行程左极限位置 |
| -0 | 零点在行程中心位置（标配） | |
| -R | 零点在行程右极限位置 | |
| 线缆管理 | -C1 | 高柔排线 |
| -C2 | 无尘拖链 | |
| 线缆长度 | -3 | 长度3米（标配） |
| -5 | 长度5米 | |
| -DZ | 定制 | |
| 支撑钢架 | -Y | 有支撑钢架 |
| -N | 无支撑钢架（标配） |
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