精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBZK系列是带中空结构的精密运动台，大尺寸通孔、高动态性能满足晶圆检测应用，同时适用于CCD成像、LED封装检测等其它高端制造等行业。

设计特点

RBZK系列双轴中空精密运动台，叠层紧凑的中空外形结构，工作点位置降低，光栅反馈位置接近工作表面，在晶圆检测中至关重要。高精度滚柱导轨和精密研磨的加工表面，专业的装配工艺，获得直线度±1μm，平面度±2.5μm。

双驱结构

每轴用双直线电机驱动，龙门交叉解耦控制算法，保证双电机的运行的一致性，提供大推力、速度1m/s和准确的定位，直线电机的温度控制在室温，比滚珠丝杆传动结构的运动台，性能有了提升。

光栅反馈

每轴采用双光栅尺闭环反馈，安装位置接近工作表面，能够有效的降低系统误差影响，提升整体精度性能。可选电子分辨率0.3nm或5nm。

线缆管理

使用高质量无尘拖链，优化管线弯曲半径，防止动作过程中影响其性能，同时也适用在洁净室内。

规格参数

型号 Model		单位 Units	RBZK-150XY			RBZK-250XY			RBZK-300XY
轴系 Axis		轴系	X	Y		X	Y		X	Y
行程 Travel		mm	150 x 150			250 x 250			300 x300
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.3			±0.3			±0.3
	高精版 Plus		±0.5			±0.5			±0.75
	普通版 Standard		±1			±1			±1
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.1			±0.1			±0.1
	高精版 Plus		±0.2			±0.2			±0.2
	普通版 Standard		±0.3			±0.3			±0.3
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.15			±0.15			±0.15
	高精版 Plus		±0.25			±0.3			±0.3
	普通版 Standard		±0.5			±0.5			±0.5
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.7			±0.75			±1
	普通版 Standard		±1			±1.5			±2.5
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±1			±1.25			±1.5
	普通版 Standard		±1.25			±1.75			±2.5
俯仰、翻滚、偏摆⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±3			±5			±5
	普通版 Standard		±4			±6			±7
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	0.3 或 5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		m/s	1
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾		m/s²	5,（10, 20 定制）
最大负载 Max Load		kg	20		30			50

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

实测数据

选型信息

型号	RBZK	-300XY	-P	-N	-1	-0	-N	-C2	-3	-N
描述	中空精密运动台	X轴行程300mm； Y轴行程300mm；	高精版	默认	增量式光栅1Vpp反馈	零点在行程中心位置	电机正常冷却	无尘拖链	线缆长度3米	常压环境