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RBZK-XY系列双轴中空精密运动台
叠层式布局
纳米级微动步距
紧凑型中空结构
高动态性能,高精度
双直驱电机驱动
集成式线缆管理
RBZK-XY系列双轴中空精密运动台
RBZK-XY系列双轴中空精密运动台
RBZK-XY系列双轴中空精密运动台
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应用领域
RBZK系列是带中空结构的精密运动台,大尺寸通孔、高动态性能满足晶圆检测应用,同时适用于CCD成像、LED封装检测等其它高端制造等行业。
设计特点
RBZK系列双轴中空精密运动台,叠层紧凑的中空外形结构,工作点位置降低,光栅反馈位置接近工作表面,在晶圆检测中至关重要。高精度滚柱导轨和精密研磨的加工表面,专业的装配工艺,获得直线度±1μm,平面度±2.5μm。
双驱结构
每轴用双直线电机驱动,龙门交叉解耦控制算法,保证双电机的运行的一致性,提供大推力、速度1m/s和准确的定位,直线电机的温度控制在室温,比滚珠丝杆传动结构的运动台,性能有了提升。
光栅反馈
每轴采用双光栅尺闭环反馈,安装位置接近工作表面,能够有效的降低系统误差影响,提升整体精度性能。可选电子分辨率0.3nm或5nm。
线缆管理
使用高质量无尘拖链,优化管线弯曲半径,防止动作过程中影响其性能,同时也适用在洁净室内。
规格参数

型号 Model

单位 Units

RBZK-150XY

RBZK-250XY

RBZK-300XY

轴系 Axis

轴系

X

Y

X

Y

X

Y

行程 Travel

mm

150 x 150

250 x 250

300 x300

补偿后定位精度 

Accuracy

超精版 Ultra

μm

±0.3

±0.3

±0.3

高精版 Plus

±0.5

±0.5

±0.75

普通版 Standard

±1

±1

±1

单向重复定位精度

Uni-Repeatability

超精版 Ultra

μm

±0.1

±0.1

±0.1

高精版 Plus

±0.2

±0.2

±0.2

普通版 Standard

±0.3

±0.3

±0.3

双向重复定位精度 

Bi-Dir Repeatability

超精版 Ultra

μm

±0.15

±0.15

±0.15

高精版 Plus

±0.25

±0.3

±0.3

普通版 Standard

±0.5

±0.5

±0.5

直线度 (1)

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.7

±0.75

±1

普通版 Standard

±1

±1.5

±2.5

平面度 (1)

Flatness

高精版 Plus

μm

±1

±1.25

±1.5

普通版 Standard

±1.25

±1.75

±2.5

俯仰、翻滚、偏摆 (1)

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±3

±5

±5

普通版 Standard

±4

±6

±7

电子分辨率 Electronic Resolution (2)

nm

0.3 或 5(选配)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3)

m/s

1

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3)

m/s²

5,(10, 20 定制)

最大负载 Max Load

kg

20

30

50

 

注:

以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±1℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-E,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下指标,最大速度和加速度取决于负载大小。

实测数据
选型信息
型号 RBZK -300XY -P -N -1 -0 -N  -C2 -3 -N
描述 中空精密运动台 X轴行程300mm; Y轴行程300mm; 高精版 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 电机正常冷却 无尘拖链 线缆长度3米 常压环境

 

名称 型号 描述
多轴线轨运动台 RBZK 中空精密运动台
行程 -150XY X轴行程150mm;Y轴行程150mm
-250XY X轴行程250mm;Y轴行程250mm
-300XY X轴行程300mm;Y轴行程300mm
精度等级 -N Standard普通版
-P Plus高精版
-U Ultra超精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -0 零点在行程中心位置
线缆管理  -C2 无尘拖链
 -C3 坦克拖链
 -C4 真空线缆
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
气压环境 -N 常压环境(标配)
-VC 真空环境
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产品样本
RBZK-XY系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
RBZK-300XY尺寸图
2023-08-18
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3D模型
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RBZK-150XY
XY轴行程150mm,紧凑型中空结构,高精度滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±1μm,平面度±1.25μm
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RBZK-150XY PLUS
XY轴行程150mm,紧凑型中空结构,高精度滚柱导轨,双向重复定位精度±0.25μm,直线度±0.7μm,平面度±1μm
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RBZK-150XY Ultra
XY轴行程150mm,紧凑型中空结构,高精度滚柱导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.7μm,平面度±1μm
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RBZK-250XY
XY轴行程250mm,紧凑型中空结构,高精度滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±1.5μm,平面度±1.75μm
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RBZK-250XY PLUS
XY轴行程250mm,紧凑型中空结构,高精度滚柱导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±0.75μm,平面度±1.25μm
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RBZK-250XY Ultra
XY轴行程250mm,紧凑型中空结构,高精度滚柱导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.75μm,平面度±1.25μm
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RBZK-300XY
XY轴行程300mm,紧凑型中空结构,高精度滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±2.5μm,平面度±2.5μm
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RBZK-300XY PLUS
XY轴行程300mm,紧凑型中空结构,高精度滚柱导轨,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±1μm,平面度±1.5μm
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RBZK-300XY Ultra
XY轴行程300mm,紧凑型中空结构,高精度滚柱导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1μm,平面度±1.5μm
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