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RBN-200-360R双轴精密运动台
直线轴行程200mm(X轴)
旋转轴行程360°(C轴)
X轴重复定位精度100nm
C轴转速3000rpm
RBN-200-360R双轴精密运动台
RBN-200-360R双轴精密运动台
RBN-200-360R双轴精密运动台
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应用领域
RBN-200-360R双轴精密运动台用于晶圆、存储硬盘高速光学检测。
产品简介
X轴采用防蠕动交叉滚柱导轨导向,直线电机驱动及光栅尺闭环反馈,行程200mm,重复定位精度100nm,跟随误差40nm@1mm/s,用于扫描运动。
C轴采用气浮轴承、力矩电机驱动及光栅尺闭环反馈,闭式气浮结构,对结构进行优化设计,气浮轴承表面和创新的预压高刚度,径向刚度大,转速3000rpm,可定制转速5000rpm,用于晶圆、存储硬盘高速光学检测。
规格参数

轴系 Axis

测试项目 Test Items

单位  Units

指标 Specification

X 轴

X AXIS

行程 Travel

mm

200

补偿后定位精度 Accuracy

μm

±0.3

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

μm

±0.1

直线度 Straightness

μm

±1.5

平面度 Flatness

μm

±1.5

偏摆 Yaw

arc sec

±2.5

俯仰 Pitch

arc sec

±5

翻滚 Roll

arc sec

±5

工作速度 Operating Speed

mm/s

50

C 轴

C AXIS

行程 Travel

°

360

补偿后定位精度 Accuracy

arc sec

±2

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

arc sec

1

轴向跳动误差 Axial Error Motion

μm

<1

径向跳动误差 Radial Error Motion

μm

<1

工作速度 Operating Speed

rpm

3000

X

用户负载 User Load

kg

25

C

用户负载 User Load

kg

3

实测数据
选型信息

详细选型信息请联系瑞邦定制咨询~

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RBN-200-360R
详细参数请联系瑞邦定制~
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15201018092
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