精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBNZ系列是一款高精度的精密Z轴，具有亚微米级定位精度，高动态性能，结构紧凑，用于飞秒激光加工、光学制造及检测、测试测量、半导体、光纤对准和科研等领域。

结构特点

RBNZ精密Z轴为直驱紧凑式结构，抗蠕动交叉滚柱导轨导向，滚柱交叉排列，多方向受力均匀，配置无摩擦重力平衡气缸，有效地抵消电机向上持续输出力，提升精度性能，同时断使能后负载不会受重力影响而向下脱落。

精度性能

精密Z轴双向重复定位精度±50nm，直线度±0.35μm、平面度±0.5μm是高精度场所的理想选择。

微动步距

对有微动步距（最小位移量）要求的应用领域，如最小步距运动、对准应用等，微动步距≤1nm，对现场使用环境的要求，更多细节可联系瑞邦精控。

定制化设计

根据应用可定制行程；配置大理石基座、横梁及立柱、隔振器等整套运动控制方案。

规格参数

型号 Model		单位 Units	RBNZ-35	RBNZ-60	RBNZ-100
行程 Travel		mm	35	60	100
补偿后定位精度 Accuracy	高精版 Plus	μm	±0.1	±0.1	±0.1
补偿后定位精度 Accuracy	普通版 Standard	μm	±0.3	±0.3	±0.3
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	高精版 Plus	nm	±20	±30	±40
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	普通版 Standard	nm	±30	±40	±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	高精版 Plus	μm	±0.025	±0.025	±0.05
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	普通版 Standard	μm	±0.05	±0.05	±0.1
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.25	±0.25	±0.35
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±1	±1	±1
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.5	±0.5	±0.5
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±1	±1	±1
俯仰、翻滚⁽¹⁾ Pitch Roll	高精版 Plus	arc sec	±1	±1	±2
俯仰、翻滚⁽¹⁾ Pitch Roll	普通版 Standard	arc sec	±5	±5	±5
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	高精版 Plus	arc sec	±1	±1	±1
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	普通版 Standard	arc sec	±2.5	±2.5	±2.5
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	0.3 或 5（选配）
微动步距 Min Incremental Step	高精版 Plus ⁽³⁾	nm	≤ 1
微动步距 Min Incremental Step	普通版 Standard	nm	≤ 50
定位纹波 In Position Stability	高精版 Plus ⁽³⁾	nm	≤ 1
定位纹波 In Position Stability	普通版 Standard	nm	≤ 50
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽⁴⁾		mm/s	50	100	100
最大负载 Max Load		kg	10

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，普通版振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精测测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 高精度版振动等级为VC-F。

4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

实测数据

选型信息

型号	RBNZ	-35	-P	-N	-1	-0	-DB	-3
描述	交叉滚柱精密Z轴	行程35mm	高精版	默认	增量式光栅1Vpp反馈	零点在行程中心位置	DB接头，无线缆管理	线缆长度3米

名称	型号	描述
精密Z轴	RBNZ	交叉滚柱精密Z轴
行程	-35	行程35mm
	-60	行程60mm
	-100	行程100mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
电子分辨率	-N	默认
	-0.3	电子分辨率0.3nm
	-5	电子分辨率5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	-U	零点在行程上极限位置
	-0	零点在行程中心位置（标配）
	-D	零点在行程下极限位置
线缆管理	-DB	DB接头，无线缆管理（标配）
线缆管理	-C4	真空线缆
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制