精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

产品描述

规格参数

实测数据

选型信息

下载

报价/订购

应用领域

RBNZ系列是一款高精度的精密Z轴，具有亚微米级定位精度，高动态性能，结构紧凑，用于飞秒激光加工、光学制造及检测、测试测量、半导体、光纤对准和科研等领域。

结构特点

RBNZ精密Z轴为直驱紧凑式结构，抗蠕动交叉滚柱导轨导向，滚柱交叉排列，多方向受力均匀，配置无摩擦重力平衡气缸，有效地抵消电机向上持续输出力，提升精度性能，同时断使能后负载不会受重力影响而向下脱落。

精度性能

精密Z轴行程35mm~300mm，双向重复定位精度≤±0.1μm，全行程直线度≤±1μm，是高精度场所的理想选择。

微动步距

对有微动步距（最小位移量）要求的应用领域，如最小步距运动、对准应用等，微动步距≤1nm，对现场使用环境的要求，更多细节可联系瑞邦精控。

定制化设计

根据应用可定制行程；配置大理石基座、横梁及立柱、隔振器等整套运动控制方案。

规格参数

型号 Model

单位 Units

RBNZ-35

RBNZ-60

RBNZ-75

RBNZ-100

RBNZ-125

RBNZ-150

RBNZ-175

RBNZ-200

RBNZ-225

RBNZ-250

RBNZ-275

RBNZ-300

行程 Travel

100

125

150

175

200

225

250

275

300

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.15

±0.2

普通版 Standard

±0.3

±0.4

单向重复定位精度

Uni-Repeatability

高精版 Plus

±20

±40

±50

普通版 Standard

±30

±75

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.025

±0.05

±0.075

±0.1

普通版 Standard

±0.05

±0.1

±0.15

±0.175

直线度 ⁽¹⁾

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.25

±0.35

±0.4

±0.5

±0.75

±1

普通版 Standard

±1

±1.5

±1.75

平面度 ⁽¹⁾

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.5

±0.75

±1

±1.25

普通版 Standard

±1

±1.5

±1.75

俯仰、翻滚⁽¹⁾

Pitch Roll

高精版 Plus

arc sec

±1

±2

±2.5

±3

±4

普通版 Standard

±5

±7

±8

偏摆 ⁽¹⁾

Yaw

高精版 Plus

arc sec

±1

±2

±3

普通版 Standard

±2.5

±5

±6

电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾

0.3 或 5（选配）

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus⁽³⁾

< 1

普通版 Standard

≤ 50

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus ⁽³⁾

< 1

普通版 Standard

≤ 50

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽⁴⁾

mm/s

100

200

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽⁴⁾

m/s²

1,（5 定制）

最大负载 Max Load

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，普通版振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精测测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 高精度版振动等级为VC-F。

4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

实测数据

选型信息

型号	RBNZ	-35	-P	-N	-1	-0	-DB	-3
描述	交叉滚柱精密Z轴	行程35mm	高精版	默认	增量式光栅1Vpp反馈	零点在行程中心位置	DB接头，无线缆管理	线缆长度3米

名称	型号	描述
精密Z轴	RBNZ	交叉滚柱精密Z轴
行程	-35	行程35mm
	-60	行程60mm
	-75	行程75mm
	-100	行程100mm
	-125	行程125mm
	-150	行程150mm
	-175	行程175mm
	-200	行程200mm
	-225	行程225mm
	-250	行程250mm
	-275	行程275mm
	-300	行程300mm
精度等级	-N	Standard普通版
精度等级	-P	Plus高精版
电子分辨率	-N	默认
	-0.3	电子分辨率0.3nm
	-5	电子分辨率5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	-U	零点在行程上极限位置
	-0	零点在行程中心位置（标配）
	-D	零点在行程下极限位置
线缆管理	-DB	DB接头，无线缆管理（标配）
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制

下载

产品样本

RBNZ系列精密Z轴产品样本

2023-09-08

下载

产品手册

CAD图纸

RBNZ系列产品尺寸图

2023-08-18

下载

3D模型

RBNZ-35精密Z轴 3D模型

2024-07-30

下载

报价/订购

RBNZ-35

行程35mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±1μm，平面度±1μm

添加至报价单

RBNZ-35 PLUS

行程35mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.25μm，平面度±0.5μm

添加至报价单

RBNZ-60

行程60mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±1μm，平面度±1μm

添加至报价单

RBNZ-60 PLUS

行程60mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.25μm，平面度±0.5μm

添加至报价单

RBNZ-75

行程75mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1μm

添加至报价单

RBNZ-75 PLUS

行程75mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.35μm，平面度±0.5μm

添加至报价单

RBNZ-100

行程100mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1μm

添加至报价单

RBNZ-100 PLUS

行程100mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.35μm，平面度±0.5μm

添加至报价单

RBNZ-125

行程125mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1μm

添加至报价单

RBNZ-125 PLUS

行程125mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm

添加至报价单

RBNZ-150

行程150mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

添加至报价单

RBNZ-150 PLUS

行程150mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

添加至报价单

RBNZ-175

行程175mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

添加至报价单

RBNZ-175 PLUS

行程175mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

添加至报价单

RBNZ-200

行程200mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

添加至报价单

RBNZ-200 PLUS

行程200mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

添加至报价单

RBNZ-225

行程225mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

添加至报价单

RBNZ-225 PLUS

行程225mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.75μm，平面度±1μm

添加至报价单

RBNZ-250

行程250mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.175μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

添加至报价单

RBNZ-250 PLUS

行程250mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.75μm，平面度±1μm

添加至报价单

RBNZ-275

行程275mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.175μm，直线度±1.75μm，平面度±1.75μm

添加至报价单

RBNZ-275 PLUS

行程275mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1.25μm

添加至报价单

RBNZ-300

行程300mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.175μm，直线度±1.75μm，平面度±1.75μm

添加至报价单

RBNZ-300 PLUS

行程300mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1.25μm

添加至报价单

询问定制设计前往报价单