|
轴系 Axis |
测试项目 Test Items |
单位 Units |
指标要求 Specification |
|
X 轴 X AXIS |
行程 Travel |
mm |
100 |
|
补偿后定位精度 Accuracy |
μm |
±0.3 |
|
|
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±0.075 |
|
|
平面度 Flatness |
μm |
±1 |
|
|
直线度 Straightness |
μm |
±1 |
|
|
俯仰 Pitch |
arc sec |
±5 |
|
|
偏摆 Yaw |
arc sec |
±5 |
|
|
工作速度 Operating Speed |
mm/s |
100 |
|
|
Y轴 Y AXIS |
行程 Travel |
mm |
100 |
|
补偿后定位精度 Accuracy |
μm |
±0.3 |
|
|
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±0.075 |
|
|
平面度 Flatness |
μm |
±1 |
|
|
直线度 Straightness |
μm |
±1 |
|
|
俯仰 Pitch |
arc sec |
±5 |
|
|
偏摆 Yaw |
arc sec |
±5 |
|
|
工作速度 Operating Speed |
mm/s |
100 |
|
|
XY |
负载Load |
kg |
15 |
详细选型信息请联系瑞邦定制咨询~
