轴系 | 测试项目 | 单位 | 指标要求 | 测试结果 |
X轴 (底轴) |
行程 | mm | 100 | 100 |
补偿后定位精度 | μm | ±0.3 | ±0.074 | |
双向重复定位精度 | μm | ±0.075 | ±0.065 | |
平面度 | μm | ±1 | ±0.45 | |
直线度 | μm | ±1 | ±0.25 | |
Pitch | arc sec | ±5 | ±3.45 | |
Yaw | arc sec | ±5 | ±1.1 | |
工作速度 | mm/s | 100 | 100 | |
Y轴 (上轴) |
行程 | mm | 100 | 100 |
补偿后定位精度 | μm | ±0.3 | ±0.067 | |
双向重复定位精度 | μm | ±0.075 | ±0.055 | |
平面度 | μm | ±1 | ±0.1 | |
直线度 | μm | ±1 | ±0.1 | |
Pitch | arc sec | ±5 | ±1.05 | |
Yaw | arc sec | ±5 | ±0.45 | |
工作速度 | mm/s | 100 | 100 | |
负载 | XY | kg | 15 | 15 |
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