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QFHDS-XY系列平面式气浮运动台
气浮导轨,超性能精度
重复定位精度±15nm(Sic版)
平面式气浮,减小系统误差影响
直线度优于1μm
高速,快速的整定时间
可选光栅或激光尺位置反馈
龙门式双驱结构,承载能力强
优化后的线缆管理系统
QFHDS-XY系列平面式气浮运动台
QFHDS-XY系列平面式气浮运动台
QFHDS-XY系列平面式气浮运动台
产品描述
规格参数
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应用领域
QFHDS系列平面式气浮运动台,采用有限元分析优化的气浮轴承补偿设计技术,提高精度的同时,也提高动态性能,用于晶圆加工及检测、大尺寸飞秒激光加工、测试测量等行业。
结构优势
QFHDS系列龙门平面气浮采用瑞邦精控独创技术,小孔节流和多孔气浮相结合的方式,极大提高系统的刚度和稳定性。平面式气浮结构,使XY轴运动结构共面,反馈传感器在同一个水平面,相当于单轴运动,减小因叠层引起的阿贝误差。此结构具有高速响应频率及位置稳定性,开发的独特气浮结构,提高了刚性和负载能力,以满足高动态响应的要求,可实现高速运动和快速的位置整定。
精度性能
采用无铁芯直线电机驱动,交叉解耦控制算法保证双驱轴的运动同步,气浮导轨实现无摩擦、无振动地平滑移动,重复定位精度±50nm,直线度±0.1μm,平面度±0.2μm,Pitch Yaw ±0.5arc sec满足超精密加工或测量,由于非接触式结构,伺服反馈的跟随误差有了质地提升,定位精度和重复精度得到了显著提高。
线缆管理
使用高质量的无尘线缆,优化管线弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能,更适合在洁净车间内使用。
定制化
根据应用可安装转台或晶圆装卸用的夹具。气浮导轨可定制陶瓷材质,重复定位精度±15nm。可选用激光尺或激光干涉仪闭环反馈,提升精度性能。可提供抱闸功能,适合高抖动要求的应用。
规格参数
型号 Model 单位 Units QFHDS-300-300 QFHDS-500-500 QFHDS-800-800
轴系 Axis X Y X Y X Y
行程 Travel mm 300 300 500 500 800 800
补偿后定位精度
Accuracy
高精版 Plus μm ±0.1 ±0.25 ±0.25
普通版 Standard ±0.2 ±0.5 ±0.5
双向重复定位精度
Bi-Dir Repeatability
高精版 Plus μm ±0.05 ±0.075 ±0.1
普通版 Standard ±0.1 ±0.15 ±0.15
直线度
Straightness
高精版 Plus μm ±0.05 ±0.1 ±0.2
普通版 Standard ±0.5 ±1 ±1
平面度
Flatness
高精版 Plus μm ±0.2 ±0.25 ±0.3
普通版 Standard ±0.5 ±1 ±1
俯仰、翻滚、偏摆
Pitch Roll Yaw
高精版 Plus arc sec ±0.5 ±1 ±1
普通版 Standard ±1 ±1.5 ±1.5
正交性
Orthogonality
高精版 Plus arc sec 2
普通版 Standard 5
电子分辨率 Electronic Resolution nm 0.3 或 5(选配)
定位纹波
In Position Stability
高精版 Plus nm 5,(≤1 SiC版定制)
普通版 Standard ≤50
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) m/s 1
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) m/s² 5,(10, 20, 30 定制)
最大负载 Max Load kg 50

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息
型号 QFHDS  -300-300  -PLUS - A -N -LS -0  -C2 -3 -Y -Y
描述 平面式气浮运动台 X轴行程300mm;Y轴行程300mm PLUS高精版 铝合金材质气浮导轨 默认 激光干涉仪反馈 零点在行程中心位置 无尘拖链 线缆长度3米 有压力保护开关 有支撑钢架

 

名称 型号 描述
多轴气浮运动台 QFHDS XY轴平面式气浮运动台
行程  -300-300 X轴行程300mm;Y轴行程300mm
 -500-500 X轴行程500mm;Y轴行程500mm
 -800-800 X轴行程800mm;Y轴行程800mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
气浮导轨类型 -A 铝合金材质气浮导轨
-C 陶瓷材质气浮导轨
-S 碳化硅材质气浮导轨
电子分辨率 -N 出厂默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
-LS 激光干涉仪反馈
零点位置 -L 零点在行程左极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-R 零点在行程右极限位置
线缆管理  -C1 高柔排线
 -C2 无尘拖链
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
压力保护开关 -Y 有压力保护开关(标配)
-N 无压力保护开关
支撑钢架 -Y 有支撑钢架
-N 无支撑钢架(标配)
下载
产品样本
QFHDS-XY系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
QFHDS-XY系列产品尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
QFHDS-300-300平面式气浮运动台 3D模型
2024-07-02
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报价/订购
QFHDS-300-300
XY轴行程300mm,平面式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm,正交性5arc sec
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QFHDS-300-300 PLUS
XY轴行程300mm,平面式气浮结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.2μm,正交性2arc sec
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QFHDS-500-500
XY轴行程500mm,平面式气浮结构,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1μm,平面度±1μm,正交性5arc sec
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QFHDS-500-500 PLUS
XY轴行程500mm,平面式气浮结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.1μm,平面度±0.25μm,正交性2arc sec
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QFHDS-800-800
XY轴行程800mm,平面式气浮结构,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1μm,平面度±1μm,正交性5arc sec
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QFHDS-800-800 PLUS
XY轴行程800mm,平面式气浮结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.2μm,平面度±0.3μm,正交性2arc sec
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