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JXR-1R-15Z两轴精密运动台
行程1°*15mm (C-Epin)
外形结构紧凑
C轴用于角度调整
E-pin用于上下料
整体结构可定制
JXR-1R-15Z两轴精密运动台
JXR-1R-15Z两轴精密运动台
JXR-1R-15Z两轴精密运动台
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应用领域
JXR-1R-15Z两轴精密运动台用于晶圆加工、测试中对晶圆角度调整和上下料功能。
产品简介
C轴采用力矩电机驱动,精密轴承及圆光栅闭环反馈组成,调整角度1°,外形结构偏平薄。
Epin采用音圈电机驱动,精密导轨导向及光栅尺反馈组成,行程15mm用于晶圆上下料。预留真空气路,方便安装真空吸盘。
规格参数

轴系

Axis

测试项目

Test Items

单位 

Units

指标要求

Specification

C轴

行程 Travel

°

1

单向重复定位精度 Uni-Dir Repeatability

°

±0.003

微动步距 Min Incremental Motion

°

0.001

工作速度 Operating Speed

°/s

1

Epin

行程Travel

mm

15

重复定位精度 Repeatability

μm

±0.5

实测数据
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详细选型信息请联系瑞邦定制咨询~

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JXR-1R-15Z两轴精密运动台产品样本
2024-05-28
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