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RBNZ系列精密Z轴
紧凑式直驱结构
重复定位精度±50nm
抗蠕动交叉滚柱导轨
直线度±0.35μm
微动步距≤1nm
结构行程可定制
RBNZ系列精密Z轴
RBNZ系列精密Z轴
RBNZ系列精密Z轴
产品描述
规格参数
实测数据
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应用领域
RBNZ系列是一款高精度的精密Z轴,具有亚微米级定位精度,高动态性能,结构紧凑,用于飞秒激光加工、光学制造及检测、测试测量、半导体、光纤对准和科研等领域。
结构特点
RBNZ精密Z轴为直驱紧凑式结构,抗蠕动交叉滚柱导轨导向,滚柱交叉排列,多方向受力均匀,配置无摩擦重力平衡气缸,有效地抵消电机向上持续输出力,提升精度性能,同时断使能后负载不会受重力影响而向下脱落。
精度性能
精密Z轴双向重复定位精度±50nm,直线度±0.35μm、平面度±0.5μm是高精度场所的理想选择。
微动步距
对有微动步距(最小位移量)要求的应用领域,如最小步距运动、对准应用等,微动步距≤1nm,对现场使用环境的要求,更多细节可联系瑞邦精控。
定制化设计
根据应用可定制行程;配置大理石基座、横梁及立柱、隔振器等整套运动控制方案。
规格参数

型号 Model

单位 Units

RBNZ-35

RBNZ-60

RBNZ-100

行程 Travel

mm

35

60

100

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.1

普通版 Standard

±0.3

±0.3

±0.3

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.025

±0.025

±0.05

普通版 Standard

±0.05

±0.05

±0.1

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.25

±0.25

±0.35

普通版 Standard

±1

±1

±1

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.5

±0.5

±0.5

普通版 Standard

±1

±1

±1

俯仰、翻滚

Pitch Roll

高精版 Plus

arc sec

±1

±1

±2

普通版 Standard

±5

±5

±5

偏摆

Yaw

高精版 Plus

arc sec

±1

±1

±1

普通版 Standard

±2.5

±2.5

±2.5

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 5(选配)

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus*

nm

≤1

普通版 Standard

≤50

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus*

nm

≤1

普通版 Standard

≤50

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

50

100

100

最大负载 Max Load

kg

10

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

* :高精度版振动等级为VC-F。

实测数据
选型信息
型号 RBNZ -35 -PLUS -N -1 -0 -DB -3 -N
描述 交叉滚柱精密Z轴 行程35mm  PLUS高精版 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 DB接头,无线缆管理 线缆长度3米 常压环境

 

名称 型号 描述
精密Z轴 RBNZ 交叉滚柱精密Z轴
行程 -35 行程35mm 
-60 行程60mm
-100 行程100mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -U 零点在行程上极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-D 零点在行程下极限位置
线缆管理 -DB DB接头,无线缆管理(标配)
 -C4 真空线缆
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
气压环境 -N 常压环境(标配)
-VC 真空环境
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产品样本
RBNZ系列精密Z轴产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
RBNZ系列产品尺寸图
2023-08-18
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3D模型
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RBNZ-35
行程35mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±1μm,平面度±1μm
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RBNZ-35 PLUS
行程35mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.25μm,平面度±0.5μm
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RBNZ-60
行程60mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±1μm,平面度±1μm
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RBNZ-60 PLUS
行程60mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.25μm,平面度±0.5μm
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RBNZ-100
行程100mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm
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RBNZ-100 PLUS
行程100mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.35μm,平面度±0.5μm
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