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RBZK-XY系列双轴中空精密运动台
叠层式布局
纳米级微动步距
紧凑型中空结构
高动态性能,高精度
双直驱电机驱动
集成式线缆管理
RBZK-XY系列双轴中空精密运动台
RBZK-XY系列双轴中空精密运动台
RBZK-XY系列双轴中空精密运动台
产品描述
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应用领域
RBZK系列是带中空结构的精密运动台,大尺寸通孔、高动态性能满足晶圆检测应用,同时适用于CCD成像、LED封装检测等其它高端制造等行业。
设计特点
RBZK系列双轴中空精密运动台,叠层紧凑的中空外形结构,工作点位置降低,光栅反馈位置接近工作表面,在晶圆检测中至关重要。高精度滚柱导轨和精密研磨的加工表面,专业的装配工艺,获得直线度±1μm,平面度±2.5μm。
双驱结构
每轴用双直线电机驱动,龙门交叉解耦控制算法,保证双电机的运行的一致性,提供大推力、速度1m/s和准确的定位,直线电机的温度控制在室温,比滚珠丝杆传动结构的运动台,性能有了提升。
光栅反馈
每轴采用双光栅尺闭环反馈,安装位置接近工作表面,能够有效的降低系统误差影响,提升整体精度性能。可选电子分辨率0.3nm或5nm。
线缆管理
使用高质量无尘拖链,优化管线弯曲半径,防止动作过程中影响其性能,同时也适用在洁净室内。
规格参数
型号 Model 单位 Units RBZK-150XY RBZK-250XY RBZK-300XY
轴系 Axis 轴系 X Y X Y X Y
行程 Travel mm 150 x 150 250 x 250 300 x300
补偿后定位精度
Accuracy
高精版 Plus μm ±0.5 ±0.5 ±0.75
普通版 Standard ±1 ±1 ±1
双向重复定位精度
Bi-Dir Repeatability
高精版 Plus μm ±0.25 ±0.3 ±0.3
普通版 Standard ±0.5 ±0.5 ±0.5
直线度
Straightness
高精版 Plus μm ±0.7 ±0.75 ±1
普通版 Standard ±1 ±1.5 ±2.5
平面度
Flatness
高精版 Plus μm ±1 ±1.25 ±1.5
普通版 Standard ±1.25 ±1.75 ±2.5
俯仰、翻滚、偏摆
Pitch Roll Yaw
高精版 Plus arc sec ±3 ±5 ±5
普通版 Standard ±4 ±6 ±7
电子分辨率 Electronic Resolution nm 0.3 或 5(选配)
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) m/s 1
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) m/s² 5,(10, 20 定制)
最大负载 Max Load kg 20

 

注:以上为单轴精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息
型号 RBZK -300XY -PLUS -N -1 -0 -N  -C2 -3 -N
描述 中空精密运动台 X轴行程300mm; Y轴行程300mm; PLUS高精版 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 电机正常冷却 无尘拖链 线缆长度3米 常压环境

 

名称 型号 描述
多轴线轨运动台 RBZK 中空精密运动台
行程 -150XY X轴行程150mm;Y轴行程150mm
-250XY X轴行程250mm;Y轴行程250mm
-300XY X轴行程300mm;Y轴行程300mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -0 零点在行程中心位置
线缆管理  -C2 无尘拖链
 -C3 坦克拖链
 -C4 真空线缆
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
气压环境 -N 常压环境(标配)
-VC 真空环境
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产品样本
RBZK-XY系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
RBZK-300XY尺寸图
2023-08-18
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3D模型
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RBZK-150XY
XY轴行程150mm,紧凑型中空结构,高精度滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±1μm,平面度±1.25μm
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RBZK-150XY PLUS
XY轴行程150mm,紧凑型中空结构,高精度滚柱导轨,双向重复定位精度±0.25μm,直线度±0.7μm,平面度±1μm
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RBZK-250XY
XY轴行程250mm,紧凑型中空结构,高精度滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±1.5μm,平面度±1.75μm
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RBZK-250XY PLUS
XY轴行程250mm,紧凑型中空结构,高精度滚柱导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±0.75μm,平面度±1.25μm
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RBZK-300XY
XY轴行程300mm,紧凑型中空结构,高精度滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±2.5μm,平面度±2.5μm
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RBZK-300XY PLUS
XY轴行程300mm,紧凑型中空结构,高精度滚柱导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1μm,平面度±1.5μm
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