精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

QFHDS系列平面式气浮运动台，采用有限元分析优化的气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提高动态性能，用于晶圆加工及检测、大尺寸飞秒激光加工、测试测量等行业。

结构优势

QFHDS系列龙门平面气浮采用小孔节流和多孔气浮相结合的方式，极大提高系统的刚度和稳定性。平面式气浮结构，使XY轴运动结构共面，反馈光栅尺在同一个水平面，相当于单轴运动，减小因叠层引起的阿贝误差。此结构具有高速响应频率及位置稳定性，开发的独特气浮结构，提高了刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现高速运动和快速的位置整定。

精度性能

采用无铁芯直线电机驱动，交叉解耦控制算法提供双驱轴的运动同步，气浮导轨实现无摩擦、无振动地平滑移动，亚微米级精度满足超精密加工或测量，由于非接触式结构，伺服反馈的跟随误差有了质地提升，定位精度和重复精度得到了显著提高。

线缆管理

使用高质量的无尘线缆，优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，更适合在洁净车间内使用。

定制化

根据应用可安装转台或晶圆装卸用的夹具。气浮导轨可定制陶瓷材质，重复定位精度±15nm。可选用激光尺或激光干涉仪闭环反馈，提升精度性能。

规格参数

型号 Model		单位 Units	QFHDS-200-200		QFHDS-300-300		QFHDS-350-350		QFHDS-400-400
轴系 Axis		—	X	Y	X	Y	X	Y	X	Y
行程 Travel		mm	200	200	300	300	350	350	400	400
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.05		±0.1		±0.1		±0.1
	高精版 Plus		±0.1		±0.15		±0.2		±0.2
	普通版 Standard		±0.3		±0.3		±0.4		±0.5
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±15		±15		±20		±20
	高精版 Plus		±50		±50		±50		±50
	普通版 Standard		±75		±75		±75		±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.02		±0.02		±0.025		±0.025
	高精版 Plus		±0.075		±0.075		±0.075		±0.1
	普通版 Standard		±0.1		±0.1		±0.1		±0.15
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.25		±0.25		±0.3		±0.4
	普通版 Standard		±0.5		±0.5		±0.5		±0.75
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.4		±0.4		±0.5		±0.5
	普通版 Standard		±0.75		±0.75		±0.75		±0.75
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±0.5		±0.5		±0.75		±1
	普通版 Standard		±1		±1		±1.25		±1.5
正交性 Orthogonality	高精版 Plus	arc sec	2
	普通版 Standard		5
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	≤1, ≤5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		m/s	1
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾		m/s²	5,（10, 20, 30 定制）
最大负载 Max Load		kg	50

型号 Model		单位 Units	QFHDS-500-500		QFHDS-750-750		QFHDS-1000-1000		QFHDS-1200-1200
轴系 Axis		—	X	Y	X	Y	X	Y	X	Y
行程 Travel		mm	500	500	750	750	1000	1000	1200	1200
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.1		±0.15		±0.25		±0.4
	高精版 Plus		±0.2		±0.3		±0.5		±0.75
	普通版 Standard		±0.5		±0.75		±1		±1.25
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±20		±25		±50		±75
	高精版 Plus		±50		±75		±100		±120
	普通版 Standard		±75		±100		±120		±150
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.025		±0.03		±0.05		±0.075
	高精版 Plus		±0.1		±0.1		±0.15		±0.2
	普通版 Standard		±0.15		±0.15		±0.2		±0.25
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.4		±0.5		±1		±1.25
	普通版 Standard		±0.75		±1		±2		±2.5
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.5		±0.75		±1.25		±1.5
	普通版 Standard		±0.75		±1		±2		±3
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±1		±1.5		±2		±2.5
	普通版 Standard		±1.5		±2		±2.5		±3
正交性 Orthogonality	高精版 Plus	arc sec	2
	普通版 Standard		5
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	≤1, ≤5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		m/s	1
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾		m/s²	5,（10, 20, 30 定制）
最大负载 Max Load		kg	50

特殊项目 Special Items ⁽⁴⁾	单位 Units	数值 Data
定位纹波 In Position Stability	nm	默认, ≤ 5, ≤ 50, （≤1 SiC版定制）

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度；

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数；

3. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

4. 无特殊项目要求，出厂默认为准。

实测数据

QFHDS-200-200 测试报告.pdf

QFHDS-350-350 测试报告.pdf

QFHDS-500-750 测试报告.pdf

QFHDS-1000-1000 测试报告.pdf

选型信息

型号

QFHDS

-300-300

-P

-A

-N

-1

-0

-3

-Y

描述

XY轴平面式气浮运动台

X轴行程300mm；

Y轴行程300mm

高精版

铝合金材质气浮导轨

默认

增量式光栅1Vpp反馈

零点在行程中心位置

线缆长度3米

有支撑钢架

名称	型号	描述
多轴气浮运动台	QFHDS	XY轴平面式气浮运动台
行程	-200-200	X轴行程200mm；Y轴行程200mm
	-300-300	X轴行程300mm；Y轴行程300mm
	-350-350	X轴行程350mm；Y轴行程350mm
	-400-400	X轴行程400mm；Y轴行程400mm
	-500-500	X轴行程500mm；Y轴行程500mm
	-750-750	X轴行程750mm；Y轴行程750mm
	-1000-1000	X轴行程1000mm；Y轴行程1000mm
	-1200-1200	X轴行程1200mm；Y轴行程1200mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
气浮导轨类型	-A	铝合金材质气浮导轨
	-C	陶瓷材质气浮导轨
	-S	碳化硅材质气浮导轨
电子分辨率	-N	默认
	-1	电子分辨率 ≤1nm
	-5	电子分辨率 ≤5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
	-LS	激光尺反馈
零点位置	-L	零点在行程左极限位置
	-0	零点在行程中心位置（标配）
	-R	零点在行程右极限位置
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
支撑钢架	-Y	有支撑钢架
支撑钢架	-N	无支撑钢架（标配）

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产品样本

QFHDS-XY系列产品样本

2023-09-08

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产品手册

CAD图纸

QFHDS-XY系列产品尺寸图

2023-08-18

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3D模型

报价/订购

QFHDS-200-200

XY轴行程200mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm，正交性5arc sec

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QFHDS-200-200 PLUS

XY轴行程200mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.25μm，平面度±0.4μm，正交性2arc sec

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QFHDS-200-200 Ultra

XY轴行程200mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.02μm，直线度±0.25μm，平面度±0.4μm，正交性2arc sec

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QFHDS-300-300

XY轴行程300mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm，正交性5arc sec

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QFHDS-300-300 PLUS

XY轴行程300mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.25μm，平面度±0.4μm，正交性2arc sec

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QFHDS-300-300 Ultra

XY轴行程300mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.02μm，直线度±0.25μm，平面度±0.4μm，正交性2arc sec

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QFHDS-350-350

XY轴行程350mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm，正交性5arc sec

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QFHDS-350-350 PLUS

XY轴行程350mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.3μm，平面度±0.5μm，正交性2arc sec

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QFHDS-350-350 Ultra

XY轴行程350mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.3μm，平面度±0.5μm，正交性2arc sec

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QFHDS-400-400

XY轴行程400mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm，正交性5arc sec

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QFHDS-400-400 PLUS

XY轴行程400mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm，正交性2arc sec

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QFHDS-400-400 Ultra

XY轴行程400mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm，正交性2arc sec

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QFHDS-500-500

XY轴行程500mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm，正交性5arc sec

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QFHDS-500-500 PLUS

XY轴行程500mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.1μm，平面度±0.25μm，正交性2arc sec

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QFHDS-500-500 Ultra

XY轴行程500mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.015μm，直线度±0.1μm，平面度±0.25μm，正交性2arc sec

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QFHDS-750-750

XY轴行程750mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1μm，平面度±1μm，正交性5arc sec

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QFHDS-750-750 PLUS

XY轴行程750mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm，正交性2arc sec

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QFHDS-750-750 Ultra

XY轴行程750mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.03μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm，正交性2arc sec

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QFHDS-1000-1000

XY轴行程1000mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.2μm，直线度±2μm，平面度±2μm，正交性5arc sec

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QFHDS-1000-1000 PLUS

XY轴行程1000mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1μm，平面度±1.25μm，正交性2arc sec

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QFHDS-1000-1000 Ultra

XY轴行程1000mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±1μm，平面度±1.25μm，正交性2arc sec

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QFHDS-1200-1200

XY轴行程1200mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.25μm，直线度±2.5μm，平面度±3μm，正交性5arc sec

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QFHDS-1200-1200 PLUS

XY轴行程1200mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.2μm，直线度±1.25μm，平面度±1.5μm，正交性2arc sec

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QFHDS-1200-1200 Ultra

XY轴行程1200mm，平面式气浮结构，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±1.25μm，平面度±1.5μm，正交性2arc sec

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