精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

QFHDS-200XY-20SG-50Z四轴精密运动，XY轴平面式气浮结构，Z轴交叉滚柱结构，用于3D光波导。

产品简介

XY轴运动结构共面，两轴的反馈机构在同一个水平面，相当于单轴运动，避免因叠层引起的阿贝误差，此结构提升动态跟踪误差，高速响应频率及位置稳定性，开发的气浮轴承补偿方法，提高刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求。
Z1轴力矩电机作为直驱方式，没有皮带、齿轮、蜗轮蜗杆和弹性联轴器中间传动环节。交叉滚柱导轨导向及双光栅尺闭环反馈组成，平升结构，直接托举负载运动，相对侧升结构Z轴，无需转接板，负载重心布置在Z轴中心，有利于运行过程减小俯仰和偏摆的影响。
Z2轴交叉滚柱导轨结构，安装到龙门横梁上，亚微米级精度，定位抖动优于20nm。更高要求可接受定制。
大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客户的要求做最终设计。

规格参数

轴系 Axis	测试项目 Test Items	单位 Units	指标 Specification
X轴（龙门轴）	行程 Travel	mm	200
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.15
	双向重复定位精度Bi-Dir Repeatability	μm	±0.05
	直线度 Straightness	μm	±0.15
	平面度 Flatness	μm	±0.2
	俯仰 Pitch	arc sec	±1
	偏摆 Yaw	arc sec	±1
	定位纹波 In Position Stability	nm	±10
	工作速度 Operating Speed	mm/s	220
	加速度 Acceleration	m/s²	2.5
Y轴（横梁轴）	行程 Travel	mm	200
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.15
	双向重复定位精度Bi-Dir Repeatability	μm	±0.05
	直线度 Straightness	μm	±0.15
	平面度 Flatness	μm	±0.2
	俯仰 Pitch	arc sec	±1
	偏摆 Yaw	arc sec	±1
	定位纹波 In Position Stability	nm	±10
	工作速度 Operating Speed	mm/s	220
	加速度 Acceleration	m/s²	2.5
Z1轴	行程 Travel	mm	20
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.45
	双向重复定位精度Bi-Dir Repeatability	μm	±0.25
	直线度 Straightness	μm	±0.5
	俯仰 Pitch	arc sec	±5
	偏摆 Yaw	arc sec	±2.5
	定位纹波 In Position Stability	nm	±10
	工作速度 Operating Speed	mm/s	10
	加速度 Acceleration	m/s²	1
Z2轴	行程 Travel	mm	50
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.25
	双向重复定位精度Bi-Dir Repeatability	μm	±0.075
	直线度 Straightness	μm	±0.5
	平面度 Flatness	μm	±0.5
	俯仰 Pitch	arc sec	±5
	偏摆 Yaw	arc sec	±2.5
	定位纹波 In Position Stability	nm	±10
	工作速度 Operating Speed	mm/s	120
	加速度 Acceleration	m/s²	2